【課題】検査環境による検査対象物の形状の良否判定の精度が検査環境によって低下することを防止する。
【解決手段】形状検査装置は、検査対象物を照明するための検査光源と、撮像手段と、前記検査光源を点灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データである検査データを取得する検査データ取得手段と、前記検査光源を消灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データであるオフセットデータを取得するオフセットデータ取得手段と、前記検査データと前記オフセットデータの差分を示す差分データを取得する差分データ取得手段と、前記差分データに基づいて前記検査対象物の形状の良否を判定する良否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】垂直、水平及びその他の角度のクラック（“亀裂”）を“膨れ”から区別することができるガラス容器の検査装置を提供すること。
【解決手段】検査ステーションにおいて回転しているガラス容器を検査するための装置。カメラが、ガラス容器上の関連する領域（例えば、口部）の像を撮像し、前記領域はある角度増分毎に撮像される。各像内で異常な対象物が分析され、データに対するその中心の偏りが測定される。最大値よりも小さい偏りによって、制御装置が、当該対象物を“膨れ”として特定することが可能になる。 （もっと読む）

特に金属板生産ラインにおける残留酸化物汚れ（残留スケール）を、ラインを停止せずに、完全自動で検出及び分類するように設計された本発明は、検査すべき金属板（２）表面の全域にわたって移動するための手段（８）が装備され、高解像度ＣＣＤカメラ（１）とハイパワー照明装置（６−７）及び拡散光発生器を収容するフレーム構造またはボックス（４）から構成されており、カメラのビデオ信号は、得られた画像を処理して、残留酸化物汚れを検出及び分類できるようにするためのソフトウェアを備えたＰＣ（３）に送られる。前記ボックスまたはフレーム構造（４）の移動は、やはり前記ＰＣ（３）に接続されたプログラマブルオートマトン（１４）によって制御される。
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【課題】
レンズに汚れが付着した場合でも欠報を発生させることなく誤報を減らして、安定的に欠陥を検出する手法、及び装置を提供することである。
【解決手段】
フレーム間の欠陥候補位置フレーム座標比較手段に加えフレーム間の欠陥候補位置３Ｄ座標比較手段を有し、同一箇所を最低でも２回以上撮影して、欠陥候補については別のフレームで同一の３Ｄ座標を持つ欠陥候補が存在しない場合に該欠陥候補がレンズ汚れであると判定する欠陥マスク情報生成手段とレンズ汚れ警報生成手段を有する。 （もっと読む）

【課題】撮像対象領域に対し検査対象物がどの位置にある場合でも、その被検査面の傾斜状態を正しく判別できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、９種類の色彩光を、それぞれ入射角度αが異なる方向から基板Ｓに照射する照明装置２を配備し、光軸を鉛直方向に沿って配備したカメラ１により基板Ｓを撮像する。ティーチング時には、基板上の部品種毎に、フィレットの正しい傾斜角度を求め、さらに基板上の各部品について、９種類の色彩光の中から、フィレットに照射されたときの正反射光がカメラ１に入射するものを特定し、その特定された色彩光に対応する色彩を抽出色として検査のために登録する。 （もっと読む）

【課題】コストの増加や検査効率を低下させることなく、被検査面の傾斜角度を従来よりも細かい単位で検出できるようにする。
【解決手段】半球状の筐体２０を具備する照明部２と撮像面を真下に向けて配備したカメラ１により基板を撮像する。筐体２０には、周方向および上下方向をそれぞれ等角度間隔をもって区分けすることにより複数の領域が設定される。各領域には、それぞれ１２個のＬＥＤ２２ａが３×４のマトリクスを構成するように配置される。これらのＬＥＤ２２ａのうち、マトリクスの４隅を除く８個のＬＥＤ２２ａは、その点消灯のパターンによって、基板に対する照明の方向を示すバイナリコードを表示する。検査の際の画像処理では、画像に現れた反射パターンからそのパターンに対応する照明光の方向を特定して、フィレットの傾斜角度を求める。 （もっと読む）

【課題】高密度実装基板上の実装部品の実装状態の良否の検査を、より正確かつ容易に行うことを可能にする。
【解決手段】撮像データを取得する撮像データ取得部１２と、取得した撮像データから、対象とする複数個の実装部品に関する画像データをそれぞれ抽出する解析領域抽出部１４と、抽出した各画像データから、上記複数個の実装部品のそれぞれについての、上記異なる色の光ごとの画素値ヒストグラムを作成するヒストグラム作成部１５と、作成した各分布データの、上記複数個の実装部品のそれぞれの間での差異に応じて、上記複数個の実装部品を、同じ検査パラメータを利用する実装部品ごとに区分するヒストグラム解析部１６およびバリエーション分割処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】線状に伸びる線材（被検査線条）の表面の疵や汚れ等の欠陥を正確に検出することのできる線条表面検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査線条８０に照射する検査光３０の被検査線条８０の長手方向の焦点を、光学系１２により絞り込み、被検査線条８０の幅方向は被検査線条８０の幅よりも大きくして、被検査線条の幅方向に細く伸びる微細なスリット形状のビーム光として照射する。また、投光部１１、光学系１２、受光部２０を備える検査部を２組以上、被検査線条８０の長手方向の位置をずらして配置する。スリットビーム形状の検査光により、微細の汚れや疵を検出することが可能となり、検査部の位置をずらすことにより、検査部相互間の干渉を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、取付部４１と、レーザ光源４２ａ，４２ｂと、受光手段としてのフォトダイオード４３ａ，４３ｂとから構成されるセンサ部４０を用いることで、２つの光源がそれぞれ所定角度に配置され、光ビームを被検査面へ照射し、所定の受光面積を有する２つの受光手段で被検査面からの反射光をそれぞれ受光するようになされる。これにより、回転する被検査物体、例えばカムシャフトのような真円ではない回転体の被検査面からの反射光も確実に検出でき、高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】カーペットなどの測定対象の汚染状態をより適切に表す汚染度を求めることが可能な汚染度測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ３は、被測定面の色である被測定色を検出する。本体装置５は汚染度測定部であり、非汚染状態の前記測定対象に相当する基準面の色である基準色を用いて、被測定色から被測定面の汚染度を求める。本体装置５は、単位汚染度当たりの色差を表す汚染度変換パラメータに基づいて基準色と被測定色の色差に対応する汚染度を求める。汚染度変換パラメータが均等色空間における基準色の位置に応じて変更される。汚染度変換パラメータを変更することにより、カーペット等の色の違いによる測定結果の差を低減し、汚れの色が同じであれば同様の測定結果が得られる。 （もっと読む）

【課題】ロッドレンズアレイを構成するロッドレンズの端面の疵や汚れ付着といった不整要因の有無を高精度で簡単かつ迅速に検査する装置及び方法の提供。
【解決手段】ロッドレンズアレイ１を構成するロッドレンズの一方の端面に、当該端面の法線に対して、ロッドレンズの開口数の最大錐角の半角より大きな角度で検査光を照射する光源部２と、ロッドレンズの他方の端面から出射した光を検出する受光部３と、受光部３の検出した光強度が所定の閾値以上の場合に、そのロッドレンズアレイ１を不良と判定する判定部６を備える。 （もっと読む）

【課題】複数種の対物レンズやワークに１台で対応可能であり、なおかつ簡単な構成のリング型照明装置を提供する。
【解決手段】中心に観測孔１ａを有した保持枠１と、ＬＥＤ２を前記観測孔１ａの周囲に斜め内向きの姿勢で円環状に一列に並べてなるＬＥＤ列２Ａと、前記ＬＥＤ列２Ａの光射出方向に配置した円環状の光学部材３とを具備するリング型照明装置１００において、複数のＬＥＤ列２Ａを同心円状に設けるとともに各ＬＥＤ列２Ａに対応させて複数の光学部材３を同心円状に設け、各ＬＥＤ列２ＡによるワークＷへの照明態様が互いに異なるように構成する一方、前記各光学部材３を連続させて一体構造のものとした。 （もっと読む）

【課題】微細な傷などを精度よく検出する。
【解決手段】走行するフイルム１２に対して上方に、フイルム１２の搬送方向（Ｘ方向）に直交するように受光器２５を設置する。受光器２５に対応させてフイルム１２の下方に、Ｘ方向に直交するように２個の光源２２，２３を設置する。光源２２，２３のうち、一方の光源を受光器２５に対してＸ方向上流側に、他方の光源を受光器２５に対してＸ方向下流側に設置し、欠陥がないフイルムが位置するときに受光器２５が暗視野状態となり、欠陥があるフイルムが位置するときに受光器２５が受光状態となるようにする。２個の光源２２，２３を用いて欠陥に光を当てることで、その欠陥による散乱光や拡散光が増大し、欠陥の検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】極細で長い円筒状金属線の表面きず検査を自動化して、検査精度を安定させた極細で長い円筒状金属線の表面きず検査装置を安価に提供。
【解決手段】円筒状金属線 1は第１ステーション10で第１及び第２のガイドハンド 2、3で第１の円錐ミラー 5の穴51にその軸方向半分1aを所定距離づつ挿入し、所定距離づつ第１の CCDカメラ 7の画像取込み装71置に第１の円錐ミラー 5の像を画像として取り込み、その後で、円筒状金属線 1は第２及び第３のガイドハンド 3、4で第２の円錐ミラー 6の穴61にその軸方向残り半分1bを所定距離づつ挿入し、所定距離づつ第２の CCDカメラ 8の画像取込み装置71に第２の円錐ミラー 6の像を画像として取り込むようにした。 （もっと読む）

【課題】壜上の垂直、水平及びその他あらゆる角度の亀裂を検知することができるユーザーが使い易く且つ容易に調整できるガラス容器を検査するための装置の提供。
【解決手段】検査ステーションにおいて、回転しているガラス容器の口部を検査するための装置。一対の光源（２０，２１）が、容器（１０）の軸線に対して直角に関連付けられ且つ当該容器の軸線と交差する水平光軸を有している。光源は、容器の口部を照射する。照射された割れは、容器の軸線と一致しており且つ光軸及び水平に対して４５°の角度を形成しているカメラ軸線を有しているカメラによって見ることができる。 （もっと読む）

【課題】正確かつ安定性が高い品質の光を照射することができ、しかも構成が簡単で効率もよいカラー撮像素子検査用の光源装置を提供する。
【解決手段】筐体１１に収容され、互いに異なる色の光を発する複数のＬＥＤ１と、各ＬＥＤ１に接続され、混合される前の各色の光を光混合部３に伝達する多数の第１メイン光ファイバ２と、各ＬＥＤ１に前記第１メイン光ファイバ２とともに接続され、混合される前の筐体１１内部で漏れる各色の光をそれぞれ導入される複数のサブ光ファイバ６と、前記各サブ光ファイバ６から導出される光の強度をそれぞれ検出する受光素子７と、前記受光素子７で検出された各ＬＥＤ１に対応する光の強度が、予め定めたそれぞれの目標値となるように、前記各ＬＥＤ１への供給電力をそれぞれ制御する供給電力制御部８とを備えるようにした。 （もっと読む）

上部部分にカメラレンズ孔（１３００）を形成し、少なくとも１組の低角度光源（１６００）を受け取るようになったドーム形状の拡散器（１１００）と、カメラレンズ孔（１３００）の近くで拡散器（１１００）上に搭載された複数の明視野光源（１２５０）とを含む検査システム。 （もっと読む）

【課題】装置が大掛かりにならず、エッジ部分の詳細な観察が行える周縁検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物（半導体ウエハ１０）を支持する支持部材（回転テーブル３０）と、前記被検査物の周縁（エッジ部分１１）を照明する照明部材（ランプ２０、リングライト２７）と、前記被検査物の周縁を観察する観察部材（ＣＣＤカメラ２１）と、前記周縁近傍を通過した光を前記観察部材に向けて反射させる反射部材（反射ミラー２２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面パターンを含む回折面上の欠陥を検出するための改良された高感度光学検査システムの提供
【解決手段】本発明のシステムは、回折面上の所定の領域を照射して、欠陥または表面パタンに応答して散乱強度分布を生成する第１および第２の照射手段と、回折面のまわりの複数の位置において散乱強度分布の強度レベルを検出する手段と、検出された最小強度レベルを確定する手段と、検出された最小強度レベルが閾値強度レベル未満である場合に回折面の照射領域上に欠陥が存在しないことを示し、検出された最小強度レベルが閾値強度レベルを超える場合に回折面の照射領域上に欠陥が存在することを示す、検出された最小強度レベルに応答する手段と、回折面を移動させ回折面上に走査パターンを生成し表面全体を検査する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】莢果の品質を適切に判別する。
【解決手段】莢果判別構造では、莢果２２を透過した透過光によって撮像された莢果２２の撮像画像を二値化処理する。さらに、二値化処理された莢果２２の二値化画像において、莢果２２の画素数に対する豆２６の画素数の比率を計算して、莢２４への豆２６の収容状態を判別する。しかも、莢果２２の画素数に対する豆２６の画素数の比率と所定数の閾値との大小関係に基づき、莢果２２が複数の等級の何れであるかを判別する。このため、莢２４への豆２６の収容状態についての莢果２２の品質を適切かつ明瞭に判別できる。 （もっと読む）