【課題】被検査物の凹凸が形成された表面を、簡単な構成によって、高精度に、かつ容易に検査することができる、表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物２の表面２ａの照射位置１５ｓについて良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが被検査物２の表面２ａで正反射され、被検査物２の表面２ａに形成された凹凸によって向きが変動する正反射光１５ｂの全てが通るように、広げられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、透明な被検査物の表面と内部の両方を同時に検査することができる透明物の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）透明な被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物の良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが照射位置１５ｓにおいて被検査物２の表面２ａで正反射された正反射光成分１５ｂと、光束１５ａが照射位置１５ｓで被検査物２の内部に入射し、裏面２ｂで反射した後、表面２ａから出射した内部反射成分１５ｅとの両方が同時に通るように、広げて形成されている。 （もっと読む）

【課題】検査で検出した欠陥の観察を容易に行う。
【解決手段】検査テーブル５は、四角形の基板１をその向かい合う二辺だけで支持する。投光系は、光線を基板１の表面へ斜めに照射しながら、光線を基板１の支持された二辺と垂直な方向へ移動して、光線による基板１の走査を行う。欠陥検出回路２５は、上受光系２０が受光した散乱光から基板１の表面の欠陥を検出する。ＣＰＵ６０は、光線が照射されている基板１の表面上の位置を検出して、欠陥検出回路２５が検出した欠陥の基板１の表面上の位置を検出し、欠陥の基板１の表面上の位置の座標を水平面へ投影した位置の座標へ変換する。観察系移動制御回路８３は、ＣＰＵ６０が変換した位置の座標を用いて観察系移動機構８２を制御し、観察系移動機構８２は、観察系８０を欠陥検出回路２５が検出した欠陥の上方へ移動する。 （もっと読む）

【課題】基板の内部又は裏面の欠陥を基板の表面からの深さに関わらず検出し、かつ基板の表面の欠陥を検出して基板の内部又は裏面の欠陥と区別する。
【解決手段】高角度投光系は、光線をその一部が基板１の表面で反射され一部が基板１の内部へ透過する入射角θ１で基板１の表面へ斜めに照射しながら、光線を移動して光線による基板１の第１の走査を行う。低角度投光系は、光線をそのほとんどが基板１の表面で反射される入射角θ２で基板１の表面へ斜めに照射しながら、光線を移動して光線による基板１の第２の走査を行う。ＣＰＵ６０は、第１の走査時及び第２の走査時に欠陥検出回路２５が上受光系で受光した散乱光から同じ位置で検出した欠陥を、基板１の表面の欠陥と判定し、第１の走査時に欠陥検出回路３５が下受光系で受光した散乱光から検出したそれ以外の欠陥を、基板１の内部又は裏面の欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】試料セルの取り外しを要せず、簡単且つ正確に試料セル内壁の異常を検出できる半導体製造システム用分析装置を提供する。
【解決手段】異なる２種類の液体を選択的に収容する試料セル１と、前記各液体での吸収が略等しく屈折度合いが異なる所定波長の光を、前記試料セル１に照射する光照射部２３ａと、前記各液体を前記試料セル１にそれぞれ収容した状態で、前記光照射部２３ａの照射により前記試料セル１を透過してくる光を検出する光検出器２３と、前記光検出器２３で検出した前記各状態での検出光量に関する値である検出光量関連値を比較し、その比較結果に基づいて、前記試料セル１の汚れや傷などの異常の有無を判定可能に出力する判定部２３ｅと、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトに配置できてメンテナンスなどにおける取り扱いも容易で、軸受内の潤滑剤の劣化状態を正確に検出できる軸受の潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 潤滑剤劣化検出装置１は、発光素子２および受光素子３と、中間に潤滑剤を介在させる検出ギャップ部７を有し前記発光素子２から受光素子３へ光を導く導光部材４Ａ，４Ｂと、判定手段６と、センサケース１０とを備える。判定手段６は、受光素子２の出力から前記検出ギャップ部７内の潤滑剤に混入している異物の量を推定する手段である。センサケース１０には、発光素子２、受光素子３、および導光部材４Ａ，４Ｂが取付けられる。軸受２１が取付けられたハウジング２５の前記軸受２１の端面を覆う軸受端面覆い部２６にセンサケース１０を取付け、前記導光部材４Ａ，４Ｂの前記検出ギャップ部７を、ハウジング２５の前記軸受端面覆い部２６と軸受２１の端面との間の空間内に配置する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトに配置できて、軸受内の潤滑剤の劣化状態を正確に検出できる軸受の潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 主軸３０を支持する転がり軸受２１が軸受ハウジング２５の内周面に設置され、軸受ハウジング２５が、転がり軸受２１の端面に対向して軸受内の潤滑剤を保持するグリースポケット２８を有する軸受装置２０に適用される。グリースポケット２８の内部に潤滑剤劣化検出センサ１を配置する。 （もっと読む）

【課題】 物体表面の粗面として、入射光の波長より十分に大きい数十ミクロン程度の粗さを持ち、一定以上の面積を持つ粗面について、高精度に、迅速に検出することができる表面状態検査装置を得ること。
【解決手段】 光源と、
該光源からの光を偏向する偏向器と、
該偏向器で偏向された光を被検査面に導光する走査光学系と、
該偏向器で偏向された光で被検査面上を主走査方向に走査したとき、該被検査面から生ずる回折光の一部を検出する検出器と、を有し、
該検出器は、該回折光を検出する検出開口が主走査方向に平行となるように設置されており、
副走査断面内において、被検査面の表面粗さに基づいて発生する回折光の回折分布の相対変化に対応して該検出開口の該被検査面に対する検出角度が調整できるように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】軸受に簡単に搭載できて軸受内部の潤滑剤劣化状態を精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部は、固定具を用いて軸方向に位置調整自在に光ファイバ支持部材１１に支持固定する。 （もっと読む）

【課題】 軸受等に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子および受光素子を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。この測定用ギャップ部７の近傍に、前記潤滑剤の測定用ギャップ部７に対する相対的な移動に対して抵抗を与える抵抗体１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を除く部分を覆う円弧状のカバー１２を設け、前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を、前記カバー１２から突出させる。 （もっと読む）

【課題】光学的な測定装置のための光学的なファイバゾンデであって、光学的なファイバ（２０）が内部を通されている機械的な受容体（１０）と該機械的な受容体（１０）から突出しかつ測定光線を測定対象に導くために構成されたファイバエンドピース（２２）とを有する形式のものを改良して、できるだけ操作が簡単で、高い測定精度で、直径の小さい、深さの大きい中空空間の探査を可能にする光学的なファイバゾンデを提供すること。
【解決手段】光学的なファイバ（２０）が、ファイバエンドピース（２２）の領域及び／又は機械的な受容体（１０）の領域にて、少なくとも領域的に、光学的なファイバ（２０）を機械的に安定化するコーティング（３０）を備えていること。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供すること。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４における測定用ギャップ部７以外の部位は、光ファイバ４を潤滑剤５から保護するための円弧状カバー１２で覆う。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を除く部分を覆う円弧状のカバー１２を設け、前記カバー１２に、前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を固定する固定具１１を設け、この固定具１１およびこの固定具に固定された前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を、前記カバー１２から突出させる。 （もっと読む）

【課題】１度の異物検出により被検査体が透明でも不透明であっても、且つ被検査体の表面に大サイズの異物と小サイズの異物とが混在していても精度よく検査する異物検査方法及び異物検査装置の提供。
【解決手段】支持部材により支持された被検査体の表面にある大サイズのＸ異物と、小サイズのＹ異物を、検査光の照射部と、受光部と、画像処理部とを有する異物検査装置を使用した異物検査方法において、前記受光部は第１受光部と、第２受光部とを有し、前記検査光を、前記支持部材と前記被検査体との接点での法線に対して角度８０°〜９０°で接線方向に照射させ、前記検査光の内、前記Ｘ異物に照射され発生した屈折光を前記第１受光部で受け、前記Ｙ異物に照射され散乱した前記検査光の散乱光を前記第２受光部で受け、これらの情報を、前記画像処理部により解析することを特徴とする異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】１度の異物検出により被検査体が透明でも不透明であっても、表面に存在する微小な異物を精度よく検査する異物検査装置及び異物検査方法の提供。
【解決手段】支持部材により支持され連続的に搬送されるシート状被検査体の表面の異物を、検査光の照射部と、受光部と、画像処理部とを有する異物検査装置を使用し、前記異物を検査する異物検査方法において、前記照射部より前記検査光を、前記支持部材と前記シート状被検査体との接点での法線に対して角度８０°〜９０°で、前記支持部材と前記シート状被検査体との接線方向に前記検査光を照射させ、前記異物に照射され散乱した前記検査光の散乱光を前記受光部で受け、前記受光部の情報を、前記画像処理部により解析することを特徴とする異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面及び表面近傍の微小異物、構造的欠陥を、配線パターン等の影響を受けずに感度良くかつ迅速に検査する。
【解決手段】照光装置と、高屈折率の液体材料と、固体光学要素と、近接場光又は光線の散乱光を集光するレンズ系と、集光した散乱光を検出する光検出装置とを含む、半導体ウェーハの検査装置及び検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
実害になる異物又は欠陥を非欠陥である配線の表面ラフネスなどとから分離して検出可能
とするために、被検査対象を底面とする半球状のほぼ全領域にわたり発生する光を、異な
る複数の偏光成分に分離して検出することで得られた信号を用いて、欠陥または異物を検
査する方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明では、配線等の回路パターンを有する基板試料上（ウェハ）に付着した異物を検出
するための異物検査装置として、前記基板試料を載置してＸ、Ｙ、Ｚ、およびθの各方向
へ任意に移動可能なステージ部と、前記回路パターンを一方向、もしくは多方向から照射
する照明系と、照明された検査領域から発生する反射・回折、散乱光を、前記ウェハを底
面とした半球状のほぼ全領域にわたり検出することにより、ＮＡ（開口数）が０．７から
１．０の範囲で検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】検査対象材料が透光性を有するもの、または、結晶化ガラスのように内部に結晶を有するものであっても、内部の欠陥や異物、あるいは光散乱粒子（結晶）の有無にかかわらず、表面の欠陥や異物のみを検査できる表面欠陥検出方法および表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象材料の被検査面に接するように、前記検査対象材料より大きな屈折率を有する媒体層を配置し、前記媒体層側から、該媒体層と被検査面の境界面で全反射を生じる入射角で検査光を入射し、前記検査光の前記被検査面における反射光を検出することにより、前記被検査面の表面欠陥や異物を検査する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に存在する加工部が欠陥の有無の判別に与える影響を排除して正確な検査を実施でき、かつ処理の高速化を図ることが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の円筒状の表面に対応する２次元画像内の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する表面検査装置において、２次元画像上に出現すべき加工部の像２０３ａ〜２０３ａ、２０４を、加工部毎に別々の基準画像２１１、２１２として保持するとともに、表面の軸線方向に相当する軸線相当方向における加工部の像の位置ｙ１、ｙ２、及び表面の周方向に相当する周相当方向に関して同一の加工部の像が存在すべき個数を基準画像２１１、２１２と対応付けて保持する。基準画像、該基準画像に対応付けられた位置及び個数に基づいて、２次元画像上で欠陥判別の対象から除外されるべき領域を特定し、その特定された領域外における画素の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する。 （もっと読む）