【課題】ディスプレイパネルの点灯画像検査において、画面全体がホワイトからずれている場合や、評価点との比較対象である背景部がホワイトからずれている場合においても、高精度高速検査を実現するディスプレイパネルの点灯画像検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段によりディスプレイパネルの画面を撮像して画像データを得るステップと、画面における任意の評価点の画像データとその周囲の所定領域の画像データとの変化量がホワイトからの色ズレ量となるように画像データを補正する色ズレバランス補正処理を行うステップと、色ズレバランス補正処理を行って得られた画像から彩度値を求めるステップと、彩度値を用いてディスプレイパネルの画像を評価するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】基板上にパターンを形成し対象物を製作して行く製造工程で発生する異物等の欠陥を検出する際に、照明の形状を最適化することにより、検出感度およびスループットを向上する欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明では、照明範囲内の照明照度分布のうち照度が最小になる領域の照度が最大になるような照明を実現し、信号のＳ／Ｎを最大にすることにより、検出感度の向上およびスループットの向上を実現する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの照明条件をさまざまに変えることによって液晶パネルの傷などの物理的欠陥を確実に撮影できるようにする。
【解決手段】液晶パネルを撮影するときの照明条件は，３種類の照明装置の点灯状態と消灯状態を組み合わせたものである。照明１は同軸照明装置だけを点灯する。照明２は斜光照明装置だけを点灯する。照明３はバックライト装置だけを点灯する。照明４は斜光照明装置とバックライト装置を点灯する。これらの照明条件を用いて，さまざまな外観検査項目について液晶パネルの画像を取得して，その良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、任意の品種のホログラム欠陥検出に、汎用的に利用することができ、かつ欠陥を精度良く安定して検出することが可能なホログラム欠陥検出のための照明方法および撮像方法、および本手法を用いた欠陥抽出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ホログラム製品およびアルミニウム蒸着工程後におけるホログラムフィルム欠陥検出のためのホログラム表面形状の画像化手法であって、同軸落射照明を用いることを特徴とする画像化用照明方法、ホログラム画像取得方法、およびホログラム欠陥抽出方法である。 （もっと読む）

検査される表面の潜在的異常の場所を囲む部分からの散乱した輻射を示すピクセル強度も、表面上のその潜在的異常の場所を含むパッチの中のピクセル強度を速やかに再調査するためにそのようなデータを利用できるように、格納される。照明ビームと検査される表面との間に回転運動が引き起こされる場合、検査される２つの異なる表面上の対応する位置に存するピクセルのピクセル強度を比較することによって信号対雑音比を改善することができ、この場合、その２つの異なる表面上の同じ相対的場所に存する対応するピクセルが照明されて、そこから散乱した輻射が同じ光学的条件の下で集められて検出される。
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【課題】 プロジェクタによる投写画像を正確に取得可能なプロジェクタの検査装置、及びその検査方法を提供する。
【解決手段】 プロジェクタＰＪの検査装置８０は、制御装置８１と受光装置８２とを備えており、受光装置８２は、フォトダイオード等からなる複数の受光素子ＰＤがマトリクス状に配列された受光部８５を備えている。受光部８５は、投写光が照射される投写領域６５よりも大きな面積を有しており、受光素子ＰＤが、この受光部８５内で互いに密接するように配置されているため、受光部８５に投写される投写光のほとんどを漏れなく受光可能になっている。 （もっと読む）

【課題】被検査物体の異物が特定される大きさを大きくでき、かつ検出精度の高い異物検出方法を提供する。
【解決手段】先ず、レーザー光源と、水平および水平の両方向の移動を与えるために調整可能治具１０４に支持されているレーザー検出器とを測定される被検査物１０２の第１側に設ける。そして、被検査物１０２の第２側にレーザー反射装置を設け、レーザー発生源から、被検査物の表面の上の検出位置を通過して到来したレーザービーム１０７を、レーザー反射装置１０８によりレーザー検出器に向かって反射する。続いて、レーザー検出器によって、フィードバックライトビーム１０９の強度を受光して測定する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜太陽電池の透明電極膜基板の状態を定量的に精度よく検査でき、且つ、検査ライン上に基板を配置したままの状態で成膜状態などを目視できる透明電極膜基板の検査装置を提供する。
【解決手段】 検査ライン上に配置されたＴＣＯ基板Ａの表面を撮影する撮影装置２と、撮影装置２により取得された画像を処理することにより、ＴＣＯ基板Ａに存在する欠陥を検出し、ＴＣＯ基板Ａの検査を行う処理装置３と、撮影装置２により取得された画像を表示するモニタ４とを備え、撮影装置２は、フォーカス位置を変化させるフォーカス位置変更機構を備え、処理装置３は、撮影装置２により取得されたフォーカス位置の異なる複数の画像の中からフォーカスが最も合致しているフォーカス合致画像を抽出し、抽出したフォーカス合致画像を用いて、欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】様々な光学濃度における電気泳動表示装置用前面板をデジタル画像情報として高速に入力し、その入力画像を元に各光学濃度における電気泳動表示装置用前面板の粒状度を短時間で評価する粒状度評価装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気泳動表示装置用前面板の、ざらつきの程度を客観的に測定した数値で評価する物理評価と補正係数を結合させて、任意の中間調を表示した電気泳動表示装置用前面板のざらつきとして感じる粒状度を求める電気泳動表示装置用前面板の粒状度評価装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の検査を精度良く行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 画像を撮像して得られる画像データを利用して検査対象を検査する検査装置１２であって、画像を撮像して得られる画像データＡを取得する画像データ取得部１２２と、画像データＡを用いて画像データＢを生成する画像データ生成部１２３と、画像データＡのうち所定位置にある画像データと画像データＢとの差分に基づいて、検査対象の欠陥を検査する検査部１２４とを備え、画像データＢは、画像データＡの一部と等しく、画像データＡのサイズで決まる領域内に収まっており、画像データＡの一部の位置と、画像データＢの位置とは互いにずれており、上記所定位置は、画像データＢの位置である。 （もっと読む）

【課題】 フラットパネルディスプレイといった表示装置の製造に好適な、基板面上の凹凸形状の欠陥を、高速に凹形状または凸形状を選択的に検出できる面形状計測方法および面形状計測装置を提供する。
【解決手段】 白色二光束干渉法の対物レンズ２と基板１面ととの相対位置関係が基板１面上に干渉の発生しない位置関係で取得した基準データと、基板１面と対物レンズ２との相対位置関係が観察対象部位で干渉が発生する位置関係で取得した計測データとを比較することにより観察したい観察対象部位を、従来のＺ軸方向に沿った対物レンズ２の走査を省いて検出する。 （もっと読む）

【課題】 パターンにおける欠陥を確実かつ高速に検出可能な、撮像方法、パターン検査方法、撮像装置、及びパターン検査装置を提供する。
【解決手段】 パターン２１０の延在方向２０５に対するスキャン方向２０１に応じて、スキャン速度及び撮像用レンズの倍率を切り換えるようにしたことから、パターンに存在する欠陥を検出可能な画像分解能にて、可能な限り短時間にて、パターンの画像入力を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルや液晶セルの欠陥、特に真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等を確実に検出することができるとともに、安価な装置構成とすることができる被検査体の検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 被検査体の液晶パネル１を構成する一方の基板側から照明装置２により照明し、被検査体の画面を被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段３により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、照明装置２の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして被検査体を検査する第１の検査工程と、照明装置２の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して被検査体を検査する第２の検査工程とを含むものとする。 （もっと読む）

本発明は１枚のガラスなど、透明な媒質内の欠陥を検出する方法およびシステムに関する。その方法は、光源から透明な媒質に向かって光を送出するステップと、次いで光が透明な媒質で反射されまたは透明な媒質を透過するとき、光を走査することによって透明な媒質内の欠陥を検出するステップとを含む。その方法およびシステムは、暗視野モード、走査向け明視野モード、または検査向け明視野モードのいずれか１つで動作してもよい。
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【課題】結合レンズの一対によって１回に撮り込まれる被検査体の像における少なくとも２以上の検査部位を別々にCCDカメラ等によって撮像して得られたデータを比較することにより、簡便に欠陥を検知する。
【解決手段】被検査体に対向した対物レンズと該対物レンズの光軸上に配置された結像レンズと、該結合レンズの光軸上に配置され、この光軸を２つに分割するスプリッタと、該スプリッタによって分割された前記光軸上にそれぞれ配置された撮像手段を有する検査装置であって、この撮像手段の受光面と被検査体との光学的距離が互いに等しくなるように配置され、且つ、該撮像手段の受光面の光軸が前記分割された光軸と同軸でないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布状態を評価する方法に関し、基板に形成された蛍光体層の形状を非破壊検査によって、プラズマディスプレイパネルの製造工程中に検出することを課題とする。
【解決手段】 基板に塗布される蛍光体の塗布状態を評価する方法であって、発光色の異なる少なくとも２種類の蛍光体を塗布した後の基板表面を紫外線で照明した状態で該基板表面を各発光色を検出する異なる光検出器で走査し、各検出器から得られる電気パルス信号のパルス幅を比較して各蛍光体の塗布状態を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物の撮像画像から、注目画素と繰り返しピッチ離れた周囲８箇所の比較画素の輝度差を用いて、輝度差の低い微少欠陥部分を抽出し欠陥検査を行う。
【解決手段】注目画素（輝度；Ｘ）と比較画素（輝度；Ｙ１）〜比較画素（輝度；Ｙ８）との輝度差をそれぞれ取得する（Ｓ１）。８個の輝度差の絶対値を取り（Ｓ２）、輝度差を絶対値順に並べ替えて輝度差順位（ＲＡＮＫ）を付け（Ｓ３）、輝度差の絶対値の最大値と最小値の差（ＲＡＮＧＥ）を取得する（Ｓ４）。予め設定のＲＡＮＧＥとＲＡＮＫの対比表（表１）から、処理Ｓ４で取得のＲＡＮＧＥに対するＲＡＮＫを求め（Ｓ５）。ＲＡＮＫに位置する処理Ｓ３でＲＡＮＫを付けた輝度差（符号を含む）に、オフセット値を加えて繰り返しパターンを除去し、注目画素の輝度Ｘ’を得る（Ｓ６）。この処理を被検査対象物を撮像画像の全面に施し、繰り返しパターンを除去し欠陥部分のみを感度良く抽出する。 （もっと読む）

【課題】 液晶素子のシュリーレン欠陥を含む光学的欠陥を検出可能な液晶検査装置を提供すること。
【解決手段】 被検物４に略平行光を照射する照明光学系１、２、３と、前記被検物４からの透過光を受光する受光手段５と、前記被検物４の画像のコントラストを強調して前記被検物４中の光学的欠陥を検出可能にする画像処理手段６とを有する液晶検査装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検査員の個人差による表示欠陥などの不具合の検出率に差が生じ得ず、不良品の検出率を向上させることのできる表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検査すべき液晶表示パネル３２の一部に表示される検査領域ＡＸ１を表示する表示ステップを有する。さらに、表示された検査領域ＡＸ１を移動させる移動ステップを有する。移動ステップでは、検査員の視線を誘導する特定の移動方向Ｍ１の移動パターンに基づいて検査領域ＡＸ１を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 ガントリー部の移動に伴う揺れが少ないガントリー型ＸＹステージを提供する。
【解決手段】 架台４上に９個の除振マウント５を設け、その上に石定盤６を設ける。そして、石定盤６上に１対のガイドベース７を設け、その上に、石定盤６に対してＹ方向に移動可能にＣＦＲＰからなる１対の支柱１２を設ける。また、１対の支柱１２間には、ＣＦＲＰからなるビーム１４を張架する。更に、ビーム１４に対してＸ方向に移動可能に移動ベース１８を設け、移動ベース１８にレーザ光学ユニット２０を搭載する。 （もっと読む）