【課題】端子の一端側部分を良好に観察できるようにすること。
【解決手段】撮像部２０と、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａと対向する位置に配設可能であると共に、一側面９６ａからの光線を撮像部２０に導く第１導光部材４２を有する導光部４０と、第１導光部材４２を、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａに対して端子Ｔの長手方向Ｌ複数位置で対向させるように、導光部４０を端子Ｔの長手方向Ｌに沿って移動可能な移動機構部６０と、画像処理部８０と、を備え、画像処理部８０は、撮像部２０により端子Ｔの一端側部分９６の長手方向に沿った複数位置で撮像された複数の画像を合成し、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａの合成画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】検査性能が安定したパターン欠陥検査装置を実現すること。
【解決手段】複数の構成ユニットを有し試料面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、一部または全部の構成ユニットの経時変化や故障をモニタリングするモニタリングする手段とモニタリングした結果をユーザに通知する手段を備える。また、補正が可能であるユニットに関しては、補正を行う手段を備える。また、故障した部品を、装置内に用意しておいた予備部品と交換する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】深い機械加工痕の有無を検出し、また、その位置、大きさを推定可能とし、以って、検査時間を短縮可能とする。
【解決手段】シリンダブロック５にボーリング加工により形成され研磨されたボア３の内側表面３Ａのデジタル輝度画像７０に基づいて該内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、前記デジタル輝度画像７０に基づいて前記切削加工痕Ｐの方向と直交する方向の１次元パワースペクトル画像７１を前記切削加工痕Ｐの方向に沿って生成し、これらを並列に並べて評価用画像７３を生成する評価用画像生成部５５と、前記評価用画像７３の各画素の画素値に基づいて、前記ボア３の内側表面３Ａの研磨残りＱの有無を評価する評価部５７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ボアの内側表面の傷の検出精度を高める。
【解決手段】シリンダブロック５に切削加工で形成したボア３の内側表面３Ａに光を照射しながら走査し、前記光の反射光の光量に応じた検出信号Ｓｋを出力するセンサヘッド７と、前記検出信号Ｓｋに基づいて前記内側表面３Ａの傷を検出する検出部５３と、を備え、前記検出部５３は、前記センサヘッド７の走査位置Ｐでの走査方向と前記切削加工の切削加工痕Ｍの方向との交差角度αに応じて前記傷と判定する前記検出信号Ｓｋの傷判定用閾値電圧Ｖｃを変更する表面検査装置９を構成した。 （もっと読む）

【課題】表面の異物の影響を受けずに欠陥を検出し、なおかつ、画像処理すべき範囲を的確に絞り込むことで検査に要する時間を短縮可能とする。
【解決手段】シリンダブロック５にボーリング加工により形成され研磨されたボア３の内側表面３Ａを、レーザ光を照射するセンサヘッド７で走査し、前記レーザ光の反射像に基づいて前記内側表面３Ａのデジタル輝度画像７１を生成し、該デジタル輝度画像７１に対して前記内側表面３Ａの欠陥を検出するための画像処理を施して前記内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、前記内側表面３Ａを走査する渦流探傷センサ２６と、前記渦流探傷センサ２６の出力に基づいて欠陥箇所Ｐを特定し、該欠陥箇所Ｐを含んで画像処理範囲Ｔを決定する画像処理範囲決定部６７と、を備え、前記画像処理範囲Ｔに対して前記画像処理を施して前記内側表面３Ａの欠陥を検出する構成とした。 （もっと読む）

【課題】透明体の検査を行うことのできる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物たるランプ１に対し光を照射する照射手段１６と、ランプ１側の入射面３３から入射した光を透過させ、出射面３４にランプ１の光学像を映し出すファイバオプティカルプレート１７と、これに映し出されたランプ１の光学像を撮像するＣＣＤカメラ１５と、撮像された画像データに基づき、ランプ１のバルブ２の良否を判定する画像処理部とを備えている。ファイバオプティカルプレート１７を介すことによって、これの近くに位置するバルブ２表面の製品番号等がより鮮明に映し出され、遠くに位置するリード線３やフィラメント４がぼやけた状態の画像データを取得することができるため、バルブ２に付された識別情報等の検査を適正に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被検物の上面部又は下面部と側面部からの反射像を導き１台の撮像装置で撮像し、被検物の外周面を高精度で検査できる、光学外観検査装置を提供する。
【解決手段】搬送する被検物を撮像装置で撮像して検査する外観検査用の光学装置において、被検物Ｔを一列に整列して搬送する搬送手段６に、搬送手段６により搬送する被検物Ｔの上面部又は下面部から直交する反射光を撮像装置４０へと導く第１の光導手段２０と、該第１の光導手段とは離れた検査位置にて、該被検物Ｔの一側面部とその反対側の他側面部とからの反射光を、搬送手段６の搬送方向に対して搬送平面の所定角度で入射して撮像装置４０へとそれぞれ導く第２と第３の光導手段３０とが備えられ、これらの反射光を第１の光導手段２０と第２及び第３の光導手段３０とを通して撮像装置４０の走査軸上に導き、被検物Ｔのそれぞれの反射像を同一撮像面に結像する外観検査装置に用いられる光学装置である。 （もっと読む）

【課題】作業者が管状物の展開画像を立体的に認識することが可能な管内壁面画像展開システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る管内壁面画像展開システム５０によれば、画像データＳｖｐに対し視点の異なる２つの第１サンプリング位置Ｐａ、第２サンプリング位置Ｐｂで第１画像データＳＰａ、第２画像データＳＰｂをサンプリングし２つの第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを作成する。そして、同一位置の第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを左右に並べて表示することで、作業者は第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを一つの立体的な展開画像として認識することができる。 （もっと読む）

【課題】連続して搬送されてくる測定対象物を停止させずに、該測定対象物の内部に局所的な品質異常がある場合においても該品質異常の見逃しを少なくすることができるとともに、信頼性の低下及びコストが増大を抑制することができる品質測定装置を提供する。
【解決手段】フレネルレンズ１２，１２を上下方向に長く搬送方向に短い形状とし、これらを個別の基体１１，１１内に保持して上下方向に２個設け、基体１１，１１に個別に接続された、フレネルレンズ１２，１２により集光された光を伝送する２本の受光側光ファイバケーブル１４，１５の素線を合わせて１本の分光側光ファイバケーブル１６とし、上下２個のフレネルレンズ１２，１２により集光した光を受光側光ファイバケーブル１４，１５及び分光側光ファイバケーブル１６を通して伝送することにより、単一の分光光度計により分光する。 （もっと読む）

【課題】マスクブランクの製造過程で発生する欠陥を容易かつ確実に検出することができるマスクブランク用基板の製造方法、およびマスクブランクの製造方法を提供すること。
【解決手段】マスクブランクの製造工程では、検査対象品に検査光を照射した際の反射光を光電変換装置５９で受光して電気信号に変換し、電気信号を検査対象品表面における位置情報と対応付けてデータ記憶部に記憶する信号取得工程を行う。次に、第１基準値以上の欠陥の有無を判定して検査対象品の良品判定を行う第１判定工程を行い、良品と判定された検査対象品に対して、第１基準値よりも小さい第２基準値以上の微小欠陥の有無を判定する第２判定工程を行う。最後に、検出された微小欠陥同士の距離関係や位置関係から近接する微小欠陥集合体の有無を判定し、微小欠陥集合体として判定されたものが第１基準値以上であるかを基準に検査対象品の良品判定を行う第３判定工程を行う。 （もっと読む）

【課題】
分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。
【解決手段】
パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】弱点ピンの破断について光の反射光の状態変化を検知することで、水がかかりやすい悪い条件の場所でも安全かつ正確に弱点ピンの折損を検出する。
【解決手段】弱点ピン３の長孔５に挿抜自在に挿入する筒体６と、筒体６の上部材７に設けた、光ファイバー１０からの光を出射し、かつその反射光を受ける発受光部２と、筒体６の下部部材８に設けた、発受光部２からの出射光を反射させる反射部９とを備え、弱点ピン３と共に、筒体６が破断し、発受光部２が反射光を受光しないときに、センサ１３が検知する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を孔内部表面に照射すると同時にその反射光を判定処理装置に戻すようにした表面検査装置において使用される回転筒体を小径化すると共に高速回転に耐えられるものにして小孔の内部表面を高速検査できるようにする。
【解決手段】レーザ光発振器１１を備える本体部７に回転筒体１０を回転自由に連結してその中空のレーザ誘導空間１７を通して前記レーザ光発振器１１からのレーザ光を小孔内部表面に送る一方、この内部表面からの反射光を前記回転筒体１０の内周面に環状に且つ長さ方向に沿って配設する光ファイバー１５に通して回収し、単一の前記回転筒体１０の内部表面に照射光と反射光の光路を形成する。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する帯状シートの両脇に接触しながら、帯状シートを長手方向及び幅方向に平坦な状態で移動して、帯状シートの欠陥の検査を効率良く行う。
【解決手段】可撓性を有する帯状シート１の両脇において、回転軸が帯状シートの移動方向と直交する方向から移動方向と反対の方向へ傾いた、帯状シートの脇を挟んで回転する一対のローラ３１，４１、３２，４２、３３，４３、３４，４４を、帯状シートの移動方向に複数設け、複数のローラにより、帯状シートに長手方向及び幅方向の張力を掛けながら、帯状シートを長手方向へ移動する。検査光を帯状シートの表面へ斜めに照射し、検査光が帯状シートの欠陥により散乱された散乱光を受光し、受光した散乱光から帯状シートの欠陥を検出し、検査光が照射されている帯状シート上の位置を検出して、検出した欠陥の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ周端縁の三面を一台のカメラで同時に画像検査する。
【解決手段】 ウエハ周端縁の外周端面Ｗ１及び面取り部Ｗ２，Ｗ３から一台のカメラ１へ向けて、三つの屈曲する光路３ａ，３ｂ，３ｃを有する光学系３を設け、これら光路３ａ，３ｂ，３ｃで導かれる反射光を上記一台のカメラ１で撮像して、上記外周端面Ｗ１及び面取り部Ｗ２，Ｗ３の３面を同時に映像化することにより、これら外周端面Ｗ１と面取り部Ｗ２，Ｗ３及びその境界Ｗ５，Ｗ６に生じた表面欠陥が同時に検出可能となる。
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【課題】 アライメント部によるアライメント処理を良好に実行できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 アライメント部１３０は、主として、定置台１３３と、複数の支持ピン１３４と、入出射部１７１と、を有している。定置台１３３は、ウェハーステージであり、基準用基板Ｗ１は、その上面に第１水平姿勢にて定置されている。複数の支持ピン１３４は、定置台１３３の上面から入出射部１７１側に立設されている。処理基板Ｗおよび比較用基板Ｗ２は、これら支持ピン１３４により第２水平姿勢にて支持される。入出射部１７１は、定置台１３３側に光を照射とともに、基準用基板Ｗ１および比較用基板Ｗ２で反射される反射光を受光する。そして、複数の支持ピン１３４による処理基板Ｗおよび比較用基板Ｗ２の支持状況は、基準用基板Ｗ１の反射光と比較用基板Ｗ２の反射光と、に基づいて判定される。 （もっと読む）

装置は測定間隙（２）を通って縦方向に動かされる糸状供試物（１）のパラメータを検出するために用いられる。測定間隙がパラメータを検出する第１の測定セル（３）及び第２の測定セル（５）を持っている。第１の測定セル（３）及び第２の測定セル（５）が、供試物（１）の縦方向に対して直角な面を持つ共通な平らな支持体（４）又は印刷配線板上に設けられている。それにより測定セル（３，５）を互いに正確に合わせることができ、装置が簡単であり、製造が安価である。
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【課題】欠陥検出の精度を高めつつ、効率良く欠陥を検出する。
【解決手段】表面欠陥検査装置は、被検査物１の表面１ａを撮像する撮像部２と、撮像部２により得られた画像に基づいて被検査物１の表面１ａの欠陥を検出する処理部４と、を備える。撮像部２は、受光面１１ａに形成された像を撮像する撮像素子１１と、受光面１１ａに被検査物１の表面１ａの像を形成する光学系１２とを有する。光学系１２の光軸Ｏが被検査物１の１ａ表面の法線Ｎ１に対して傾けられる。受光面１１ａの法線Ｎ２が光学系１２の光軸Ｏと平行である場合に比べて、受光面１１ａの周辺部での光学系１２による被検査物１の表面１ａのデフォーカス量が低減されるように、受光面１１ａの法線Ｎ２が光学系１２の光軸Ｏに対して相対的に傾けられる。 （もっと読む）

【課題】レーザーによる応力改善技術と、レーザー超音波法によるき裂検査技術との保全施工技術は、従来独立した装置として実現されているため、対象となる材料部分に設けられる装置が大型になり、材料が狭あい空間、または狭あいな経路を経由しなければ到達できない空間に位置している場合、保全施工作業が非常に時間がかかり面倒である。
【解決手段】第一のレーザー光源１から発振され、材料Mに照射されて材料Mを改質する第一のレーザー光L1と、第二のレーザー光源６から発振され、材料Mに照射されてその反射成分を検出して該当部位のき裂検査または計測をする第二のレーザー光L2とを共通の統合光学系29を介して材料Mに照射するようにする。第一の光伝送手段３は第一のレーザー光L1を第一のレーザー光源1から統合光学系29まで伝送し、第二の光伝送手段８は第二のレーザー光L2を第二のレーザー光源６から統合光学系29まで伝送する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ投影装置で使用する透過像検出デバイスに関する。
【解決手段】デバイスは、回折格子のアレイ、及びそれぞれが前記回折格子の１つを通って到達する放射を受ける放射感応性センサのアレイを備える。放射感応性センサのアレイは１次元ダイオードアレイでよい。 （もっと読む）