【課題】 対向する長円開口間の流路孔を効率よく検査することができる流路孔検査方法及びその装置を目的とするものである。
【解決手段】 長円開口Cの短径より大きく長径より小さい長手幅で、奥行きが長円開口Cの短径より小さい投光部3aと受光部4aとを、各長円開口Cの長軸方向にその長手方向を合わせて流路孔V内に挿入した投光部3aと受光部4aとを断面横長の流路孔内において、所定角度回動させて投光部3aと受光部4aとを流路孔内において投・受光に最適な向い合せ角度とする方法及び、大口径投光器3と大口径受光器4は長円開口の短径より大きく長径より小さい長手幅を有し、奥行きを長円開口の短径より小さくした投光部3aと受光部4aを備え、該投光部3aと受光部4aの長円開口への重ね合わせ移動と、投光部3aと受光部4aの流路孔V内への挿入とを行なう可動機構60と流路孔V内の投光部と受光部を投・受光に最適な向い合せ角度にする回動機構13,14,30を設けた装置である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、セラミック球体を破壊することなく、表面層の内部の欠陥およびスノーフレークの有無を検出するセラミック球体検査装置を提供すること。
【解決手段】セラミック球体Ｓを所定の位置で自転可能に支持し、投光手段１１０の照射光を受光手段１２０で検出して表面層の内部状態を評価するセラミック球体検査装置１００であって、受光手段１２０が投光手段１１０から照射される照射光のセラミック球体の表面での反射光を検出しないように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】モニタリング光の計測精度を向上し得るレーザ溶接モニタリング装置を提供する。
【解決手段】溶接の加工点３０に向ってレーザ光を照射するための照射手段１００と、加工点３０におけるレーザ光の反射光を含んでいるモニタリング光の計測に基づいて、加工点３０における溶着状態を判定する品質判定手段１７０と、モニタリング光を受光して品質判定手段に入力するための受光手段１５０と、を有するレーザ溶接モニタリング装置１００である。受光手段１５０は、レーザ光の進行方向と逆方向かつレーザ光と同軸で、照射手段の内部に入射したモニタリング光を集光する集光レンズと、集光されたモニタリング光を品質判定手段１７０に入力するための出力端子部と、集光レンズが配置される一端部と出力端子部が配置される他端部とを有し、集光されたモニタリング光の光路の外側を取り囲むように延長している円柱状あるいは円錐台状のハウジング部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
ヘッド先端部に接触センサを搭載し欠陥との接触によりこれを検出する方法によっては、欠陥検出時に欠陥を引きずりウエハ表面に傷をつける可能性がある。
【解決手段】
試料の表面に照明光を照射するプリスキャン照射工程と、散乱光を検出するプリスキャン検出工程と、該散乱光に基づき該試料の表面に存在する所定の欠陥の情報を得るプリスキャン欠陥情報収集工程と、を備えるプリスキャン欠陥検査工程と、該試料の表面と近接場ヘッドとの距離を調整して該試料の表面を照射する近接場照射工程と、近接場光応答を検出する近接場検出工程と、該近接場光に基づき所定の欠陥の情報を得る近接場欠陥情報収集工程と、を備える近接場欠陥検査工程と、該所定の欠陥の情報をマージして該試料の表面に存在する欠陥を検査するマージ工程と、を有する試料の表面の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】トレイに収容されたガラス基板に割れや欠けが存在するか否かを検知することが可能なガラス基板収納トレイを提供すること。
【解決手段】ガラス基板２０を載置するトレイであって、該トレイの一端に光を発光する発光部２１を設け対抗する一端に発光部に対する受光をする受光部２２を設けたことを特徴とするガラス基板収納トレイであって、前記発光部が光ファイバー光源又は有機エレクトロルミネッセンス素子であり、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とするガラス基板収納トレイである。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に対して洗浄加工を行なった場合の洗浄加工後にマスク基板に残る欠陥が洗浄加工プロセスによるものなのか、マスク基板自体の内部欠陥によるものなかを容易に判定する。
【解決手段】第１及び第２の受光手段に受光された散乱光に基づいて基板の両面（表面及び裏面）に存在する欠陥を検出することができるので、基板の洗浄加工の前後で両面の欠陥の存在位置をそれぞれ比較することによって、洗浄加工によって基板両面に存在していた欠陥が除去されたか否かを容易に判定することができる。すなわち、基板の洗浄加工処理によって基板から所定数の欠陥が除去されなかった場合には、マスク基板の内部に欠陥が存在する可能性が高いので、基板内部の欠陥の検出処理行い。その結果に基づいて洗浄加工によって除去できなかった欠陥が基板内部の欠陥であるのか、洗浄加工プロセスの問題によるものかを容易に判定することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】箔押し加工で被転写物である印刷物に、転写箔の金属層が転写されているか否かを確実に判定できる箔押し検査機を提供する。
【解決手段】光源より照射された赤外領域が含まれる光を、光学フィルターで赤外領域の特定波長の光に選別して、箔押しされた印刷物に当て、反射した光を集光して、前記印刷物の箔押し部分と箔押しの無い部分とで、反射光の赤外領域の特定波長の減衰が異なることから、箔押し部分の有無を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブレード上の欠陥の有無、量及び大きさを簡単に認識できるとともに、複数のブレード上に存在する複数の欠陥を簡単に認識することができる内視鏡装置を提供する。
【解決手段】内視鏡装置３は、１の条件に基づいて、画像から複数の被写体のうち少なくとも２つの被写体の第１の特徴部を検出する特徴検出部と、少なくとも２つの被写体の第１の特徴部に基づいて、第１の被写体の第１の特徴部と第２の被写体の第１の特徴部とを判別する特徴判別部と、第１の被写体の第１の特徴部、及び第２の被写体の第１の特徴部に基づいて、第１の被写体の第１の欠陥部、及び第２の被写体の第１の欠陥部を検出する欠陥検出部と、第１の被写体の第１の欠陥部を示す情報、及び第２の被写体の第１の欠陥部を示す情報を、画像と共に表示する表示部とを有する。 （もっと読む）

【課題】板厚の大きい透明な基板の欠陥の検査において、基板の周辺環境から検出光学系に入り込む外乱光ノイズの影響を無くし、欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】 基板の表面へ照射する光線として第１の偏光成分を多く含むものを用い、それぞれの受光手段の前に第１の偏光成分のみを通過させる偏光手段及びこの光線の周波数成分付近の光のみを通過させるバンドパスフィルタ手段を設ける。照射光線が第１の偏光成分を多く含むものなので、基板の表面、内部又は裏面で散乱する各散乱光も第１の偏光成分を多く含むものとなる。そして、第１の偏光成分を多く含む散乱光のみが偏光手段及びバンドパスフィルタ手段を通過して受光手段に取り込まれるようになる。これにより、基板の周辺環境から検出光学系に入り込もうとする外乱光ノイズの影響は極力低減され、欠陥の検出精度を向上させることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】安価且つ小型の塗布検査装置を提供する。
【解決手段】塗布検査装置１０は、シリンジ５４から吐出された励起光の照射により蛍光を発する接着剤が、塗布対象物７０に塗布されたか否かを検査する。塗布検査装置１０は、励起光源１２から出射された励起光を伝搬する第２光ファイバ２２と、第２光ファイバ２２の先端部と、第２光ファイバ２２の先端部から出射された励起光を集光して塗布された接着剤に照射するとともに、励起光が照射された接着剤から発生する蛍光を集光して第２光ファイバ２２へ導くレンズ２８とを含むプローブ１８と、第２光ファイバ２２を伝搬した蛍光を受光する検出器１６と、プローブ１８とシリンジ５４とを一体的に連結する連結機構６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】開口から形成された２つのリングを備えたフレームを有するコンパクトな表面検査光学ヘッドを提供する。
【解決手段】検査される表面（２０）に対して垂直な方向を取り囲んだ第１の組の開口（１２ａ）が、マイクロスクラッチの検出に有用な散乱照射線を集めるために使用されるファイバ（４２）に接続され、パターン化された表面上の異常を検出する。さらに、検査される表面に対して低い高度角度の開口の第２のリング（１２ｂ）は、パターン化された表面上の異常検出を行う。開口のこのようなリング（１２ｂ）は、パターン回折や散乱によって飽和される検出器（４４）からの信号出力が捨てられるように収集スペースを方位角で区分し、飽和されていない検出器の出力のみが異常検出のために使用される。 （もっと読む）

【課題】 被検対象の物体にはない特定成分を確実に選択できるようにして異物を確実に特定できるようにし、物体中に異物が混入しているか否かを確実に判別できるようにして判別精度の向上を図る。
【解決手段】 被検対象の物体に、物体を構成する成分以外の特定成分を含む異物が混入しているか否かの判別を行なうものであって、予め、異物有りのサンプル物体と異物無しのサンプル物体とに近赤外線を照射し、サンプル物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度における二次微分スペクトルの統計学的解析により特定成分に起因する帰属波長に係る判別式を算出しておき、被検対象の物体に近赤外線を照射し、被検対象の物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度を測定し、これらの吸光度と判別式とから算出された算出結果から物体中の異物の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】防眩効果を奏する製品を成形するための金型に関して、たとえその金型によって製品を成形しなくても、製品に得られるであろうムラを金型から把握することができるようにする。
【解決手段】金型ムラ検査装置１０１は、表面に形成された凹凸形状によって防眩効果を奏する製品を成形するための金型１の表面のムラの検査装置であって、金型１の被検査面１ａに向けて投光するための投光ファイバ１１と、被検査面１ａからの反射光７２を受光しうる１以上の受光ファイバ１２と、前記１以上の受光ファイバ１２が受光する光の強度を検出するための検出部２０と、前記１以上の受光ファイバ１２を被検査面１ａに平行に移動させるための移動部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】広帯域ラム波を送受信し、得られた波形と理論分散曲線とからラム波分散性を評価し、存在するモードの特定を行う。損傷の発生・進展と、特定したモード分散性との相関を利用して剥離長さを定量評価し、高精度で高信頼性の損傷探知、診断を可能にする。
【解決手段】加振装置（ＭＦＣ）２１による加振時に得られる振動検知センサ（ＦＢＧ）３０の出力値を変換して周波数及び伝播時間の２次元に展開した伝播強度分布データを得、ラム波の基本波モードと高次モードの中から選ばれる１又は２以上の特定のモードについて、前記データから所定の特徴値、例えば、Ａ_１モードのモード分散性の傾き（周波数対伝播時間の変化率）、Ａ_１モードの伝播時間の減少量、Ｓ_０,Ｓ_１モードの伝播時間の増加量の三つの指標を得て計測結果として出力する損傷探知システムを用いる。表示装置５６にこの計測結果を表示させる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の精度を高めるとともに、生産性の低下を防止する。
【解決手段】受光ユニット１３を、ウェブ１１を正透過したレーザ光２４を遮光するマスク３７と、レーザ光２４の照射範囲内でウェブ１１の両側方に位置する標準板３９Ｌ，３９Ｒと、ウェブ１１や標準板３９Ｌ，３９Ｒを通った光を受光する受光器３０とで構成する。標準板３９Ｌ，３９Ｒに、レーザ光２４の走査線Ｌに対するマスク３７の中心線のずれに応じて走査線Ｌ上での幅が変化する形状のスリット穴４２，４３を形成する。スリット穴４２，４３を通過したレーザ光２４を受光器３０で検出した結果に基づき、走査線Ｌに対するマスクの中心線のずれが補正されるように、受光ユニット１３の姿勢を調整する。これにより、マスク３７の幅を極力細くして欠陥検出の精度を高めることができ、さらに、表面検査と並行してずれ補正を実施できるので生産性の低下が防止される。 （もっと読む）

【課題】側部照射・側部受光式の非破壊検査をする際に、計測誤差を生じさせることのない受け皿１１を提供する。
【解決手段】本願発明に係る農産物載置用の受け皿１１は、側周壁２１と底壁２２とを有して上向きに開口した平面視円形の受け皿本体１２を備える。前記受け皿本体１２の前記側周壁２１には、相対向する一対の切り欠き部２４を形成する。前記側周壁２４の上縁部には、一対の可撓性ヒレ片１４を前記受け皿本体１２の中央に向けて片持梁状に取り付ける。前記両切り欠き部２４が直列に並ぶ方向から見て、農産物Ａが載置されたときの前記可撓性ヒレ片１４と前記切り欠き部２４とで囲まれる隙間を塞ぐ遮光部材１００を有する。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗膜の色ムラを目視評価と相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価装置を提供する。
【解決手段】メタリック塗膜１０の色ムラ評価装置１００は、メタリック塗膜１０の色ムラを評価する装置であって、載置部１０１と、測定部１１０とを備える。載置部１０１は、メタリック塗膜１０を載置するための載置面１０２を有する。測定部１１０は、メタリック塗膜１０上の測定点に光を入射し、測定点から反射する光を測定する。測定部１１０では、複数の測定点に対して、入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射する。載置部１０２は、測定部１１０に対して相対的に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】赤外線を使用した容器のシール不良検査方法について、ヒートシールの直後でなくても、比較的安価な装置により、非接触・非破壊で全数検査できるようにする。
【解決手段】波長が１４５０ｎｍ±２０ｎｍの赤外線を投光器７からサンプル容器のシール部に照射して、透過又は反射した赤外線を受光器８で受光し、光ファイバー９でフォトディテクター１０に送って赤外線の光量に比例した電圧を出力させ、出力させた電圧を平滑回路基板１１でアナログ電圧値に変換してから制御機器１２に送って、予めアナログ電圧値の閾値を設定しておくと共に、検査対象の容器のシール部に対して、サンプル容器の場合と同じ赤外線を同じ光量で照射し、受光した赤外線をアナログ電圧値に変換してから制御機器１２に送って、サンプル容器で予め設定した閾値よりも減少している場合にはシール不良であると判定する。 （もっと読む）

動かされる繊維材料（９）例えば糸の光学的走査装置（１）は、繊維材料（９）用の通路（９１）を含んでいる。異なる場所に設けられて通路（９１）のそれぞれ１つの照明範囲（８１，８２）を照明するため異なるスペクトル特性を持つ光（７１，７２）を放射する少なくとも２つの光源（２１，２２）が、通路（９１）のそれぞれ１つの照明範囲（８１，８２）を照明する。光検出器（６）が、異なる照明範囲（８１，８２）に由来する光を検出する。少なくとも１つの視野絞り（５２）が、すべての照明範囲（８１，８２）の共通集合の部分量である走査範囲（８５）からの光のみを光検出器（６）へ当てる。それにより繊維材料（９）が、関与するすべての光成分（７３，７４）により走査される。
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【課題】機械加工が施されたワークの表面の傷の有無を検出し、かつ、その位置、大きさを推定できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】シリンダブロック５に切削加工されたボア３の内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、切削加工と直交する方向に所定長さ延びる１次元デジタル輝度画像を前記デジタル輝度画像から抽出し、１次元パワースペクトル処理部６３と、１次元パワースペクトルデータの周波数ｆに対応するピッチごとに信号強度を示すピッチデータに変換するツール目ピッチ変換部６４と、ピッチデータを並列に並べて評価用画像を生成する評価用画像生成部５５と、前記評価用画像に基づいて傷の有無を検出する評価部５７とを有し、前記１次元パワースペクトル処理部は、１次元方向の長さＬを可変しながら１次元パワースペクトルデータを算出し、前記ツール目ピッチ変換部は、複数のピッチデータを合成して１つのピッチデータを生成する。 （もっと読む）