【課題】配線パターンの不良の誤検出が十分に低減された配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】金属製の長尺状基板１上にベース絶縁層２を形成する。ベース絶縁層２上に金属薄膜３１および導体層３３からなる配線パターン３を形成する。露出する配線パターン３の表面をエッチングにより粗面化処理する。その後、無電解錫めっきにより露出する配線パターン３の表面を覆うように錫めっき層３４を形成する。これにより、キャリアテープ１２が完成する。完成されたキャリアテープ１２について、配線パターン３に光を照射し、配線パターン３からの反射光に基づいて配線パターン３の不良検査を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの端縁に存在する欠陥を検出できると共に検出した欠陥を観察することができる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】半導体ウェハ１の端縁を異なる複数の角度方向から照明する欠陥検査用の第１の照明光学系１０ａ〜１０ｂと、半導体ウェハの端縁に向けて観察用の照明光を投射する第２の照明光学系１６ａ〜１６ｂと、欠陥検査時において半導体ウェハの端縁から出射した散乱光を集光し、観察時において半導体ウェハの端縁から出射した正反射光を集光する対物レンズ１２とを具える。対物レンズにより集光された散乱光は光検出手段１５により受光され、対物レンズにより集光された正反射光は撮像装置１９により受光する。光検出手段からの出力信号及び撮像装置からの出力信号は信号処理装置５に供給して欠陥検出信号を発生すると共に半導体ウェハの端縁の２次元画像信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 装置全体をコンパクトに保持しながら、複数の線状光源のＬＥＤからの光を効率良く集光することができるＬＥＤ照明装置を提供する。
【解決手段】 複数のＬＥＤ１１を線状に配置して線状光源４’となし、この線状光源４’の複数個を所定の間隔を置いて線状方向に配置して構成した面光源４と、面光源４の前方に配置され、各線状光源４’からの光を照射面２４に集光させる集光レンズ３と、を備える。集光レンズ３は、その表面に複数の線状光源４’のそれぞれに対応してシリンドリカル状のレンズ部２２が複数列並設されている。複数の線状光源４’と直交する断面において、複数列のレンズ部２２は、各列のレンズ部２２から射出される光とその光軸とのなす画角が、その中央列から左右外方列に行くに従って順次大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の良否の判定を効率よく、しかも高精度にて行える検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送手段にて搬送されてきた検査対象物に検査用光を照射する照射部２と、照射部２の検査用光が照射された検査対象物の画像を取り込むための画像取込部３と、画像取込部３にて取り込んだ画像に基づいて検査対象物の良否を判定する判定処理部４とを備え、照射部２が、青色の光を照射する青色照射手段５と、赤色の光を照射する赤色照射手段６とを備え、画像取込部３が、色の異なる２種類の照射手段にて照射されている検査対象物のカラー画像を取り込むためのカラー画像取込部から構成し、青色照射手段５からの検査用光が検査対象物の外観表面を照射し、かつ、赤色照射手段６からの検査用光が検査対象物の内部に入り込むように、青色照射手段５及び赤色照射手段６を配置した。 （もっと読む）

【課題】筒状物に存在する傷、ピンホール、薄肉部等の欠陥を精度良く簡便に検査し得る筒状物の検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、筒状の形状を有し且つその中心軸方向の一端が開放されて開口端１ａとされ且つ他端が閉じている中空の筒状物１の欠陥を検査する筒状物の検査方法である。筒状物１の周囲に配置された照明手段２０から該筒状物１の外周面１ｃ全体に光を照射しつつ、開口端１ａから筒状物１の中空部２内に光が入らないように該開口端１ａを遮光した状態で、撮像手段４０によって開口端１ａから中空部２内を撮像し、撮像された中空部２内の画像を画像処理することによって、外周面１ｃを透過して中空部２内に漏洩する光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス封止部のガラスの表面状態を、高価な検査装置を用いることなく効率的にガラスの表面状態を検査することができるガラス封止部の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス封止部を備える被検査体２０を検査位置に支持する支持部２２と、前記被検査体２０の上方に配置され、前記被検査体を照明する、リング状に光源が配置されたリング照明部２４と、該リング照明部２４の開口２４ｂを通して、前記ガラス封止部に写り込む前記リング照明部２４の光源２４ａの画像とともに前記ガラス封止部を撮影する撮像光学系３０と、該撮像光学系３０により撮影された画像データを解析し、前記ガラス封止部におけるガラスの表面状態を解析する画像解析部３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に光を照射する場合に、実装基板に多くのＬＥＤを取り付けて、すべてのＬＥＤからの光を検査ラインに向けられるようにする。
【解決手段】プリント基板４などの検査対象物に光を照射し、検査ライン５からの反射光をラインセンサ３で受光する検査装置１の照明装置２において、検査ライン５に沿った方向に第一列ＬＥＤ２１と第二列ＬＥＤ群２２を取り付けた一の実装基板２６と、この一の実装基板２６を取り付けるための平坦部２８を有する円弧状のブラケット２７とを備え、各実装基板２６における各列のＬＥＤ２３の光軸を検査ライン５に向けるようにする。また、第一列ＬＥＤ群２１と第二列ＬＥＤ群２２のＬＥＤ２３の光軸を、さらにそれぞれの列方向に沿ってそれぞれ異なる角度に設定する。 （もっと読む）

【課題】スラブに発生したブローホールや割れ等の表面欠陥を精度よく検出することのできるスラブ表面欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】スラブ６の幅方向に配列された複数のレーザ投光器７ａ，７ｂからスラブ６の表面にレーザ光８を照射して計測したスラブ表面の凹凸状態のデータからスラブ６に発生した表面欠陥を検出するスラブ表面欠陥検出方法であって、凹凸状態のデータが欠値となるスラブ表面のレーザ光非反射位置をレーザ光非反射位置抽出回路１１により抽出し、レーザ光非反射位置抽出回路１１により抽出されたレーザ光非反射位置がスラブ６の幅方向または長手方向に複数連続して存在するときに判定装置１２によりレーザ光非反射位置を表面欠陥の発生位置と判定する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成によって被検査物の検査精度を改善できる上、製造コストの低減を図ること。
【解決手段】 導光板５のそれぞれの端面部５ｃに光源部８を配置すると共に、導光板５の上面部５ａに断面形状がほぼＶ形状などの凹部６を交差するようなパターンで配置してなり、凹部６の内面部分６ａにハーフミラー的な機能を付与した。 （もっと読む）

【課題】撮像装置に要するコストを抑制しつつ基板上の部品の高さを把握する。
【解決手段】基板検査システムにおいて、ミラー角度制御部は、被検査面の垂線に対する角度の絶対値が互いに異なる撮像角度から見た基板２の映像をラインセンサが走査できるよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、基板２からの光をラインセンサに向けて反射するハーフミラー４２の角度を、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう変更して撮像角度を切り替える。このときミラー角度制御部は、基板２の表面に対して垂直な垂直撮像角度と、基板２の表面に対して傾斜した傾斜撮像角度とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】被検査体の立体形状を精度良く把握するための画像データを簡易な構成で取得することができる被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置において、第１ラインセンサ〜第３ラインセンサは、第１走査ライン１３０〜第３走査ライン１３４のそれぞれの映像を各々が走査する。パターン照明源は、基板の被検査面に斜め方向から光を照射して被検査面に検査パターンを形成させる。解析ユニットは、基板を走査して得られた画像データを利用して、位相シフト法により被検査面の高さを検査する。第１ラインセンサ〜第３ラインセンサ、およびパターン照明源は、第１走査ライン１３０〜第３走査ライン１３４の数をｎ、第１走査ライン１３０〜第３走査ライン１３４の間隔をａ、副走査方向における検査パターンの周期をＰｖとしたときに、ｎ×ａ＝Ｐｖとなるよう走査ラインの間隔および検査パターンの周期が設定されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の屈曲した被検査面や湾曲した被検査面に対して適正な照明を与えるとともに、従来技術の問題点を抑制する欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１の被検査面に明・暗・明パターンを作り出すべく被検査面を覆うように照明する円弧状照射面を有する照明手段２と、前記被検査面における明・暗・明パターンの暗部領域を撮像する撮像手段３と、前記照明手段と前記撮像手段とを一体的に保持する保持手段５と、前記保持手段と前記被検査面との相対位置を変更設定する位置決め手段６と、前記撮像手段によって取得された撮影画像における前記暗部領域から、画像処理を用いて前記被検査面上の欠陥を検出する欠陥検出手段７４とを備える欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】印刷物を擬似欠陥検出が少なく、高精度に検査することが可能な印刷物検査方法を提供すること。
【解決手段】基材の少なくとも一方の面に印刷が施された印刷物を検査する方法であって、前記印刷物に白色光を照射する照明段階と、前記印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記印刷物を撮像する撮像段階と、前記撮像段階にて得られた印刷物の画像データ中で検査対象としない非検査エリアを設定する、非検査エリア設定段階と、前記画像データを用いて、前記印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理欠陥判定段階と、を有し、前記非検査エリア設定段階では、非検査エリアは画像データ中の輝度差のある箇所に設定され、かつ、非検査エリアのサイズを輝度差の大きさによって調節することを特徴とする印刷物の検査方法。 （もっと読む）

【課題】微小はんだ領域と通常サイズのはんだ箇所とが混在するクリームはんだ印刷基板に対して、高分解能３次元検査と基板全面のはんだ箇所３次元検査とを実用的な検査時間において実現する。
【解決手段】基板に対してそれぞれ斜め姿勢の高分解能撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと基板全面撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、高分解能撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第１色相光光源と、基板全面撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第２色相光源によって照明装置を構成し、微小はんだ領域についてはスキャン撮像による高分解能３次元検査を、又その他の通常サイズはんだ箇所については基板全面のスキャン撮像による３次元検査をすることによって、検査時間が実用的な範囲に収まるようにした。 （もっと読む）

【課題】表面に錐形状を有する製品に対し、迅速かつ容易に検査を行える検査装置を提供する。
【解決手段】一方の面に少なくとも１以上の錐形状の突起部分を有する平板状の半透明の試料（１０１）の検査装置であって、
前記試料に対し、前記試料の表面に平行な方向から光を照射する第１の光照射手段（１０４）と、
前記第１の光照射手段に対向する方向から光を照射する第２の光照射手段（１０４）と、
前記試料を撮像する撮像手段（１０３）と、
前記撮像手段と前記試料との間の距離を測定する距離測定手段（１０５）と、
前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段（１０７）と、
前記撮像手段により撮像された画像データを処理する画像処理手段（１１０）と、
前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段（１１１）と、
を有することを特徴とする検査装置。。 （もっと読む）

【課題】照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面Ｐにおいて反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すとともに、大きいサイズの観測対象面Ｐに均一な光を照射して観測対象面Ｐの傷等を検出できるようにする。
【解決手段】観測対象面Ｐに、その裏面を除く略全方向から略均一な光を照射する光照射装置であって、観測対象面Ｐをその裏面以外の略全方向から略囲むように設けられ、観測対象面Ｐに向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面２ａと、拡散面２ａに向かって光を照射して、拡散面２ａの輝度を略全面において略均一にする第１光源と、拡散面２ａの輝度と同一輝度の光を、拡散面２ａの観測対象面Ｐとは反対側の開口から観測対象面Ｐに照射する第２光源と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】小形でかつ制御の容易な高精度の光ファイバ検査装置を提供する。
【解決手段】光ファイバ検査装置１０は、光導入部１２と画像取得部１４と画像処理部１６とを備える。光導入部１２は、光源１８と、光源１８が発する光Ｌを実質的に閉じ込めることができる遮蔽室２０とを備える。遮蔽室２０は、閉じ込めた光Ｌを、光ファイバＦの一部分Ｆ１の全周から光ファイバＦに導入する。画像取得部１６は、遮蔽室２０の外部にある光ファイバＦの他部分Ｆ２の側方に遮蔽室２０から独立して配置される１つ又は複数のカメラ２２を備える。カメラ２２は、遮蔽室２０で導入された光Ｌの一部を放射する光ファイバＦの他部分Ｆ２の側面を、予め定めた画角Ｖで複数の方向から撮像して、他部分Ｆ２の全周に渡る画像を表わす複数の側面画像Ｉを取得する。画像処理部１６は、カメラ２２が取得した複数の側面画像Ｉを個々に処理して、各々の側面画像Ｉにおける欠点Ｄを検出する。 （もっと読む）

多数の溝（２０）を画成するハニカム構造体（１２）を備えたセラミック・フィルター体（１０）の欠陥（ＤＥＦ１〜ＤＥＦ６）を検出するためのシステム（５０）及び方法の開示である。栓体（３０）により選択溝の端部（２２、２４）が封止される。この方法において、光学的に連絡できるようハニカム構造体の第１及び第２端部（１６、１８）にそれぞれ動作可能に配された第１光源ユニット（５２）及び第１検出器ユニット（６２）が使用される。多数の溝を通して、第１光源ユニットから第１検出器ユニットに光ビーム（ＬＢ）が送出される。特定の栓体の欠陥により対応する光ビームの検出可能部分（ＬＢＤ）が検出される。多数の検出器素子（６４）を用いて検出可能光ビーム部分を検出することにより、位置及び強度変化の情報が得られ、その情報により欠陥の正確な位置及び種類を推定できる。対向端部（１６、１８）に配された光源ユニット（５２、５２’）及び対向端部（１８、１６）に配された検出器ユニット（６２、６２’）により、セラミック・フィルター体の両端において欠陥の同時測定が可能な“両端型”システムが構成される。非填塞セラミック・フィルター体の欠陥（ＤＥＦ４、ＤＥＦ５）を測定するためのシステム及び方法も開示されている。
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【課題】本発明は、透明ないしは半透明の基材に塗液を薄く塗工するような場合にも適用可能であり、なおかつ塗工量や塗工むらの監視も可能な、インライン塗工検査方法ならびに塗工検査装置を提供するものである
【解決手段】透光性を有する基材の片方の面に塗工された塗膜の検査方法であって、前記基材と塗液供給手段との間に形成された塗液溜まりであるビードを、塗液塗工面とは反対の面の側から監視することを特徴とする塗工検査方法。 （もっと読む）

【課題】 容易に製造することができるとともに、放熱効率を高めることができる照明ユニット及びこれを用いた照明装置を提供すること。
【解決手段】 複数のプリント配線基板３と、プリント配線基板３に実装されたサイドビュー型の複数のＬＥＤ４と、複数のプリント配線基板３を支持するための支持手段５と、を備える。支持手段５は、相互に対向して配設された一対の外側支持プレート８ａ，８ｂと、一対の外側支持プレート８ａ，８ｂの間に所定間隔を空けて配設された内側支持プレート９と、を有している。内側支持プレート９の一側端部には、その他側端部方向に延びる複数のスリット１０が設けられ、複数のスリット１０の各々にはプリント配線基板３の他側端部が挿入支持され、一対の外側支持プレート８ａ，８ｂはそれぞれ複数のプリント配線基板３をそれらの長さ方向外側より支持する。 （もっと読む）