【課題】粉粒体中に混入した異物を高精度に検出することができる粉粒体検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、粉粒体を供給する供給機構１０と、供給機構１０から供給された粉粒体を搬送するための搬送部材２２を備え、層厚を調整しつつ粉粒体を搬送方向下流側に搬送する搬送機構２０と、搬送される粉粒体内に異物が混入しているか否かを検査する検査機構３０と、異物を回収する第１回収機構５０と、搬送機構２０の搬送方向下流端まで搬送された粉粒体を回収する第２回収機構５５とからなる。検査機構３０は、搬送部材２２上の粉粒体に向けてレーザ光を走査しながら照射するとともに、粉粒体によって拡散反射されたレーザ光を受光して電気信号を生成し、生成した電気信号を基に異物混入の有無を判定する。搬送部材２２の下面には、上面側から下面にまで達したレーザ光を拡散反射させる光拡散部材２３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】表面特性を定量的に評価するための、さらに下塗りラッカ塗装の評価も可能にする装置と方法を提供する。
【解決手段】表面特性を定量的に評価するための装置（２１）は、第１光放射装置（２３）を有し、この光放射装置は、調査しようとする表面（１）に対して第１所定角度で配設され、調査しようとする表面（１）に放射光を方向付け、表面（１）に向けられた放射光は、赤外領域にある波長を有する少なくとも１つの成分を有し、さらに、調査しようとする表面に対して第２所定角度で配設された検出装置（２４）が備えられ、この装置が表面に照射されてこれからはね返される放射光を検出する。 （もっと読む）

【課題】照明条件などの観察条件の設定を容易にして使い勝手を改善する。
【解決手段】観察対象を照明するための照明部と、照明部により観察対象を照明する照明方向、明るさ、角度の少なくともいずれかを変化させた複数の異なる照明条件を設定するための簡易観察条件設定手段と、簡易観察条件設定手段で設定された複数の照明条件毎に簡易的に取得された複数の簡易観察画像を表示手段の画面上に一覧表示する簡易観察画像表示手段と、簡易観察画像表示手段に表示された複数の簡易観察画像の内から所望の一の簡易観察画像を選択する選択手段と、選択手段で選択された簡易観察画像に設定されている照明条件に基づき、必要に応じてさらに照明条件を設定可能な観察条件設定手段と、観察条件設定手段で設定された照明条件に基づいて、撮像手段で取得された観察画像を表示する観察画像表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で、用紙の表面または裏面に画像が形成されているか否かを用紙毎に検知する。
【解決手段】 検出位置Ｐの用紙に向けて光を発する発光素子アレイ３１、検出位置Ｐから端面３２２に入射した光を導いて端面３２３から出射させるシート状導光部材３２、及び、端面３２２からの出射光を受光し、受光した光の強度を示す電気信号を出力するフォトセンサ３３を有する検出装置２７を提供する。発光素子アレイ３１からの光は、検出位置Ｐの用紙により反射され、シート状導光部材３２に導かれてフォトセンサ３３により受光される。 （もっと読む）

投受光部（５２）は、液体が基板（１４）に供給されて縁部（３０）に流れる状態で、レーザ光を縁部（３０）に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ（５４）は、反射波の電気信号を処理して縁部（３０）の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部（３０）が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
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パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
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