【課題】試料の被検査面を撮像した画像を検査することによりこの被検査面に存在する欠陥を検出する外観検査装置及び外観検査方法において、現在設定されている検査条件が、実際の試料に適した条件であるか否かを判定する。
【解決手段】外観検査装置１を、試料２の被検査面を撮像した画像を入力しこの画像に存在する欠陥を検出する欠陥検出部２０、２４と、検査対象である試料２の表面に予め設けられた既知の標準欠陥９の位置情報を記憶する標準欠陥データ記憶部６１と、標準欠陥９が設けられた試料２の表面を撮像した画像中の、標準欠陥データ記憶部６１に記憶された位置情報が示す位置に存在する標準欠陥９を欠陥検出部２０、２４が検出できるか否かを判定する検出感度判定部５０と、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】任意の傾斜角度に回動させたステージ部上の基板に対し、目視によるマクロ検査と顕微鏡によるミクロ検査を同時に行える外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】薄板状の基板１に光を照射する照明部２と、基板１を保持し照明部２の照明下において目視観察に適した傾斜角度に回動可能とされたステージ部３とを備える外観検査装置Ａにおいて、基板１の表面１ａを詳細観察するための顕微鏡４ａと、顕微鏡４ａにより取得された画像を撮像するＣＣＤカメラ４ｂとを備え、目視観察に適した傾斜角度で保持されたステージ部３上の基板１を目視観察して検知された欠陥部分に顕微鏡４ａを移動可能とする顕微鏡部４が備えられている。 （もっと読む）

【課題】目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板２は、被検査基板２を揺動可能に支持する揺動ステージ３上に載置されている。デジタルカメラ７は、実体顕微鏡５に固着された状態では、被検査基板２上の微小な結果を撮像して実体顕微鏡画像を生成し、実体顕微鏡５から取り外された状態では、検査者の目視位置で被検査基板２上の欠陥を撮像してマクロ画像を生成する。実体顕微鏡画像およびマクロ画像は検査制御装置１に取り込まれ、欠陥情報と関連付けて表示される。 （もっと読む）

【課題】大きさや形状が異なるむらが混在する場合においても、むらの検出を安定して自動的かつ効率的に行うことができる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】中心領域平均算出部１４は、対象画素に対応する中心領域における輝度（画像データにおける各画素の濃淡値）の平均値（中心領域平均輝度）を算出する。周辺領域１平均算出部１５１〜周辺領域Ｎ平均算出部１５Ｎは、同様に、この中心領域に対応する周辺領域１〜周辺領域Ｎにおける各画素の濃淡値の平均値（周辺領域Ｎ平均輝度）を算出する。次に、平均差分算出部１６は、中心領域平均輝度と周辺領域１平均輝度〜周辺領域Ｎ平均輝度との差分値（差分値１〜差分値Ｎ）を算出する。さらに、平均差分算出部１６は、差分値１〜差分値Ｎの中から代表値（代表差分値）を抽出する。この外観検査装置１においては、この代表差分値を用いてむらの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】欠陥を精度よく検出できる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】輝度取得手段３１は、カメラ２による撮影画像に基づいて、画面１Ａの輝度分布を取得する。合成手段３２は、輝度取得手段３１により取得された複数の輝度分布を合成する。欠陥抽出手段３３は、合成手段３２により得られた輝度分布に基づいて画面１Ａの欠陥を抽出する。動作制御手段３４は、パネル駆動装置１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】板ガラスの内部、あるいは表面に発生する各種の欠陥を迅速かつ効率的に高い精度で検出する。
【解決手段】板ガラス欠陥検出装置１０は、板ガラスＧを挟む対向位置に配置された光源２０と受光装置３０とを備えている。板ガラスＧは、その厚み方向に対向する透光面Ｇａ、Ｇｂを有し、透光面Ｇａ、Ｇｂが、この板ガラス欠陥検出装置１０の光学系の光軸Ｌｘに対して所定角度αだけ傾斜するように、光源２０と受光装置３０との間に配置されている。また、受光装置３０と板ガラスＧとは、光軸Ｌｘ上において、受光装置３０のレンズ系３１の焦点距離Ｆが、受光装置３０の受光素子から板ガラスＧまでの距離Ｚよりも小さくなるような位置関係で配置されている。 （もっと読む）

【課題】点欠陥の群化によるスジ欠陥を精度良く検出できる欠陥検出方法、欠陥検出プログラムおよび検査装置を提供すること。
【解決手段】撮像画像中において点欠陥候補がある程度以上に集まった（群化した）領域を対象領域として判定し（ＳＴ４：領域判定工程）、点欠陥候補が連続するクラスタ欠陥を算出し（ＳＴ５：ラベリング工程）、クラスタ欠陥相互の直線性および離隔距離を算出してクラスタ欠陥がスジ欠陥候補であると判定し（ＳＴ６：欠陥分類工程）てから、スジ欠陥検出用の手順でスジ欠陥を検出する（ＳＴ８：欠陥検出工程）ことで、点欠陥の群化によるスジ欠陥を精度良く検出し、欠陥判定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】シミ欠陥を誤検出しないで高精度に検出できるシミ欠陥検出方法の提供。
【解決手段】シミ欠陥強調フィルタを使用し、点対称位置でセットとされた２つの輝度比較画素の対象画素Ｏに対する輝度差の平均値に基いて、輝度比較画素Ｓ１〜Ｓ３２で囲まれたシミ欠陥を強調する。ここで、輝度比較画素のセット毎に、セットの２つの輝度比較画素の輝度値が処理上の所定輝度範囲内であるか否かを第１〜第４条件により判断し、一方のみが所定輝度範囲内である場合は、その所定輝度範囲内である方の輝度値と対象画素Ｏの輝度値との差分をシミ欠陥強調のための強調算出値とする。ディスプレイの種類などで異なる検査対象領域の輝度範囲やシミの特性などに応じて、シミ欠陥強調処理上の輝度範囲を設定することにより、この輝度範囲から外れるシミ欠陥を選択的に確実に強調できるので、誤検出を防止できる。 （もっと読む）

【課題】大きな被検体に対しても装置を大型化することなく対応でき、撮像部や投光部に不具合が生じた場合においても容易に交換可能な外観検査装置及びこれを用いた外観検査方法を提供する。
【解決手段】投光部３２から被検体２の表面に照明光が線状に照射され、照明光の被検体２からの反射光を受光し、これを集光する少なくとも１つのレンズ３２ｄと、レンズ３２ｄにより集光された光を結像する線状に配された複数の撮像素子３２ｃとからなる撮像部３２を分離可能な筐体に納めた撮像ユニット２２とされ、撮像ユニット２２を被検体２の幅寸法に合わせて複数連結して一つの連結撮像ユニットに構成する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査システムおよび方法において、基板の各レイヤーでの欠陥検査で、それより下層レイヤー、すなわち前の製造工程で形成された欠陥が検出される場合でも、下層レイヤーの欠陥を簡素かつ容易に除去し、欠陥検査の効率、精度を向上することができるようにする。
【解決手段】欠陥検査システムは、被検体の欠陥抽出を行って、抽出された欠陥の欠陥情報および位置情報を検査結果として取得する検査部３０と、検査結果を、各検査実行時の直前の製造工程の工程順番情報とともに保存する結果保存部２０と、結果保存部２０に保存された欠陥の位置情報を比較して略同一位置の欠陥を重複欠陥群として検出し、同一被検体内の重複欠陥群において工程順番情報を比較して後工程側の重複欠陥をすべて削除し、検査結果を補正する結果比較部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】画像表示パネルの角度誤差を、大掛かりな装置を必要とせず、簡便かつ高精度に補正可能な画像表示パネル検査用治具を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像表示パネル検査用治具は、上記画像表示パネルを支持する第１の支持手段２及び第２の支持手段３を備え、第１の支持手段２は画像表示パネル５を保持するように設けられた保持部４ａ，４ｂ、並びに、当該保持部を支持する第１の治具本体４ｃ，４ｄを備え、第２の支持手段３は、第１の支持手段２とは反対側から、画像表示パネル５を挟んで保持するように設けられた保持部４ｅ，４ｆ、及び、当該保持部を支持する第２の治具本体４ｇ，４ｈを備え、治具本体４ｃを基準として画像表示面７の角度誤差を、補正するように駆動する角度補正保持部４ａをさらに備え、角度補正保持部４ａは、治具本体４ｃに支持される保持部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ウエハ等の被検物体の欠陥検査を行う検査装置に関し、最適な装置条件の決定に掛かる時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 被検物体を照明する検査光の発光部と、前記検査光が前記被検物体により回折した回折光に基づく物体像を撮像する撮像部と、前記発光部の近傍に配置され前記被検物体を照明するモニタ光の発生部と、前記撮像部に入射する前記検査光の回折光に略比例する光量の前記モニタ光の回折光が入射する位置に配置されるモニタ部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表示パネル直近で外乱光を遮断できるとともに、遮光領域を変化させることができる遮断部材を備えて、サイズの異なる表示パネルであっても共通して用いることができる、表示パネル用の検査装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、位置決め機構４の位置決めピン４２ａ・４２ｂと、位置決めピン４３ａ・４３ｂとが、液晶パネル２０を所定位置にて左右から挟むように位置固定するように構成されているとともに、位置決めピン４２ａ・４２ｂ・４３ａ・４３ｂに設けられた遮光手段５が、該位置固定と同時に液晶表示パネルのフレーム２０ｃの前面に配置される。これにより、フレーム２０ｃの穴部からの外乱光が撮像手段３に入射するのを遮断することができる。 （もっと読む）

【課題】色むらを容易に検出する。
【解決手段】切替処理が常時実行されており、基準上部Ｕが上に設置された場合には方向センサ１７の検知に基づき通常通り基準上部Ｕ側が映像の上方となるように映像が表示される。一方、基準上部Ｕが下に設置された場合には方向センサ１７の検知に基づき基準上部Ｕ側が映像の下方となるように映像が表示される。いずれの場合においても、方向センサ１７の検知に基づいて、実際に上方となっている方向に映像の上方が向くように切り換えられている。 （もっと読む）

【課題】混載ウェハ（システムＬＳＩなど）などに対して欠陥を高感度に検出し、しかも欠陥種を幅広く検出して、欠陥捕捉率を向上させた欠陥検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、色収差のない反射対物レンズを採用することにより、多波長照明（複数の波長帯域を有する照射光による照明）による明るさ変動を抑制すると共に波長選択検出によって欠陥を顕在化して感度向上を図り、しかも試料上の同一空間像を異なる複数種の光学像で取得できるように構成した欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルのいずれかの基板に形成された感光性膜の露光後であって現像前に、当該感光性膜の形状が検査でき、隔壁層の透明、非透明に依存せず、また複数の方向からなる照明手段を必要とせず、低コストでかつ複雑な隔壁形状においても高精度基板上の突起欠陥の判定を行うことが可能になる。
【解決手段】本発明のプラズマディスプレイパネルの検査方法は、露光処理後であって現像処理前の感光性膜に、前記感光性膜を感光させない波長の光を入射し、前記光の反射を撮像して、前記感光性膜の形成状態を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの上方にある、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、駆動手段によって主走査方向に沿って移動するように構成されており、第１群ミラー部４は一定速度で一方向に移動するのに対して、第２群ミラー部５ａ・５ｂは上記一軸上を双方向に、且つ速度を可変させて移動する。 （もっと読む）

【課題】 共通欠陥の起因となる処理装置を容易に判別することができ、それによって共通欠陥の継続発生を早期に停止することを可能とするカラーフィルタの検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】 複数の処理装置を並列して配置し、順次、空いている処理装置に基板を投入して処理する処理工程を含むカラーフィルタの製造プロセスの下流において、処理された基板の欠陥の有無を検査し、同一座標における複数の欠陥の検出により共通欠陥を判断する欠陥検査方法であって、個々の処理装置において処理された基板に、当該処理装置と関係づけるトラッキング情報を付し、前記検査の際にこのトラッキング情報を読み取ることによって、欠陥が検出された基板とこの基板を処理した処理装置とを関係づけ、前記共通欠陥の起因となる処理装置を判別することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】１系統における１回の画像読み込みと１回の処理で検査を可能にする。
【解決手段】検査対象パネルの表面の画像を取り込むラインセンサーと、当該ラインセンサーと相対位置がずれないように取り付けられ前記検査対象パネルのエッジ部の裏面の画像を前記ラインセンサー側へ反射させて当該エッジ部の表裏面を並べて表示させる反射手段と、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとを相対的に移動させる相対移動手段とを備えた。前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面のエッジ部の画像と、前記検査対象パネルのエッジ部に位置する前記反射手段による当該エッジ部の裏面の画像とを並べて同時に撮影して検査を行う。 （もっと読む）

【課題】アレイテスト装置を提供する。
【解決手段】本発明のアレイテスト装置は、パネルの前面に形成されたパネル電極の電気的欠陷をテストする装置であって、パネルをローディングするローディング部と、ローディング部から移送されたパネルが定着される透明材質のテストプレートを有するテスト部と、テスト完了したパネルがテスト部から移送されて外部に搬出されるアンローディング部と、パネル電極の電気的欠陥有無を検出するテストモジュールと、テストプレートとパネルとの間に静電気発生を抑制するか発生した静電気を除去する除電部と、を備え、テストモジュールは、テスト部に位置したパネルの前面側及び背面側のうちの一つの方向に配された光源と、パネルを基準に光源と反対方向に順に配されたモジュレーター及び欠陥検出部とを備える。 （もっと読む）