【課題】検査対象材料が透光性を有するもの、または、結晶化ガラスのように内部に結晶を有するものであっても、内部の欠陥や異物、あるいは光散乱粒子（結晶）の有無にかかわらず、表面の欠陥や異物のみを検査できる表面欠陥検出方法および表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象材料の被検査面に接するように、前記検査対象材料より大きな屈折率を有する媒体層を配置し、前記媒体層側から、該媒体層と被検査面の境界面で全反射を生じる入射角で検査光を入射し、前記検査光の前記被検査面における反射光を検出することにより、前記被検査面の表面欠陥や異物を検査する。 （もっと読む）

【課題】検査感度を向上させるとともに、孔部の場所によらず装置全体として検査感度を均一とすることが可能となる光学式検査装置を提供する。
【解決手段】蛍光発生ユニット５に、蛍光を上方へ反射させるテーパ部６ａと反射部１２ｃと、蛍光を通過させる貫通穴１３ａ，１４ａと形成することで、光検出器７を被検査物２とは反対側に配置することとし、光検出器７が被検査物２や検査光源ユニット３と干渉することを防止し、各部品同士の距離を近づける。これによって、検査面積を広げた場合であっても、被検査物２の孔部への検査光量を増加させ、孔部を通過した検査光の蛍光板への入射量を増加させて、被検査物２の孔部に対する検査感度を向上させることを可能とする。また、被検査物２のエッジ部付近の孔部に対しても、十分な検査光量を確保して、装置全体として検査感度を均一とすることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】目視では判別できない塗膜の劣化を定量的に診断することができる塗膜劣化診断方法を提供する。
【解決手段】診断対象とする樹脂塗膜１１の劣化状態を診断する方法において、
光源１２から出射される光Ｌを上記樹脂塗膜１１に照射し、その樹脂塗膜１１からの反射光Ｌ１を分光器１３内に入力し、その分光器１３で、上記樹脂塗膜１１の劣化要因となるＯＨ基に起因する特定波長の吸光度を測定し、その吸光度から樹脂塗膜１１の劣化の程度を定量的に求める。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で平面および曲面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、投光系に可動ミラー３０と固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けることで、走査光を可動ミラー３０により固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃに反射させ、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃからの反射光は異なる角度から被検査物体１１の被検査面に照射する。受光系に反射光のピーク点の位置および波形の分散値（光量分布）を検出することができる受光手段８を設け、被検査面より反射されたいずれかの反射光を受光し、反射光のピーク点の位置および波形の分散値を検出することで、反射光のピーク点の位置により光の反射角度を測定することが可能となり、また波形の分散値により被検査面に傷の有無を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】 対向配置される導光部材の先端間の微小ギャップの断面積を小さくできて、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、発光素子２に接続された投光側の導光部材４と、受光素子３に接続された受光側の導光部材５とを有する。両導光部材４，５の先端は、潤滑剤６の配置空間となる微小ギャップ１０を介して対向配置する。投光側の導光部材４の断面積と受光側の導光部材５の断面積とは互いに異ならせる。 （もっと読む）

【課題】通常の計測状態と校正用の計測状態との切り換えを、大掛かりな操作を要せずに容易かつ迅速に行うことができる、透過光計測型の青果物の内部品質評価装置を提供する。
【解決手段】被計測対象である青果物６０に対して光を投射する投光装置１０の光学系の近傍に、リファレンス光取り出し部４０を固定配置して、投光装置１０の光源からの光の一部を校正用として取り出すと共に、リファレンス光取り出し部４０からの光を、光ファイバ等のリファレンス光導光部４２により導光して受光装置２０へ導くようにした。 （もっと読む）

【課題】 不良観察画像を用いた半導体デバイスの不良の解析を確実かつ効率良く行うことが可能な半導体不良解析装置、不良解析方法、及び不良解析プログラムを提供する。
【解決手段】 半導体デバイスの不良観察画像Ｐ２を取得する検査情報取得部１１と、レイアウト情報を取得するレイアウト情報取得部１２と、半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析部１３とによって不良解析装置１０を構成する。不良解析部１３は、不良観察画像での輝度分布と、所定の輝度閾値とを比較することによって不良に起因する反応領域を抽出し、反応領域に対応して半導体デバイスの不良解析に用いられる解析領域を設定する解析領域設定部を有する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を悪化させずに、検査ロッドを長くでき、かつ高速に回転させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物１００の穴１００ａに挿入可能な検査ロッド２１と、検査ロッド２１に設けられた反射鏡２１９と、検査ロッド２１を支持する支持テーブル２２と、を備える。検査ロッド２１は、支持テーブル２２に取り付けられた基部２１１と、反射鏡２１９を保持しつつ軸線ＣＬ回りに回転可能な状態で基部２１１に取り付けられた回転ヘッド２１２とを有し、回転ヘッド２１２に設けられたインペラー２２１に空気を吹き付けることにより回転ヘッド２１２を回転させる。 （もっと読む）

【課題】集積回路の撮像または処理あるいはその両方を行うためにイオン／電子ビーム・ツール内に含まれる光ファイバ・ベースの光チャネル・システムを提供する。
【解決手段】光学チャネル・システムは、イメージ収集部分と、光ファイバ・イメージ伝送部分と、検出器部分とを含む。イメージ収集部分は、微小光学コンポーネントを含み、ミリメートル未満の寸法を有し、したがって、イオン／電子ビーム・ツールの作動距離内に容易に収容される。 （もっと読む）

【課題】被検査物を検査するための構成を利用して動作状態を自ら判別することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】軸状に延びる検査ヘッド１６の外周から被検査物１００に向かって検査光を照射するとともに、被検査物１００からの反射光を検査ヘッド１６を介して受光し、該反射光の光量に対応した信号を出力する検出ユニット５と、検査ヘッド１６を軸線方向に移動させる直線駆動機構３０と、検査ヘッド１６を軸線の回りに回転させる回転駆動機構３０とを備えた表面検査装置１において、検査ヘッド１６が通過可能な貫通孔３７ａを有するサンプルピース３７を検査ヘッド１６の軸線方向の移動経路上に配置する。検査ヘッド１６を軸線の回りに回転させつつ軸線方向に移動させてサンプルピース３７の内周面を検査光で走査したときの検出ユニット５の出力信号に基づいて動作状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの清掃及び交換を安価で且つ容易に行うことのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】先端にミラー１８が設けられた軸状の検査ヘッド１６を駆動機構により軸線ＡＸの回りに回転させつつ軸線ＡＸに沿って移動させるとともに、検査ヘッド１６内に前記軸線ＡＸに沿って入射した検査光の光路をミラー１８により変更し、光路が変更された検査光を被検査物に照射し、被検査物で反射して検査ヘッド内１６に再度入射した検査光の光量に基づいて検査物の表面状態を検出する表面検査装置１において、検査ヘッド１６が、駆動機構に取り付けられるヘッド本体７０と、そのヘッド本体７０に対して着脱可能に設けられ且つミラー１８を保持する保持部７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの回転軸線と被検査物である円筒体の中心線とを厳密に一致させなくても、周期的な濃淡のない二次元画像を得ることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物たる円筒体１００の内部に挿入されて、軸線ＡＸ回りに回転しかつ軸線ＡＸ方向に移動しながら、ＬＤ１１から射出された検査光を内周面１００ａに投光しつつその反射光を受光する検査ヘッド１６と、検査ヘッド１６が受光した反射光の強度に応じた信号を出力するＰＤ１２と、を有し、ＰＤ１２が出力した信号に基づいて内周面１００ａに対応した二次元画像を生成する。ＰＤ１２が出力した信号から、軸線ＡＸと円筒体１００の中心線とのずれに起因した反射光の強度の揺らぎに対応する周波数成分を抽出し、その周波数成分と所定の基準値との差分に応じて検査光の強度が変化するようにＬＤ１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の微小な凹凸等を単独で欠陥として検出されるおそれを排除しつつ、その微小な凹凸等が密集している領域を欠陥又は欠陥に準じて検出する。
【解決手段】被検査物の表面を検査光で走査し、表面からの反射光の光量に応じた信号を出力する検出手段を備えた表面検査装置において、検出手段の出力信号に基づいて被検査物の表面の２次元画像を生成し（Ｓ１）、２次元画像に含まれる画素を被検査物の表面の欠陥に対応した階調の第１の画素群と欠陥に対応しない階調の第２の画素群とに区別し、第１の画素群を第２の画素群にて囲まれた範囲毎に欠陥候補部として抽出し（Ｓ３〜Ｓ５）、所定の大きさ以上の欠陥候補部を欠陥として識別し（Ｓ６）、２次元画像を所定の検査領域毎に検査し、該検査領域内における所定の大きさに満たない欠陥候補部の密集度が所定レベル以上の検査領域を欠陥領域として識別する（Ｓ７、Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】欠陥の種類等に応じて様々な感度特性を作り出すことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、レーザダイオード１１から投光ファイバ１３を介して被検査物１００の内周面１００ａに検査光を照射し、その検査光の反射光の強度を検出する検出ユニット５を有する。検出ユニットは、投光ファイバ１３の周囲に配置された第１受光ファイバ群１４Ａと、それよりも外側に配置された第２受光ファイバ群１４Ｂと、これらのファイバ群のそれぞれに接続されたフォトディテクタ１２Ａ、１２Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】上方を覆うカバーの貫通孔から検査装置側への開閉動作に伴う異物の落下を簡便な構成で防止できるシャッター装置を提供する。
【解決手段】シャッター装置２０は、貫通孔３１ｂが形成されたカバー３１ａにて上方が覆われ、貫通孔３１ｂを通過可能な検査ヘッド１６の少なくとも一部を貫通孔３１ｂからカバー３１ａの上方に出没させて所定の検査を行う検査装置１に適用される。貫通孔３１ｂを開く開位置と貫通孔３１ｂを閉じる閉位置との間で移動するシャッター板２１を備えるとともに、そのシャッター板２１の上面には下方に窪む円形凹部２１ａが形成され、かつ円形凹部２１ａの底面に粘着シート２３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】現合作業を行うことなく、検査ヘッドの軸線を被検査物に表面に対する所定の方向に正確に一致させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク台２に取り付けられるベース３と、ベース３に対して軸線に沿って移動する検査ヘッドとを有し、検査ヘッドを軸線ＡＸに沿って移動させつつ回転させ、被検査物１００の表面に検査光を照射し、その反射光を受光して被検査物１００の表面状態を検査する表面検査装置１において、検査ヘッドの軸線ＡＸに沿ってベース３に設けられ、保持装置２に対して軸線ＡＸを位置決めする第１のピン穴６２と、検査ヘッドの軸線ＡＸに沿って第１のピン穴６２から距離をおいてベース３に設けられ、保持装置２に対して軸線ＡＸを位置決めする第２のピン穴６３と、第２のピン穴６３の位置を軸線ＡＸと交差する方向に移動可能な位置決め手段として開口部、挿入部材及びねじを備える。 （もっと読む）

【課題】検査光の被検査物から反射する反射光を、保護窓部材からの反射光から分離して検査装置に導くことが可能な保護窓部材を設けた表面検査ヘッド装置を提供する。
【解決手段】外周に開口部３１が形成された外筒３０と、開口部３１に設けられた保護窓部材３３と、外筒３０の内部に設けられ、外筒３０の軸線方向に進入した検査光の光路を保護窓部材３３に向けて変更し、かつ被検査物４の表面における検査光の反射光の光路を外筒３０の軸線方向に沿って検査光と逆向きに変更するミラー３２とを備えたヘッド装置３において、保護窓部材３３の表面３３ａ及び裏面３３ｂの少なくとも一方の法線方向が、保護窓部材への検査光の入射方向に対して傾いている。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を回避しつつ検出精度を向上させることができるとともに、電子機器系統の防塵性を向上させることができる蛍光磁粉探傷方法および蛍光磁粉探傷装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光磁粉探傷方法は、鋼材Ｗ表面における照明強度を４０００μＷ／ｃｍ^２以上として疵輝度の信号レベルをカメラ光学部１１の暗時電流の４倍ないし１６倍とし、地肌輝度の信号レベルを暗時電流の１．２倍ないし１．８倍とするものである。本発明の蛍光磁粉探傷装置Ｕは、ＣＣＤカメラ２が、カメラ光学部１１とカメラ本体１４とに分離されてカメラボックス１６に収納されてなるものである。 （もっと読む）

【課題】 処理部において処理が施される前の基板につき、容易に良否判定を実行することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 光源１７１および受光部１７２のそれぞれは、加熱処理部１６０付近に設けられるとともに、基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て加熱処理部１６０の上流側に設けられている。光源１７１は、その光軸が基板Ｗの搬送方向ＡＲ１と略垂直となるように、支持部材１７３により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。受光部１７２は、光源１７１の光軸の延長上となるように、支持部材１７４により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。これにより、搬送中の基板Ｗにつき、加熱処理部１６０に搬入されるまでの期間に、該基板Ｗの表面状況を判定し、良否判定を実行できる。 （もっと読む）

【課題】 検出部の小型化が可能で、軸受内部などへの配置の自由度が高く、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、先端が潤滑剤６の配置空間１０を介して並ぶ２本の光ファイバ４，５と、一方の光ファイバ４の基端に配置した発光素子２と、他方の光ファイバ５の基端に配置した受光素子３と、この受光素子３の出力から潤滑剤６に混入している異物の量を検出する判定手段７とを備える。前記２本の光ファイバは、それぞれ先端を斜めにカットしてその斜めカット面を反射コーティングした反射面４ａ，５ａとする。これら斜めの反射面４ａ，５ａは、一方の光ファイバ４を通る光が先端の反射面４ａで他方の光ファイバ５の反射面５ａに向けて反射して、この反射面５ａから他方の光ファイバ５内に反射する方向に向ける。 （もっと読む）