【課題】取得したカラー画像の色の情報から、人間の目でも検出が難しいような、色の不均一部分を検出し、計算量は極めて少なくして高速化を実現できる色むら検査装置を提供すること。
【解決手段】スキャン方向と直角に１次元配列された各素子からスキャンして得られる標準画像からの情報を実値とし、得られた実値の最高値と同一となるように、各実値に掛ける補正係数を各素子ごとに算出し、検査対象から得られた画像情報において、同位置の素子から得られる実値に対して、標準画像から算出した同位置の素子の該補正係数を、各素子ごとに演算処理して補正することを特徴とする。また、検査対象からの入力光をフィルタを介在させてカメラに入力する光量を調整するとともに、カメラからの入力に１０ｂｉｔを用いた後、８ｂｉｔに情報を減らした特徴空間を形成する処理をし、該特徴空間において前記補正係数を各素子ごとに算出する。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルのいずれかの基板に形成された感光性膜の露光後であって現像前に、当該感光性膜の形状が検査でき、隔壁層の透明、非透明に依存せず、また複数の方向からなる照明手段を必要とせず、低コストでかつ複雑な隔壁形状においても高精度基板上の突起欠陥の判定を行うことが可能になる。
【解決手段】本発明のプラズマディスプレイパネルの検査方法は、露光処理後であって現像処理前の感光性膜に、前記感光性膜を感光させない波長の光を入射し、前記光の反射を撮像して、前記感光性膜の形成状態を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水車におけるステーベン５の欠陥を高い精度で効率的に求める。
【解決手段】 先端部１９の三次元位置と向きとを読取る三次元デジタイザ７の先端部１９に距離計８を取付けて、先端部をステーベン５に対する倣い操作を行なうことによって、ステーベンの三次元形状を測定する。次に、三次元デジタイザの先端部に超音波探触子９を取付けて、ステーベンの表面の各位置へ超音波探触子を順次当接していくことによって、ステーベンに対して超音波パルスを送信してエコーを受信する。そして、超音波探触子のステーベンにおける各当接位置、エコー受信情報、及び測定した三次元形状に基づいてステーベンにおける欠陥の３次元位置と欠陥規模とを算出する。算出した三次元欠陥を三次元グラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】混載ウェハ（システムＬＳＩなど）などに対して欠陥を高感度に検出し、しかも欠陥種を幅広く検出して、欠陥捕捉率を向上させた欠陥検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、色収差のない反射対物レンズを採用することにより、多波長照明（複数の波長帯域を有する照射光による照明）による明るさ変動を抑制すると共に波長選択検出によって欠陥を顕在化して感度向上を図り、しかも試料上の同一空間像を異なる複数種の光学像で取得できるように構成した欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの上方にある、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、駆動手段によって主走査方向に沿って移動するように構成されており、第１群ミラー部４は一定速度で一方向に移動するのに対して、第２群ミラー部５ａ・５ｂは上記一軸上を双方向に、且つ速度を可変させて移動する。 （もっと読む）

【課題】 光透過性のある材料特に高分子フィルムの品質に大きく関与する内部異物の測定に利用できる、しかも比較的簡便な検査方法を提供する。
【解決手段】 レーザー光の波長が光透過性のある材料の高分子フィルムなどに透過可能な１５０〜２０００ｎｍであるレーザーを使用して、本高分子フィルムの表面異物及び内部異物の情報を含む画像をレーザー顕微鏡で観察して得られる画像データＸと、本高分子フィルムの表面異物のみの情報を含む画像をレーザー顕微鏡で観察して得られる画像データＹを得て、（Ｘ−Ｙ）の画像処理を行うことで内部異物のみの情報を得る光透過性材料の内部異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】錠剤を搬送して検査する搬送用ベルトに付着した錠剤の余剰粉を効率的に排除し、長時間運転が可能な着粉除去装置及び錠剤検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤を搬送して不良錠剤を検査する搬送用ベルト１２、２２の搬送面と搬送面に錠剤を吸引するための吸引孔を設けた吸引溝とが設けられ、搬送用ベルト１２、２２の吸引溝に付着した錠剤の余剰粉を除去する着粉除去装置１０であり、圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、吸引溝に堆積した余剰粉を除去するための圧縮空気供給手段により圧縮空気を噴射する噴射ノズルと、吸引溝を撮影して得られる画像信号に基づいて吸引溝に付着する余剰粉を検出する検査カメラ１１、２１と、検査カメラ１１、２１による余剰粉の検出によって、圧縮空気供給手段を制御して圧縮空気を噴射ノズルから噴射するベルト清掃制御装置３０、４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査部材１の表面を自動で検査する場合に、低コストでかつ短時間で該表面が正常であるか否かを正確に判定することができるようにする。
【解決手段】被検査部材１の表面に光をライン状に照射し、撮像素子８により、該表面上の光照射部Ａを上記ライン方向に等分割してなる各ライン分割部毎に、該ライン分割部で反射した反射光のうち、上記ライン方向から見て光照射部Ａを通る２つの所定の直線間の角度範囲を等角度分割してなる各角度分割部を通った反射光を、上記表面と撮像素子８との間に配設したシリンドリカルレンズ５を通してそれぞれ受光し、該受光した各ライン分割部毎の各角度分割部の反射光の光強度に基づいて、被検査部材１の表面が正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】絶対的なモデル画像を必要とすることなく、高精度かつ効率的にＭＥＭＳデバイスの欠陥を検出するとともに、欠陥の種類を正確に分別すること。
【解決手段】欠陥検出装置１００は、ウェハ１の各ダイ３０に形成されたプロテインチップ３５を、各ダイが複数に分割された第１分割領域７１毎に低倍率で撮像して、各第１分割領域７１を識別するＩＤとともに検査対象画像として保存し、対応するＩＤを有する各検査対象画像の各画素毎の平均輝度値を算出して各第１分割領域７１毎のモデル画像を作成し、モデル画像と各検査対象画像との差分を差分画像として抽出した後、各差分画像に対してＢｌｏｂ抽出を行ない所定面積以上のＢｌｏｂを抽出して欠陥の有無を判断し、更に、欠陥が有る場合には第１分割領域７１を更に分割した第２分割領域７２毎に高倍率で撮像し、再度モデル画像を作成してＢｌｏｂを抽出し、欠陥の特徴点を基に欠陥の種類を分別する。 （もっと読む）

【課題】高速での良品判定を可能とし且つ外観検査の精度を向上させる。
【解決手段】略円柱状の検査対象物の外観検査を行う外観検査装置１であって、検査エリア内において検査対象物を回転させながら移動させる回転移動手段３０と、検査エリア内を回転しながら移動する検査対象物を異なるタイミングで複数回撮像する撮像手段４０と、撮像手段４０が同一の検査対象物を複数回撮像した複数の撮像情報の各々から、検査対象物に対して予め定められた特徴箇所に対応するパターン情報を抽出するパターン情報抽出手段１１ａと、該抽出した複数のパターン情報と特徴箇所に対して予め定められた判定用パターン情報とを比較した相関関係に基づいて、特徴箇所の外観状態を判別する特徴箇所判別手段１１ｂと、該判別した判別結果に基づいて、検査対象物の外観状態が良品であるか否かを判定する良品判定手段１１ｃと、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を１台の撮像手段のみで任意の角度からの撮像を可能とする。
【解決手段】撮像手段４０によって略円柱状の検査対象物を撮像した撮像情報に基づいて前記検査対象物２の外観検査を行う外観検査システム１に用いられて、前記撮像手段４０が撮像する検査エリア内を横切るように前記検査対象物を搬送する検査対象物搬送装置３０であって、前記検査エリアＥ内を横切り且つ前記検査対象物２が落下しない搬送溝３１ｆを形成するように平行に設けられた螺旋状の一対の螺旋棒部材と、前記一対の螺旋棒部材の各々を同一方向に回動する回動手段３２と、を有し、前記一対の螺旋棒部材は、前記検査対象物２が前記搬送溝３１ｆを予め定められた搬送方向に回転しながら移動するように、お互いの螺旋状のピッチをずらして配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】目視判定における良否判定の基準を安定させ、検査効率を高める。
【解決手段】本発明の外観検査装置１は、プリント基板Ｐを撮像するカメラ５２と、プリント基板Ｐの状態の良否を判定するための基準となる基準画像データを記憶する記憶部６１と、カメラ５２により撮像されたプリント基板Ｐの撮像画像の画像データと記憶部６１に記憶された基準画像データとを比較して差分をとり、この差分に基づく差分画像を作成するコントロールユニット６０と、差分画像を表示する液晶モニタ４とを備えている。図８は表示画面の一例であって、左上の表示領域に左側ずれ限度画像を、右上の表示領域に差分画像（差分領域Ｄ２）及びプリント基板Ｐの撮像画像を、左下の表示領域に標準画像を、右下の表示領域に差分画像（差分領域Ｄ１）及びプリント基板Ｐの撮像画像をそれぞれ同時に表示させたものである。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ検査の効率化を図る。
【解決手段】ウェーハをポッドから搬出して、回路パターン等が形成される表面、またはその裏面の検査を行った後（ステップＳ１〜Ｓ６）、検査面が表面の場合には、そのウェーハを表面が上向きの状態でポッドに収納し（ステップＳ７，Ｓ８）、検査面が裏面の場合には、その検査の結果を用いて、そのウェーハを裏面が上向きの状態でポッドに収納するのか、そのウェーハを反転して表面が上向きの状態でポッドに収納するのかの選択を行う（ステップＳ７〜Ｓ１１）。これにより、この検査後にＳＥＭレビュー等の評価を行う場合でも、その評価の段階で収納部から搬出したウェーハを反転させることが不要になり、ウェーハ検査の効率化が図られるようになる。 （もっと読む）

【課題】被検査体であるカラーフィルタなどの表示部材の表面に発生するムラ（スジムラ）の周期性の有無の判断が可能な検査装置を実現する。
【解決手段】本発明の検査装置は、表示部材の光照射されている検査対称面を撮像して得られた撮像画像データに基づいて、該表示部材の検査を行う検査装置において、上記撮像画像データに含まれる光分布情報に対して、任意の方向を投影方向として一次元投影処理を行う一次元投影処理回路１１０と、上記一次元投影処理回路１１０によって一次元投影処理された光分布情報の周期解析を行う周期解析処理回路１２０とを備えていることで、周期解析結果から、撮像画像における投影方向の光分布の周期を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】埋設された配管に対して交換工事等を行う際に、図面と現況とでは異なっている事態が多々発生し、工事予定箇所の周辺まで考慮して、土石を開削しなければならない。
【解決手段】本発明は、カメラヘッド部内に３軸加速度センサを備えて、配管内を推進する際に、カメラヘッド部の移動距離と、その移動距離が推進方向の変化により区分された区分移動距離とその推進方向に関する方向情報を生成し、その方向情報を用いて撮影された管内画像を実際の管路の配設状態と同じになるように天地を一致する補正を施して表示させる管路点検システムである。さらに管路図作成部を備えて、方向情報を用いて画像処理により立体的な管路形態を示唆する図を作成する。 （もっと読む）

【課題】１系統における１回の画像読み込みと１回の処理で検査を可能にする。
【解決手段】検査対象パネルの表面の画像を取り込むラインセンサーと、当該ラインセンサーと相対位置がずれないように取り付けられ前記検査対象パネルのエッジ部の裏面の画像を前記ラインセンサー側へ反射させて当該エッジ部の表裏面を並べて表示させる反射手段と、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとを相対的に移動させる相対移動手段とを備えた。前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面のエッジ部の画像と、前記検査対象パネルのエッジ部に位置する前記反射手段による当該エッジ部の裏面の画像とを並べて同時に撮影して検査を行う。 （もっと読む）

【課題】欠陥ログを確実に検出する。
【解決手段】巻取り機の前段にあるバキュームロール上を走行する原紙に対して高周波照明を照射するとともに、その照射部分の所定位置を幅方向に沿って線状に高速度カメラで連続撮影し、この撮影された線状の原紙画像を画像処理装置に取り込むとともに撮影順に順次連続的に合成して原紙画像を形成し、この合成された原紙画像に基づいて欠陥を検出する欠陥ログの検出方法により解決する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の特殊な構造によるあるいは局所的な色艶の微妙な差や、風合いの違いが、より正確に判別あるいは検出することができるＬＥＤ照明光源装置を提供する。
【解決手段】本ＬＥＤ照明光源装置は、青色ＬＥＤ１２ａ、赤色ＬＥＤ１２ｂ、緑色ＬＥＤ１２ｃ及び白色ＬＥＤ１２ｄよりなるＬＥＤ光源１１と、ＬＥＤ光源１１を１０μｓ〜１ｍｓの時間幅のＰＷＭパルス駆動電流で制御する定常光用パルス制御回路１４と、ＬＥＤ光源１１を１０〜３０ｍｓの時間幅のＰＷＭパルス駆動電流で制御する光用パルス制御回路１５と、定常光用パルス制御回路１４からのＰＷＭパルス駆動電流および１０〜３０ｍｓの時間幅のＰＷＭパルスで制御する光用パルス制御回路１５からのＰＷＭパルス駆動電流を組み合わせたＰＷＭパルス駆動電流でＬＥＤ光源１１を駆動するＬＥＤ光源駆動回路１６を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも少ない検査タクトで、表面異物と裏面異物と内部異物と不良画素とを識別することが可能な検査装置を実現する。
【解決手段】検査装置１００は、表面異物に対応する領域を検出する表面異物検出部１２２と、表面異物、裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかに対応する領域を検出する欠陥候補検出部１２３と、検出された領域を参照して、液晶パネルにおいて裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかが存在する部位を特定する欠陥部位特定部１２５とを備えている。不良画素判定部１２７と裏面異物判定部１２８とを含む画像処理部１２０は、裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかに対応する欠陥部位を識別すればよいので、検査タクトが少なくてすむ。 （もっと読む）

【課題】異物等の被検出体を精度良く認識する。
【解決手段】本発明に係る画像処理装置は、被検出体を含むシート状物を表す画像データを取得し（ステップＳａ）、その端部領域の階調値を「０（白）」に変更する（ステップＳｂ）。その後、画像処理装置は、この画像データに平滑化処理、膨張処理、二値化処理などの画像処理を施すことによりオブジェクトを抽出し（ステップＳｃ）、抽出したオブジェクトのなかから、被検知体に相当するオブジェクトを特定する（ステップＳｄ）。このようにすることで、カールやスキューに起因して生じる認識率の低下を抑えることが可能となる。 （もっと読む）