【課題】簡潔な構成で撮像位置による明るさ変動を減少し欠陥を的確に検出できる検査装置を得る。
【解決手段】検査対象の内周面に照明光を伝達する導光部材５と、検査対象の内周面に沿って検査対象と相対的に移動できるように配設される画像伝達部材２と、検査対象の内周面から画像伝達部材２を介して伝達される光により検査対象の内周面を撮像する撮像手段３と、撮像手段３によって撮像された複数の画像により欠陥を検出する欠陥検出手段１０とを備え、検査対象の内周面から画像伝達部材２へ向かう光以外の少なくとも一部の光を吸収する減反射板８を設けた。 （もっと読む）

【課題】
小内径の円筒や孔の内面の傷や欠陥の状態を検査するために最適な内面の画像を得る。
【解決手段】
ファイバーを利用したスコープヘッド２の中心と円筒１の内面の中心を一致するように配置して、スコープヘッド２をスコープヘッド移動装置６により移動させながら円筒１の内面の画像を撮像し、撮像された画像情報を画像処理装置１０の画像取り込み部１１に取り込み、取り込んだ画像の中から、円周部画像切り出し部１２で異なる２つの半径の円で囲まれる同心円状の画像部分を切り出して、切り出した画像情報を円周部画像保存部１３で保存する一連の処理を順次行い、保存された画像情報から内面の画像を生成表示部１４で表示する。 （もっと読む）

【課題】
正確に検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、光源１からの光ビームを反射する回転反射面を有し、出射ビームの伝播軸線を時間とともに回転させて光ビームを走査するポリゴンミラー５と、球面凹面鏡８と補正レンズ９を有し、ポリゴンミラー５から出射された出射ビームを光軸に平行で、光軸からの距離が時間と共に変化する光ビームとするコリメータ光学系７と、光ビームの走査方向に沿って設けられ、試料１０で散乱した散乱光を集光するシリンドリカルレンズ２１と、シリンドリカルレンズ２１から出射された散乱光が入射するよう配置されたバンドルファイバ２３と、バンドルファイバ２３から出射した散乱光を検出するＰＭＴ２４とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 照明光の輝度を上げても光学顕微鏡の視野のサーマルドリフトが生じにくく、ウェーハ上の微小な異物も確実に検出・同定できる顕微ラマン微小パーティクル発見装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハＷ上の異物の形状を観察するための光学顕微鏡１３と、レーザー光源２と、レーザービームＬＢを光学顕微鏡１３によるウェーハＷ表面上の観察視野に導き該観察視野上の異物に絞り照射するとともに、当該レーザービームＬＢによって励起された異物からのラマン散乱光を分光するラマン分光部１２と、光学顕微鏡１３内にて観察視野を照らし出すための照明機構３０とを備える。照明機構３０は、第一端部側に観察視野に向けて照明光を照出する照明光照出部を有するとともに、第二端側が観察視野から光学顕微鏡１３外に延出するライトガイド部３２と、該ライトガイド部３２の第二端側に照明光を供給する光源２３とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の穴の内側表面の欠陥を、簡単な構成により検査する。
【解決手段】複数の光ファイバー１０の入口は円状に配置され、複数の光ファイバー１０の出口は直線状に配置されている。検査物１の円筒穴の円周方向全体の画像が、複数の光ファイバー１０の入口へ同時に入力され、複数の光ファイバー１０の出口から直線状に展開されて出力される。複数の光ファイバー１０の入口を、円筒穴の深さ方向へ移動しながら、複数の光ファイバー１０の出口から射出される光を検出することにより、円筒穴の内側表面の画像が、二次元画像として取得される。 （もっと読む）

【課題】 卵を所定の処理速度で連続的に搬送させても個々の卵における内部異常の有無を高精度に判定することのできる検卵方法を提供する。
【解決手段】 第１測定部２で検査対象卵Ｅに光を照射し、検出された透過光データを分析して検査対象卵Ｅの光の透過度合いを判定し、判定された検査対象卵Ｅの光の透過度合いを露光時間制御部５に出力する。そして、前記露光時間制御部５が、該検査対象卵Ｅの光の透過度合いに応じた露光時間設定信号を前記第２測定部３の光電変換素子Ｒに出力し、該光電変換素子Ｒが検査対象卵Ｅにおける内部異常の判定のための透過光を受光する際に、前記露光時間制御部５から設定された露光時間で受光する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象となる青果類のいずれの箇所においても、内部品質の情報を得ることができ、確実に青果類の内部において局在する傷害を検知することのできる青果類の内部品質評価装置および青果類の内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】 青果類に対して光源から測定用光を照射し、青果類を透過した透過光を受光部において受光することによって、青果類の内部品質を評価する青果類の内部品質評価装置であって、青果類を載置するための予め開口部を有する載置体と、載置体に載置された青果類の下方より測定用光を照射する下方光源と、青果類の両側方より測定用光を照射する側方光源と、青果類の上方に設けられ、下方光源と前記側方光源の両光源より照射された測定用光のうち、青果類を通過した透過光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする青果類の内部品質評価装置および、これを使用した青果類の内部品質評価方法によって、確実に青果類の内部において局在する傷害を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 光透過性塗布膜上への光透過性物質の付着の有無を容易に判定することができる表面状態測定方法及び表面状態測定装置の提供。
【解決手段】 光透過性塗布膜表面における垂直分光表面反射率を求めて、該光透過性塗布膜上の光透過性物質の有無を測定する表面状態測定方法であって、所望波長領域のスペクトル光を放射する光源からの光を共焦点光学系における集束光学系を介して集光し、該集光光束を前記光透過性塗布膜に入射させ、集光光束の合焦点位置を光透過性塗布膜表面とした状態で、該光透過性塗布膜表面からの反射光を、前記集束光学系を介して共焦点光学系に戻して、検出光伝送用ファイバにより分光手段に導いて分光し、得られた分光スペクトル強度に基づき垂直分光表面反射率を算出して、物質固有の垂直分光表面反射率から光透過性物質の存在を測定する表面状態測定方法である。 （もっと読む）

検査システム及び方法について開示する。この構成では、その光軸に沿って斜め方向から異常検知対象面に複数本の照明ビーム光を入射して合焦させることにより複数個の細長い照明スポットのアレイをその面上に形成し、その光軸に対しある非微細な角度差を有するリニア軸に沿ってリニアスキャンを実行し、そして、対応する受光器によって受光されるようアレイ内の各照明スポットからの散乱反射光を受光器のアレイ上に結像させる。
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【課題】
農産物の予め定めた計測部位を計測するに適した投光手段と受光手段を複数採用して、例えば農産物の異なる内部品質を効率的に高精度で判定すると共に、各受光手段からの計測信号を単一の処理手段で処理して装置のコストの低減化を図る農産物の内部品質判定装置を提供する。
【解決手段】
搬送手段により一列で搬送される農産物に投光手段により光を照射し、該照射により農産物を透過した光を受光手段により受光し、該受光された光に基づいて農産物の内部品質を判定する農産物の内部品質判定装置において、前記搬送手段で搬送される農産物の異なる部位をそれぞれ独立して計測するために、対となった投光手段及び受光手段を搬送手段の搬送方向に沿って複数配置すると共に、各受光手段からそれぞれ得られた光情報に基づいて単一の処理手段により農産物の内部品質を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自動光学検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、フィルム、テープ形態の印刷回路基板のパターン検査で光の損失を防止し、均一な輝度を得ることができる自動光学検査システムの照明装置に関する。本発明の印刷回路基板の微細パターンを光学的に検査するパターン検査装置は、印刷回路基板のパターンを撮影する撮影ユニットと、印刷回路基板の撮影領域に光を照射する照明ユニット及び照明ユニットと印刷回路基板との間に設けられ、印刷回路基板の撮影領域から脱して遺失される光を集めて印刷回路基板の撮影領域に光を誘導（案内）する導光部材と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大データ容量の近接場光記録用機器及び方法の提供。
【解決手段】この機器は、空気軸受け表面を有するスライダと、空気軸受け表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づける第１導波路と、空気軸受け表面に隣接して位置決めされた記憶媒体と、記憶媒体から反射された電磁放射を検出する検出器と、反射された電磁放射を収集し、反射された電磁放射を検出器に向かって送るために、焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備える。 （もっと読む）

この発明は、検査する基板を支持するガイド支台に対して少なくとも２つの方向に相対移動可能である検査ヘッドを備えている検査装置に関する。ガイド支台は、少なくとも部分的に互いに重なり合うように前後して被着、特に印刷された少なくとも２つの層を備えた基板を支持する。検査ヘッドは照明装置と検出装置から成り、それによって基板から反射された電磁線を捕捉して判定装置に伝送し、それによって所与の基板（３０）の不良を検知することができる。検査ヘッド（１２）は必要に応じて錐形状に拡幅したトンネル（２４）を備えていてその内周上に多数の発光素子が取り付けられており、検出装置（１４）は基板（３０）上で３０μｍ未満の解像度で捕捉を行う光学系を有するデジタルカメラ（１８）を備え、駆動装置によって撮影サイクル中におけるガイド支台（３２）と検査ヘッド（１２）との間の相対動作を制御し、それによって互いに連続しているあるいは重複している個別画像を１つの基板（３０）の全体画像に合成することができる。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成でもって、高所に配設された配管の表面検査とガス漏れ検査とが同時に行える配管検査装置を提供すること。
【解決手段】 ガスが流れる配管３４を検査するための配管検査装置２。ロッド体４と、ロッド体４の先端部に設けたカメラ手段６と、ロッド体４の先端部近傍のガス検知域８に存在するガスを検知するためのガス検知手段１０とを備え、カメラ手段６は配管３４の表面を検査し、またガス検知手段１０は配管３４内を流れるガスの漏洩を検知する。これにより、配管３４の表面検査及びガス漏れ検査を同時に行うことが可能となる。 （もっと読む）

検査される表面の潜在的異常の場所を囲む部分からの散乱した輻射を示すピクセル強度も、表面上のその潜在的異常の場所を含むパッチの中のピクセル強度を速やかに再調査するためにそのようなデータを利用できるように、格納される。照明ビームと検査される表面との間に回転運動が引き起こされる場合、検査される２つの異なる表面上の対応する位置に存するピクセルのピクセル強度を比較することによって信号対雑音比を改善することができ、この場合、その２つの異なる表面上の同じ相対的場所に存する対応するピクセルが照明されて、そこから散乱した輻射が同じ光学的条件の下で集められて検出される。
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【課題】 金属材料が劣化しやすい環境下でも長期的に安定した検出を行うことができる光ファイバセンサヘッドを提供する
【解決手段】 光ファイバセンサヘッド１は、光ファイバ１０と、光ファイバ１０の端部が挿入されるホルダ１４とを備え、ホルダ１４内には、光ファイバ１０の先端から照射された光を平行光に変換して出射するコリメータレンズ１９が設けられている。さらに、コリメータレンズ１９の光の出射方向前方においてプリズム２０が取り付けられており、このプリズム２０は、コリメータレンズ１９から出射された出射光が入射される入射面２０Ａと、入射面２０Ａから入射された光を内面で反射させるように、ホルダの外部において空気層に接する状態で配置された反射面２０Ｂと、反射面２０Ｂからの反射光を外部へと出射させる出射面２０Ｃとを備えている。そして、コリメータレンズ１９から出射される出射光は、プリズム２０の反射面２０Ｂにて全反射され出射面２０Ｃから検出領域に向けて出射される。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構造でありながら基体に塗布された流動性物質、例えば高速で搬送される巻紙に塗布された糊の途切れ（抜け）を検出することのできる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 基体に塗布された流動性物質に赤外線を照射する投光部と、この投光部による上記赤外線の照射領域に生じる反射光を上記赤外線の照射方向とは異なる向きにて該反射光に含まれる互いに異なる所定の波長の反射光のレベルを検出信号としてそれぞれ出力する第１の受光部および第２の受光部と、この第２の受光部が出力した検出信号を前記第１の受光部が出力した検出信号で除した値または減じた値と、予め定めた閾値とを比較して前記流動性物質の有無を判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】印刷機のためのウエブ検査モジュールにおいて高速で移動する印刷済みウエブの欠陥を検査する。
【解決手段】印刷機内で印刷済みウェブを操作するためのウェブ検査モジュールが記載されている。ウェブ検査モジュールは、ウェブの一部分を照明する光源と、複数の検出要素を有する接触式画像センサと、印刷済みウェブを示す画像データを受け取って処理するための処理器とを備えている。 （もっと読む）

本発明は卵の血液の有無について検査する装置に関する。本装置は、血液によって選択的に吸収されない第１の波長の光と、血液によって選択的に吸収される第２の波長の光を、検査対象卵に通過させるための光源を有する。さらに、本装置は、検査対象卵を通過した光透過率を、二つの波長の各々について、対応する信号に変換するための検出手段を有し、前記信号の各々は該当する波長の光透過率を表す。本装置はまた、検出手段から出力される信号に基づき、第１の波長に関する光透過率と第２の波長に関する光透過率の比率を決定し、この比率に基づき、卵が血液を含むか否かの判定を表す判定信号を出力するように設計された信号処理手段を有する。本発明によれば、光源は、卵を通過する光を発生するための一つ以上の同一のＬＥＤ（発光ダイオード）からなる。使用時に、一つ以上のＬＥＤは、特定の狭いスペクトル内の光を出射し、このスペクトルは第１及び第２の波長の両方を含む。
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【課題】鉄筋とコンクリートの界面の空隙を含めたコンクリート内部の空隙やひび割れなどの欠陥について検査ができるコンクリート構造物内部の空隙検査方法を提供することにある。
【解決手段】コンクリート躯体の任意の箇所に検査孔部装置と躯体表面から検査孔部を結ぶ連結管を形成し、これら検査孔部装置に小型CCDカメラ又は光ファイバースコープを挿入して、検査孔部装置内表面のコンクリートの空隙やひび割れを遠隔画像観察で検査を行うものである。また、検査孔部装置外側にある膜をコンクリートから剥がしてその面を観察することにより鉄筋とコンクリートとの界面と同じ界面を観察することができる。 （もっと読む）