【課題】
透過パターン上の欠陥か、遮光パターン上の欠陥かを簡便に判別することができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる検査装置は、フォトマスク３０を透過した透過光と、フォトマスク３０で反射した反射光とを合成して検出する検出器４２と、遮光パターン３１で反射され検出器４２によって検出された反射光の光量が、透過パターン３２を透過して検出器４２によって検出された透過光の光量の１．５倍以上となるよう光量を調整する透過側フィルタ１２、落射側フィルタ２２とを備え、検出器４２からの検出信号と、第１のスレッショルドレベル及び第２のスレッショルドレベルとを比較して、透過パターン３２上に存在する欠陥か、遮光パターン３１上に存在する欠陥かを判別するものである。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、半田槽の下流側近傍に位置することが可能であり、プリント基板の流れを止めることなく、プリント基板の半田付け不良検査を行うことができる半田不良検査装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係る半田不良検査装置は、半田付け工程を行う半田槽から送出されたプリント基板が搬送される搬路上に位置し、前記プリント基板の搬送方向に対して垂直に延出し、前記プリント基板の搬送方向に所定の幅を有する撮像用スリットと、該撮像用スリット近傍に配された撮像用光源と、前記撮像用スリットの下方に位置し、前記撮像用スリット上を通過する前記プリント基板の半田付けされた表面の画像を所定の方向に反射する反射手段と、該反射手段によって反射された画像を撮影するカメラと、該カメラから出力されるプリント基板画像データに基づいて前記プリント基板下面の半田付け状態を検出する半田付け不良検出手段からなる。 （もっと読む）

【課題】ウエハー検査の工程速度（検査スピード）を向上させることのできるウエハー表面照射装置及び方法の提供
【解決手段】ウエハー表面照射装置は、第１の光ビームを発する第１のフラッシュ光源２１と、第２の光ビームを発する第２のフラッシュ光源２２と、偏向光学系３０と、制御手段と、を備える。フラッシュ光源２１、２２は、偏向光学系３０に向かって発光するよう配置されており、前記制御手段が、所定の周波数で、フラッシュ光源２１、２２を交互に発光させるとともに、偏向光学系３０が、ウエハーの手前側に設定された共通光路に、第１、第２の光ビームを偏向させる。 （もっと読む）

【課題】 薄物化が進む印刷用紙では印刷の裏抜けが問題となることに鑑みて、目視により行っていた裏抜けの評価を、定量的に行えるようにすると共に、官能的な評価と十分な相関性を確保できる裏抜け評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】 一定条件で印刷を行った印刷用紙印刷部の裏面と、印刷していない白紙部の裏面について、面積が1600〜10000mm²の測定領域を、一辺の長さが0.20〜3.0mmである正方形の微小領域に分割し、投光手段により測定光を照射しその反射散乱光の画像を撮影手段で撮影し、該撮影画像から微小領域の全てのＹ値を測定し、下記式で算出される裏抜け評価指標を算出して該裏抜け評価指標で裏抜けを評価する。
裏抜け評価指標
＝100×(印刷部裏面のＹ値平均値)／｛(白紙部裏面のＹ値平均値)×(印刷部裏面のＹ値の標準偏差)｝ （もっと読む）

【課題】良好に凹と凸および汚れを区別して認識するとともに、その大きさも検出できるのに適した照明装置。
【解決手段】搬送方向に対して直角に視野を持ち、被測定対象物の垂直上方から被測定対象物を撮影するように配置されたラインカメラの視野に対して照明する照明装置の構成として搬送方向に対して直角方向に広がる光束をラインカメラの視野に対して所定の角度で照射するように上流側に配置された照明装置と被測定対象物の搬送方向に対して直角方向に広がる光束をラインカメラの視野に対して所定の角度で照射するように下流側に配置された照明装置と上流側照明装置がＯＮのとき下流側照明装置がＯＦＦであり上流側照明装置がＯＦＦのとき下流側照明装置がＯＮであるようにライン毎に照明を切替える照明切替装置とを設ける。さらに、ラインカメラを含めて画像処理装置を構成しその画像処理装置を用いて画像処理を行う。 （もっと読む）

食品２０に混入した毛髪、虫等の異物を検出する異物検出装置１０において、前記食品２０を検出領域Ａに搬送する搬送コンベア１１と、前記検出領域Ａを挟んで少なくとも２方向から食品に対して照明光を照射する照明手段１４、１５と、検出領域Ａの一側から前記食品の表画像を撮像する撮像カメラ１２と、該撮像した表画像に対して２値化処理を含む画像処理を行い、異物を検出する画像処理手段１３と、を備え、前記画像処理手段１３が、前記撮像した表画像を２値化処理し、得られた２値画像のうち予め設定した黒色度の閾値を超える異常な１画素を検出した後に、該１画素に隣接する画素の異常の有無を検出し、異常画素が前記１画素を元に連続的に出現した場合に異物と判定する。このとき、異常画素が連続的な線状で出現した場合には毛髪等の繊維状異物と判定し、連続的な面積状に出現した場合には虫等の面積異物と判定する。
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【課題】 傾斜面の状態を検査する際に、画像の明るさや色合いが変動しても、信頼度の高い検査を実行できるようにする。
【解決手段】 赤，緑，青の各色彩光をそれぞれ異なる仰角の方向から照射した状態で上方から撮像を行い、得られた画像を用いてはんだのフィレット５３を検査する場合に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各階調による３次元のデータを１次元の色相データに変換し、この色相データを用いて赤、緑、青の順に沿って色相が変化する方向を抽出する。抽出された方向はフィレットの勾配が変化する方向を示すもので、この方向をあらかじめ登録された基準の方向と比較することにより、フィレットの傾斜面の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】 ダイアライザーの外観を高い検査精度で検査する。
【解決手段】 ダイアライザー検査装置は、外形が略円筒形状のダイアライザー１００の外観を検査する装置であって、円筒の中心軸と円筒の頂面とを接続した法線を含む平面上には、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０と、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０を挟むように設けられた３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０が設置されている。２台のラインセンサカメラ３１０，３２０は、法線に対して３０度ずつ左右に対称になるように配置される。また３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０は、その１台が法線上に、残りの２台が６０度ずつ法線を対称として配置される。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示装置（ＬＣＤ）のバックライト照明の導光板の画像処理検査装置において、検査時間内でワークである導光板の交換するステージを２つ持ち、交互に検査とワーク交換する構造とし、ワーク往復移動の撮像を最良にするためにカメラとワークとの角度を自動で変更する構造とする。
【解決手段】 ２つの、ワークである導光板の積載ステージは、高さの変更できるＺ軸モータとボールネジをＸ軸リニアモータ上の片側に持ち、ステージ下にカムフロアを持ち、撮像位置に２本のレールを持ち、ワーク交換位置では交換後に上位置から下位置に下降し、撮像手前位置に移動して上昇しレールに乗り、往復移動しながら撮像後、ワーク交換位置にそのまま移動し、２つのステージは干渉しないで、検査処理数を増大させる。２種のカメラがその構造体ごと一部域旋回移動し、ワークとの撮像角度を変更し最適な撮像データを撮り込み画像処理で良否判定の外観検査をする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板縁部における欠点を高精度に検査することを可能としつつ、検査時の位置決め作業を不要とする。
【解決手段】 本発明による欠点検出システムは、コンベア上に設定される縁部検査セクションまで搬送姿勢検出セクションを介してガラス板を搬送する搬送機構と、搬送姿勢検出セクションに設けられ、姿勢検出用の撮像手段１０６及び光源１０４を用いて、縁部検査セクションに搬送されるガラス板の搬送姿勢を検出する搬送姿勢検出装置と、縁部検査セクションに設けられ、欠点検出用の撮像手段２１２及び光源２１４が組み込まれたカメラ組立体２１０を、ガラス板の縁部に沿ってガラス板の全周に亘りカメラ組立体を移動させ、その際に撮像手段２１２により取得されるガラス板の縁部の画像情報に基づいて、ガラス板の縁部における欠点を検出する縁部検査装置と、を含み、カメラ組立体２１０の移動軌跡が、前記搬送姿勢検出装置から得られるガラス板の搬送姿勢情報に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】
容易に製造できて品質や精度がよい光照射装置１を提供する。
【解決手段】
中央に観測孔を有し、内面が概略凹球面であるリング状の熱塑性変形可能な樹脂プリント配線基板３と、そのプリント配線基板３の内面に対して、それぞれ光軸が略垂直となるように取り付けた複数の発光体４と、発光体４を取り付けた前記プリント配線基板３を、撓むことがないように保持するリング状の保持枠２とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法を提供する。
【解決手段】ＸＹステージ上の基板の周期性パターンに対して斜め透過光の照明を行う４つの光源と、照明された周期性パターンにおける回折光を撮像する撮像手段と、基板に対して光源の各々を二次元平面視野内で個別に移動させる移動手段1と、光源から斜め透過光の照明があたるように、光源の向きを変えさせる姿勢変更手段と、基板上の撮像対象エリアを少なくとも２つのエリアに分割し、ＸＹステージと光源との相対位置関係を調整するとともに光源の光量を調整することにより分割エリアの各々の輝度レベルを調整し、撮像手段により各分割エリアをそれぞれ撮像し撮像した分割画像データをそれぞれ取り込み、取り込んだ分割画像をつなぎ合わせて合成し、合成画像を用いてスジ状ムラを判定する際に擬似欠陥を欠陥として判定しない擬似欠陥除去手段40とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】 搬送コンベヤ２の一側に、検査対象の容器１に向けて光を照射する照明手段３が設けられており、また搬送コンベヤを挟んで照明手段３と対向して撮影手段４が配置されている。ラベルの一部に破れがある場合には、光はその破れを通過して撮影されるので、画像処理によって当該破れを検出することができる。上記照明手段は、スリット板とシリンドリカルレンズとを備えており、それによって矢印Ｘで示すように、光を容器１の幅とほぼ同等に収束させて該容器に照射させることができる。
【効果】 従来は矢印Ｙで示すように光が拡散されており、その光が他の容器に反射されて検査対象の容器１のラベルに照射されることがある。これにより、その照射部分が不良部分として誤検出される虞があるが、本発明ではこれを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板に出現する遮光性欠点を透明欠点と区別して検出する欠点検査装置を提供すること。
【解決手段】移動するガラス板の一方の面側にＣＣＤラインセンサーを配設し、ガラス板の他方の面側でＣＣＤラインセンサーの視野角の外側に棒状光源を配設し、ガラス板の他方の面側でＣＣＤラインセンサーが見る位置に拡散反射面を有する反射板を配設し、棒状光源からガラス板に向けて光を投光するとともに、棒状光源から出射し反射板で拡散反射させた光をガラス板に導き、ガラス板に存在する欠点で偏向した光の光量をＣＣＤラインセンサーで受光して欠点を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被写体（１０）の周辺に広がる側面（９）を像面に結像させるための結像レンズ系であって、反射素子（６）及び、光線方向の反射素子の下流に配列され、被写体（１０）から放射する光線と光軸（１２）との角度を減少する第１角度減少素子（３，１７）を含む結像レンズ系に関する。
【解決手段】製造が簡単且つ低廉であって、入射光線に関し大きい受光角を有し、被写体の不正確な位置に対しても対応できる、被写体の周辺に広がる外側面を結像させるための結像レンズ系を提供するため、本発明は、光線方向の反射素子（６）の上流に、被写体（１０）から発する光線（１，１）と光軸（１２）との角度を減少する第２角度減少素子（１３）を配列することを提案する。
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【課題】 光源や光学素子などの不具合成分に起因する擬似欠陥と基板自体の真の欠陥とを識別可能な外観検査装置及びこれを用いた外観検査方法を提供する。
【解決手段】 基板６表面６ａに照射した照明光の反射光を観察することにより基板６の検査を行う外観検査装置１の、光源２及び光源２から出射された光の方向を偏向する反射ミラー３、４や偏向された光を収束するフレネルレンズ５などの光学素子のうち、少なくとも１つを、周期的もしくはランダムに揺動又は湾曲させて光軸方向又は焦点位置を変位させることで、照明光学系の不具合成分に起因して基板６上に出現する擬似欠陥を揺れ動かし、擬似欠陥と基板６自体に生じた真の欠陥とを識別する。 （もっと読む）

【課題】 照明手段による異なる方向からの照明光量に差が生じることを阻止して、受光手段にて計測される受光量が適正光量範囲を外れているか否かを適切に判別することが可能となる粒状体選別装置を提供する。
【解決手段】 外周面が曲面である粒状体群を計測対象領域を通過させながら一層状態で移送して、粒状体の大きさよりも小さい範囲を単位受光対象範囲とする分解能状態で計測対象領域からの検出光を受光して受光量を計測する受光手段５の受光情報に基づいて、単位受光対象範囲毎に受光量を評価して粒状体を選別するように構成され、照明手段４が、計測対象領域の経路横幅方向に沿う方向視において、受光手段５の光軸に対して粒状体移送方向の上手側及び下手側の夫々に設けられる照明部のうちのいずれか一方がライン状光源にて構成され、他方が光反射体にて構成される。 （もっと読む）

【課題】 個人差、個人の状態差の影響を受けることなく、色むらの有無、程度などを精度よく検査する。
【解決手段】 モアレを除去できるように集光光学系３４の焦点を調節して撮像装置３５により基板３１を撮像し、撮像データに基づいて色むらの有無、程度などを検査する。 （もっと読む）

【課題】印刷装置で印刷された印刷物の品質を検査する技術に関し、特に、赤外線領域において異なる特性を有するインキで印刷された印刷物の検査技術に関する。
【解決手段】赤外線領域において異なる特性を有するインキを印刷した印刷物３の検査方法であって、照明手段２から前記印刷物の表面に赤外線又は赤外線を含む光を照射し、画像入力手段５では、前記印刷物を赤外線の７５０ｎｍ以上の波長領域で撮像した赤外線画像データを入力し、記憶手段では、前記入力した赤外線画像データと、標準となる印刷物の赤外線基準画像データを記憶し、画像処理手段６では、前記赤外線画像データと、あらかじめ登録してある前記赤外線基準画像データとを比較し、その比較結果に基づいて前記印刷物３の印刷品質を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

糸（９）を光学走査するための装置（１）は、第１スペクトル領域で糸（９）を光学走査するための第１光学走査手段（２１、３）と、第１スペクトル領域とは異なる第２スペクトル領域で糸（９）を光学走査するための第２光学走査手段（２２、３）とを含む。第１光学走査手段（２１、３）および第２光学走査手段（２２、３）は、第１スペクトル領域で反射し、ただし第２スペクトル領域では反射しない背景（４）の前に配置される。したがって、本発明は、明色背景（４）を用いた測定と暗色背景（４）を用いた測定の利点を一本化する。したがって、糸の明色の異物も暗色の異物も確実に認識することができ、異なる異物は相互に区別することができる。 （もっと読む）