【課題】注射液剤中の異物を自動検出し、外乱要因のない環境下において当該異物の同定を的確に行なうことができる、ラマン分光測定法による注射剤中の異物自動測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】顕微ラマン分光装置のステージ下に置いた検査チップに注射液剤を注入し、低倍率の対物レンズによって検査チップの液材収容部をマッピングして画像を撮影し、撮影画像をコンピュータで二値化処理し、当該異物の重心の二次元座標を記録し、顕微ラマン分光装置の対物レンズを高倍率の対物レンズに切り替えて、異物が存在する座標位置にステージを移動し、ラマン分光測定法によって異物のスペクトルを取得し、前記スペクトルをコンピュータに記憶されているライブラリーと対比して、異物の物質名の同定を行なう。検査チップには、マイクロ流路を形成したものと、プール部を形成したものがある。 （もっと読む）

【課題】 潤滑剤の厚さ、および発光部と受光部の距離を一定に保つことができ、現場でサンプリングした潤滑剤の劣化検出が容易な潤滑剤劣化測定器具を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化測定器具１は、基端側部６ａが把手となる一対の支持部材６，６を互いに開閉自在に連結してなり、閉じ状態で先端間の距離が一定となる鋏状器具本体２を備える。この鋏状器具本体２の前記一対の支持部材６，６の先端６ｂ，６ｂには、互いに対向して互いの間に潤滑剤９を介在させる発光部３および受光部４がそれぞれ設けられる。また、前記鋏状器具本体２には、前記受光部４の出力から潤滑剤９の光透過率を求めて潤滑剤９に混入している異物の量を検出する判定手段５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】検査システムによるウェーハの測定を行わずに、光散乱検査システムの構成を決定するシステムを提供することを課題とする。
【解決手段】光散乱検査システムの構成を決定するためのコンピュータに実装された方法およびシステムが提供されている。一つのコンピュータに実装された方法は、検査システムの散乱半球全体に亘って、光散乱検査システムによって試験体および試験体の電位欠陥に対して取得されるであろうデータに対して、信号対雑音比値の三次元マップを決定することを含んでいる。この方法は、三次元マップに基づいて、信号対雑音比値が散乱半球の他の部分よりも高い、散乱半球の一つまたはそれ以上の部分を決定することも含んでいる。また、この方法は、散乱半球の一つまたはそれ以上の部分に基づいて、検査システムの検出サブシステムの構成を決定することを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】線光発光装置、及びコンパクトで頑丈な測定機構の製作。更には、一つの装置で多種多様な照射形態を得ることを可能とする。
【解決手段】発光装置は、直線状に配置された一つ又は複数の光放射装置５と、押出形材４に挿入可能な一つ又は複数の光学部品１０、１２又は１３とを備える。押出形材４は中空状に構成され、光を放出するための出射口６を有する。押出形材４は一体的に構成されると有利であり、組み立てが極めて簡易になる。押出形材４は開口部を有し、開口部を長手方向側面及び両端部でのみ封印する必要があるため、汚れた微粒子を搬送構造の中に容易に入り込ませない。押出形材４を用いて種々の照明処理を行うことが出来る。光放射装置を、押出形材内の溝７、７’、及び７”内の位置に可変的に挿入することができる。光学部品１０、１２、１３を、所定位置に挿入してもよい。押出形材又は挿入部材を改造したり交換する必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】 照明系と受光系との各々に反射鏡を配置して高精度な欠陥検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射して表面を照明する照明手段１３と、表面から発生した光のうち、直線偏光の振動面に交差する偏光成分Ｌ４を受光する受光手段１４とを備える。照明手段および受光手段の各々の光路中には反射鏡３５,３６が配置される。そして、反射鏡には、基材側より順にバインダー層と反射層と保護層とが積層され、保護層の厚さは、５ｎｍ〜２０ｎｍであり、反射鏡に対する光の入射角度を１５度以下とする。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ短時間で基板上の突起欠陥の形状を検出し合否を判定する方法を提供する。
【解決手段】対象基板上方から拡散光を照射し前記対象基板表面からの反射光の光量を光学センサーにより検出する工程と、前記光学センサーによって検出された信号を階調分布に変換する工程と、前記階調分布から欠陥候補部を抽出する工程と、前記階調分布の極大値と最小値の差分から前記欠陥候補部の形状を算出する工程と、前記欠陥候補部の形状から前記欠陥候補部を合否判定する工程を備えた。 （もっと読む）

【課題】
ディスクのハンドリング時間を短縮して、ディスク検査のスループットを向上させることができるようなディスクの表面欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、ディスクカセットの底面側からディスクカセットに収納されたディスクをディスクカセットの前方に押出してディスクカセットに隣接するこれの外側の検査位置にまでディスクを移動させかつ検査位置に設定されたディスクをディスクカセットに対してそのまま前後移動させて光ビームによりディスクを走査してディスクの欠陥検査をする。 （もっと読む）

【課題】単なる光沢痕を検出せずに真の表面欠陥だけを検出して製造歩留まりを向上する。
【解決手段】被検査面（２ａ）に検査光を照射し、その反射光を導光路（２６〜２９）を介して光電変換手段（３０〜３３）に導き、該光電変換手段（３０〜３３）の検出信号（Ｓａ、Ｓｂ）に基づいて前記被検査面（２ａ）の欠陥を検出する。前記導光路（２６〜２９）の軸線（２６ａ〜２９ａ）と前記被検査面（２ａ）とのなす角αを、０度を超え且つ直角未満の所定の角度にする。 （もっと読む）

【課題】より短時間で被検査部材の壁面等の欠陥の検査が可能な欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】投光用光ファイバと受光用光ファイバとを用い、前記投光用光ファイバの出射面と前記受光用光ファイバの入射面が一定の距離を保つように対向させて配置するとともに、前記投光用光ファイバから出射する検出光を透過する被検査部材を前記投光用光ファイバの出射面と前記受光用光ファイバの入射面との間に配置し、前記投光用光ファイバの出射面及び前記受光用光ファイバの入射面を前記被検査部材の表面に沿って前記被検査部材に対して相対的に移動させ、前記投光用光ファイバの出射面から出射されて前記被検査部材を透過して前記受光用光ファイバの入射面に入射された検出光の強度の変化に基づいて前記被検査部材の欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】 軸受内部などへの配置の自由度が高く、潤滑剤の厚さや温度変化による影響を受けずに潤滑剤の劣化状態を安定して検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、光源２と、この光源２から出射して潤滑剤６を透過した透過光を検出する複数の光検出素子３と、判定手段４とを備える。前記複数の検出素子３は、光検出面の位置が互いに順次ずれたものとする。前記判定手段４は、前記複数の光検出素子３の出力の信号強度を比較することによって潤滑剤５の劣化状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】構成簡単且つ安価にしてタービンケーシング締付け用ボルトに設けられたボルトヒート穴の内面全域を容易に浸透探傷検査を行うことにある。
【解決手段】洗浄処理治具をボルトヒータ穴に挿入し、ウエスによりボルトヒータ穴内面の付着物等の汚れを除去し、この洗浄処理による洗浄処理後、浸透処理治具をボルトヒータ穴に挿入し、浸透液が塗布されたスポンジによりボルトヒータ穴の内面に浸透液を一様に浸透させ、所定時間経過し洗浄処理を行うと、現像処理治具をボルトヒータ穴に挿入し、現像液をヘッドに有する噴射口からボルトヒータ穴の内面に向けて噴射してボルトヒータ穴の内面を現像し、この現像処理による現像処理後、所定の時間経過するとパイプの先端に可視用ヘッドを取付けた目視検査器具をボルトヒータ穴に挿入し、可視用ヘッドに結合される光導管を通してボルトヒータ穴の内面を目視検査する。 （もっと読む）

【課題】ボールねじ軸あるいはガイドレールなどの軌道部材上に形成された転動体軌道面の異常を検出することのできる直動装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１１の転動体軌道面に光をあてて転動体軌道面からの反射光を検出する光学センサ２１をスライダ１２の端部に設け、光学センサ２１の信号出力に基づいて転動体軌道面のフレーキング等を検知するようにした。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられるノッチなどの立体的な鏡面状の表面の欠陥検査を行う表面欠陥検査装置の場合、精密な画像を得ようとすると、多数台の撮像カメラが必要となる。本発明は、シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられたノッチ部のような立体的な部位の撮像検査において、装置の構成を簡単化するとともに、装置にかかる費用の削減を図ることを目的とする。
【解決手段】 検査対象物を撮像する１台の撮像手段と、扁平光源照明装置などの広い角度で入射する均一な拡散光照明手段と、前記撮像手段の光学系の光軸と同軸に照射する第２の拡散光照明手段と、撮像手段と正対しない撮像対象部位を撮像する光路屈折手段と、前記撮像手段の撮像データを演算処理する画像処理手段とから構成され、立体的形状の検査対象物の複数の部位を１台の撮像手段で同時に撮像する。 （もっと読む）

【課題】ピンホールを正確に検出することが可能なピンホール検出装置を提供する。
【解決手段】光ファイバ束３は、光ファイバ３ａ〜３ｆを含むファイバ群３１、光ファイバ３ｇ〜３ｍを含むファイバ群３２、および光ファイバ３ｎ〜３ｓを含むファイバ群３３からなる。これらのファイバ群３１，３２，３３の一端面側が直線状に配列されて受光部材２に取り付けられる。ファイバ群３１，３２，３３の他端面側は、これらが収束された状態が円３４となるように束ねられる。ファイバ群３１，３２，３３の他端面側、すなわちフレネルレンズの取り付け側において、各ファイバ群３１，３２，３３に含まれる複数の光ファイバの位置が、円３４内で集中的に偏らずに分散されて配置されるよう複数の光ファイバが規則的に束ねられる。 （もっと読む）

【課題】より短時間で内周壁面の欠陥の検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】投光用光ファイバから出力されて内周壁面にて反射して受光用光ファイバに入力された検出光の強度に応じた電圧信号に変換する信号変換手段と、信号変換手段から出力される電圧信号を、予め設定した第１基準電圧にシフトするとともに電圧信号のうねり成分を除去する帰還部を有する帰還制御手段と、帰還制御手段から出力される電圧信号を、予め設定された第２基準電圧にシフトさせる電圧シフト手段と、電圧シフト手段から出力される電圧信号において、波高値が第１所定電圧以上の電圧信号に対しては増幅し、波高値が第１所定電圧未満の電圧信号に対してはカットあるいは減衰させる折れ線状増幅手段と、折れ線状増幅手段から出力される電圧信号において、波高値が第２所定電圧以上の信号を欠陥と判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】より短時間で内周壁面の欠陥の検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】略円柱状空間の軸方向に沿って当該円柱状空間内に挿入される検出パイプと制御装置とを備える。検出パイプの先端に受光用光ファイバの入射面を、円柱状空間の内周壁面に対向するように配置する。投光用光ファイバの出射面を受光用光ファイバの入射面と隣接するように且つ同一方向となるように配置する。制御装置は、投光用光ファイバの入射面に光を入力し、円柱状空間の軸方向に沿って挿入された検出パイプを、受光用光ファイバの入射面及び投光用光ファイバの出射面の各々から対向する円柱状空間の内周壁面までの距離を一定に保つように、円柱状空間の内周壁面の円周方向に沿って相対的に回転または軸方向に沿って相対的に往復させ、受光用光ファイバの出射面から出力される検出光に基づいて円柱状空間の内周壁面の欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】円筒体の内面の溝幅を決定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】投／受光部３０を有し且つ被検査物たる円筒体２の内部に挿入される検査部３備え、検査部３を円筒体２の軸線Ｃを中心に回転させると共に軸線方向に相対的に進退させ、投／受光部３０より円筒体２の内面に光Ｌを投光し、反射光を受光し、受光された光に基づいて内面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、その二次元画像を溝Ｇの長さ方向座標と溝Ｇの幅方向座標とで表し、長さ方向座標を固定し、幅方向座標に沿って移動しながら、受光量が特定の閾値を超えて変化する、溝Ｇの一側縁部に対応する一点ｇ１と溝Ｇの他側縁部に対応する他点ｇ２との幅方向座標を求め、一点の幅方向座標と他点の幅方向座標とから区間の溝幅を求めるアルゴリズムを有する溝幅決定手段４６を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被検査物表面の微小サイズの欠陥が検査可能で且つ表面の荒れや汚れ等の影響を受けにくい表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源２４から投光ファイバ２０を介して被検査物の内面に投光された光の反射光を受光ファイバ２１を介して受光し、その受光量に基づいて被検査物２の表面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、前記投光ファイバ２０の周囲に前記受光ファイバ２１を複数配置し、且つ前記受光ファイバ２１の径を前記投光ファイバ２０の径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】 微小流路内に発生した付着物を正確に検出すると共にその付着物の物性を特定することが可能な微小流路内における付着物の検出方法及びこれを用いた微小流路を実現する。
【解決手段】 微小流路内の付着物の検出方法を用いた微小流路において、表面の一部に光導波路が形成された第１の基板と、この第１の基板上であって光導波路が形成された側に設けられ、試料が流れる微小流路を構成するための溝が光導波路の表面の一部に交差するように形成されると共に溝の両端に試料導入口及び試料排出口がそれぞれ形成された第２の基板と、光導波路の一端から光を入射する光源と、光導波路の他端から出射される光を測定する光強度測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射率が大きな被写体でも自動調光が可能な調光方法及び調光装置を提供する。
【解決手段】映像の輝度レベルが所定の値になるように照明の光量を制御する調光装置であって、スリット最大位置ではスリットの中心がランプの軸上で、スリット最小位置ではスリットの中心がランプの周辺（光広がりの限界位置）となるようにしたスリット開口部の形状を用い、照明を通過する光量をスリットによって調整する調光装置において、スリットの移動に対応して、スリットを通過する光量が対数曲線で変化する。 （もっと読む）