【課題】鋼板等の不透明な板材に発生するピンホールを検出するためのピンホール検出器として、板材幅端部からの漏洩光が受光部に入り込むのを単純な構造で的確に防止して、ピンホールを精度良く検出することができるピンホール検出器を提供する。
【解決手段】エッジマスク１４が、鋼板１６の幅端部を幅方向に所定の長さδだけ取り囲むように位置させる切欠き部２１を備え、その切欠き部２１の断面形状は開口部２１ｋを一辺とした平行四辺形であり、切欠き部２１の上内表面２１ａおよび下内表面２１ｂはそれぞれ光の反射面になっているとともに、切欠き部２１の後方に位置する部分１４ｓは光の透過性が高い部材で形成されている。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの部品の交換作業を迅速に実施でき、かつ検査ヘッドを組み立てる際の芯出し作業の負担を軽減し、又は解消することが可能な表面検査装置用検査ヘッドを提供する。
【解決手段】軸線ＡＸ回りに回転可能に支持されるヘッド本体１６Ａと、ヘッド本体１６Ａの先端に着脱可能に設けられ、かつヘッド本体１６Ａに同軸になるように装着される走査部１６Ｂとを備えた検査ヘッド１６において、ヘッド本体１６Ａの先端には、走査部１６Ｂが挿入される挿入孔８１ｂが中心に形成され、挿入された検査部１６Ｂを把持する縮小状態と検査部１６Ｂを解放する拡大状態との間で半径方向に拡縮可能であり、かつ挿入孔８１ｂがヘッド本体１６Ａと同軸になるように配置される第２拘束部材８１と、第２拘束部材８１をヘッド本体１６Ａの先端側に付勢して縮小状態に変形させる第１拘束部材８０及びスプリング８２とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】従来よりもユーザに掛かる負担を軽減し、表面検査装置による検査作業の自動化及び省力化を促進させることが可能な表面検査装置の検査システムを提供する。
【解決手段】ヘッド本体１６Ａの先端に着脱可能に設けられ、かつミラー１８が組み込まれる軸状の走査部１６Ｂとを備えた検査ヘッド１６を軸線ＡＸの回りに回転させつつ軸線ＡＸに沿って移動させ、検査ヘッド１６内に軸線ＡＸに沿って入射した検査光の光路をミラー１８により変更してワークＷに照射し、ワークＷから検査ヘッド１６に返される反射光の光量に基づいてワークＷの表面を検査する表面検査装置１に適用され、検査ヘッド１６の異常の有無を診断する検査システム１００において、検査ヘッド１６の異常の有無を診断する診断装置２００と、診断装置２００が検査ヘッド１６に異常があると判断した場合に検査ヘッド１６の走査部１６Ｂを交換する交換装置３００とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの芯出し調整に要する負担を軽減することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査ヘッド１６をワーク１００に対して軸線方向とそれぞれ直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に相対的に移動させるヘッド位置調整機構と、Ｘ、Ｙ軸方向のそれぞれに関して、検査ヘッド１６の先端から軸線方向に射出される検査光Ｂ１によりワーク１００が内周面１００ａの輪郭上の二点を含む範囲にて走査されるようにヘッド位置調整機構の動作を制御し、Ｘ、Ｙ軸方向の走査時に検出ユニットからそれぞれ出力される反射光の光量に対応した信号に基づいて、ワーク１００の内周面１００ａの半径方向に関する中心位置を演算し、演算された中心位置に検査ヘッド１６の軸線が一致するようにヘッド位置調整機構の動作を制御する演算処理部とを表面検査装置に設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの検査工程を効率化することのできる半導体ウェハの表面検査装置を提供すること。
【解決手段】光照射手段２、受光手段、光電変換手段６、信号増幅手段２６、計測手段２２、及び計数手段２３を備えた半導体ウェハの表面検査装置は、信号増幅手段２６による増幅倍率を固定したときに、予め標本測定により算出された半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさに応じて設定された信頼区間幅が格納された信頼区間幅格納手段２５と、信号増幅手段２６による増幅倍率を固定して、異物又は欠陥の大きさに応じた信頼区間幅に基づいて、計測手段２２により計測された半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさを算出し、該半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさに応じた計数値から、半導体ウェハ表面の良否判定を行う良否判定手段２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する被検査物の表面の比較的広範囲の傷等の情報をその全範囲においてピントが合った状態で的確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有する被検査物Ｗの表面Ｗｓに光を照射し、該表面Ｗｓでの反射光を受光素子５で検出して被検査物Ｗの表面Ｗｓの検査を行うように構成された表面検査装置１において、束ねられた複数の光ファイバ４１からなり、入力側端部４ａにおけるファイバ位置（ｘ，ｙ）と出力側端部４ｂにおけるファイバ位置（ｘ^＊，ｙ^＊）とが光学的に１対１に対応付けられ、表面Ｗｓでの反射光Ｌreを受光素子５に導くファイババンドル４を備え、ファイババンドル４の入力側端部４ａが、被検査物Ｗの表面Ｗｓの形状と相補的でありかつ等倍または相似な形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】ウエハーを検査するように構成される装置を提供する。一つの装置は斜めの入射角でウエハーに光を向けることによりウエハー上の区域を照明するように構成される照明の下位組織を含む。その装置はまた照明される区域の中の異なる地点から散乱される光を同時に集めるようにそして異なる地点から集められる光を映像面の対応する位置に焦点を結ばせるように構成される集光の下位組織を含む。さらに、その装置は映像面の対応する位置に焦点を結ぶ光を別々に検出するようにそして映像面の対応する位置に焦点を結ぶ光に応答する出力を別々に生成するように構成される検出の下位組織を含む。 （もっと読む）

【課題】被検査物品の上面と側面とを同時に撮像でき、被検査物品と撮像手段との距離を長くすることなく、被検査物品の上面を照射する光の強度が十分に得られ、被検査物品の上面を高精度で検査できる物品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物品Ｓの側面Ｓ２からの反射光を反射させる反射手段と、照明手段と、反射手段２０から出射された光および被検査物品Ｓの上面Ｓ１からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段からの映像信号を処理する処理手段とを備え、反射手段が、被検査物品Ｓの上面Ｓ１側から見たときに被検査物品Ｓを取り囲むように配置された複数の反射体２２を備えたものであり、照明手段が、隣り合う反射体の間から被検査物品の少なくとも上面を照射する上面照明手段を備えている外観検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】指輪やネックレスに加工された状態のダイヤモンドを台座などから外すことなく直接検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】試料ホルダー１は、試料２の特定の表面ａが入射光に対して垂直あるいはその近傍になるように試料２の台座２６を保持し、ステージ４に載置される。干渉計を備えたＦＴＩＲ５で発生する赤外光が試料２に入射し、試料２の内部で全反射して前記試料２の特定の表面ａより出射する。この出射した赤外光を半導体検出器８で検出しデータ処理し、赤外スペクトルを得る。 （もっと読む）

【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本願は概して光計測に関し、より詳細には、フォトニックナノジェットによる半導体ウエハの検査領域の検査に関する。
【解決手段】 製造クラスタは、光学測定を用いて制御することができる。製造プロセスは、製造クラスタを用いて、ウエハ上で実行されて良い。誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットが生成される。ウエハ上の検査領域はフォトニックナノジェットによって走査される。フォトニックナノジェットが検査領域を走査する際、誘電体ミクロン球からの再帰反射光が測定される。検査領域内での構造の存在は、再帰反射光の測定結果によって決定される。製造クラスタの1種類以上のパラメータは、検査領域内での構造の存在の決定に基づいて調節される。 （もっと読む）

【課題】微細な表面欠陥を検出し、さらには微細な欠陥の深さに基づいて被検査物の良否の判定を設定、変更できる表面検査方法及び装置を得る。
【解決手段】被検査物の表面に照射した光の反射光を受光部によって受光して表面欠陥を検出して前記被検査物の良否を判定する表面欠陥検査方法であって、前記被検査物の表面に生ずる欠陥に対応して予め定めた反射光の光路に前記受光部を配置すると共に反射光の光量と欠陥の大きさとに基づいて予め閾値を定めておき、前記受光部に入射する反射光の光量と前記閾値とを比較して前記被検査物の良否を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】インテグレータによって生ずる輝点に起因する光学部品の劣化を抑制し、高精度の欠陥検査を長期間持続可能なレチクル欠陥検査装置およびこれを用いた検査方法を提供する。
【構成】パターンが形成されたレチクルに光を照射して得られるパターン画像を用いてレチクル上の欠陥を検査するレチクル欠陥検査装置であって、このレチクルに検査光を照射する照明光学系と、検査光が照射されたレチクルのパターン画像を検出する検出光学系を備え、照明光学系が、検査光の照度分布を均一化するためのインテグレータと、このインテグレータを、インテグレータの光軸に対して垂直方向に微動可能とする移動機構とを有することを特徴とするレチクル欠陥検査装置およびこれを用いた検査方法。 （もっと読む）

【課題】シリンダヘッドの冷却剤通路の詰まりを目視せずに検査する方法及びそのような検査を行うための装置を提供する。
【解決手段】車両用シリンダヘッド冷却剤通路検査装置及び該装置を用いて車両用シリンダヘッドの冷却剤通路を検査する方法が提供される。本発明に係る装置及び方法によって、冷却剤通路内に存在する詰まりが検知可能となる。本発明に係る装置及び方法は、発光及び受光可能な１以上の光ファイバプローブを使用する。該プローブは、冷却剤通路において詰まりによって反射され且つプローブによって受光される光を測定することが可能なセンサと共に用いられる。センサによって記録された反射光の測定値を用いて詰まりが存在するか否かが判断される。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置は、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子および受光素子を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。この測定用ギャップ部７にエアーを吹きかけるエアー吹きかけ装置１５を設けて、測定用ギャップ部７の潤滑剤５を順次入れ換える。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置は、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子および受光素子を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。この測定用ギャップ部７の近傍に、潤滑剤による潤滑状態の変化によって変形量が変化する変形可能な抵抗体１５を設けることで、測定用ギャップ部７の潤滑剤５を流動させる。 （もっと読む）

【課題】照射された照射光をより有効に効率的に使用し、以って小形された被検体についても充分採用可能であって充填液中の異物を検出する。
【解決手段】被検体に向けられた照明光が透過するように設けた照明光屈折手段と、検査用のセンサを備え、照明光屈折手段を通過した検査用センサに向かう照明光路上の照明光の透過光による撮映および照明光屈折手段を通過した検査用センサから外れた照明光路上の照明光の反射光による撮映を行う撮像手段と、撮像手段による撮像画像に基づいて充填液中の異物を検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハやガラス基板の外観検査に要するタクトタイムの短縮を図ることのできる自動外観検査装置を提供すること。
【解決手段】対象ワーク（Ｋ）における複数の検査箇所（Ｔ）の外観を自動的に検査する自動外観検査装置（１）であって、対象ワーク（Ｋ）を保持するワーク保持手段（２）と、各検査箇所（Ｔ）に閃光（Ｌ）を照射しながら撮像する照射撮像手段（５，７）と、ワーク保持手段（２）と照射撮像手段（５，７）とを相対移動させる相対移動手段（３）と、照射撮像手段（５，７）により得た検査箇所（Ｔ）の画像に基づいてこの検査箇所（Ｔ）の外観に欠陥が有るか否かを判定する判定手段（９）とを備え、照射撮像手段（５，７）から照射する閃光（Ｌ）は、キセノン放電管と、このキセノン放電管が所定のタイミングで閃光（Ｌ）を発するように制御する制御手段（８）とから得られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に形成されたパターンの境界線の検出精度を向上することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、光束１５ａの照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）照射位置１５ｓで正反射した正反射光１５ｂを検出して信号を出力する受光部と、（ｃ）光束１５ａの断面強度分布の逆フィルタを含み、受光部が出力した信号を逆フィルタに通した後の信号に基づいて、被検査物の表面に形成されたパターンの境界を検出するパターン検出部と、を備える。 （もっと読む）