【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観異常を検査するに際し、装置の大型化や検査効率の低下を抑制しつつ、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、均一光Ｔ１を照射する第１照射装置２２ａと、スリット光Ｔ２を照射する第２照明装置２２ｂと、カメラと、画像処理装置とを備えている。カメラの撮像素子２３ｂは、均一光Ｔ１の照射領域を撮像する二次元撮像用撮像領域Ｋ１と、スリット光Ｔ２の照射領域を撮像する三次元計測用撮像領域Ｋ２とを有している。画像処理装置は、二次元撮像用撮像領域Ｋ１より得たデータを基に錠剤５の輝度画像を生成し、三次元計測用撮像領域Ｋ２より得たデータを基に錠剤５の形状画像を生成する。そして、輝度画像及び形状画像を基に、錠剤５の外観異常が検査される。 （もっと読む）

【課題】診断対象部位からレプリカを採取する必要がなく、現場で簡単かつ短時間に金属組織を観察することができる材料組織観察装置を提供すること。
【解決手段】本発明の材料組織観察装置は、画像データ上の結晶粒界を画定する境界線の内部に最初の位置である中心点を指定する中心線指定手段と、上記中心点を含む閉曲線を境界線の近傍に設定する閉曲線設定手段と、上記閉曲線近傍の画像データの濃淡情報に基づいて閉曲線を変形する閉曲線変形手段と、変形した閉曲線が画像データ上の結晶粒界を画定する境界線のすべてと重なった場合に当該閉曲線を結晶粒界とする結晶粒界決定手段と、結晶粒界決定手段により決定された結晶粒界から結晶粒の変形度を求める第一演算処理手段と、記憶手段に予め記憶された同一材料のクリープ損傷度と結晶粒の変形度との検定曲線に基づいて第一演算処理手段で求めた結晶粒の変形度からクリープ損傷度を求める第二演算処理手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自動的に物品の欠陥または特徴を検査できる、検査システムを提供する。
【解決手段】検査システム１０は、製品をスキャンして製品のイメージを生成するスキャナ１２と、スキャナ１２に電気的に接続され、製品のイメージを受信して分析する分析装置１６と、を有する。イメージが画素マトリクスを含み、各画素がグレースケール値を有する。分析装置１６がマイクロプロセッサ、メモリ及び比較モジュールを有する。マイクロプロセッサがイメージ中の各画素に関する基準グレースケール値の計算に用いられ、当該基準グレースケール値が各画素の隣に位置する画素のグレースケール値の平均値を含む。メモリは各画素に関する基準グレースケール値と基準グレースケール値に関する閾値の保存に用いる。比較モジュールはイメージ中の各画素のグレースケール値と各画素に関する閾値の比較に用いる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出した結果が誤ってたとしても、正常な検出結果として報告しており、歩留まり管理の精度が低下してしまう点については配慮がなされていなかった。また、報告が挙がってからでは管理情報の修正は不可能であるため、報告前に検査結果の妥当性を確認し、妥当性の判断を行う必要がある点についても配慮がなされていなかった。
【解決手段】画素ごとの信号を計算し、前記検出部の異常を判定する第１の処理部と、前記異常が発生した画素を補正する第２の処理部と、前記第２の処理部による補正後の画素の検出結果を用いて、前記基板の欠陥を判定する第３の処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被検査物に付着した粒子が有機系粒子であっても、レーザ散乱方式における検出感度を向上させることができる粒子検出方法を提供する。
【解決手段】ウェハＷの表面に光を照射し、該表面からの散乱光を受光することによって、前記表面に付着した粒子Ｐを検出する粒子検出方法において、粒子Ｐが損傷しない所定温度範囲でウェハＷの表面に成膜処理を行い、成膜されたウェハＷの表面に光を照射し、前記表面からの散乱光を受光することによって、粒子Ｐを検出する。 （もっと読む）

【課題】微小点状欠陥の検出を精度良く行うことができる。
【解決手段】リング状の光出射部３Ａと、光出射部３Ａと鋼板２との間に、光出射部３Ａと同心円状で、かつ、光出射部３Ａの内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板３Ｂとを有したリング照明装置３と、遮光板３Ｂの開口部の中心線Ｃ上に配置され、該開口部を介して鋼板２の表面を撮像する撮像部４と、を備え、撮像部４が撮像する鋼板２表面上の撮像領域Ａには、光出射部３Ａから照射された光のうち遮光板３Ｂの開口部縁部で回折した光のみが照射され、光出射部３Ａと鋼板２表面との間の距離Ｈは、撮像領域Ａ内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、撮像領域Ａ内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定される。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出精度を向上する。
【解決手段】レーザ検査光３は、液晶素子２３ａ〜２３ｈを介して光電子増倍管２１ａ〜２１ｈに入射する。透過率制御部２４は、各液晶素子２３ａ〜２３ｈに印可する電圧を個別に制御することで、各液晶素子２３ａ〜２３ｈの光透過率を変えて、各光電子増倍管２１ａ〜２１ｈの受光感度のばらつきを所定値以下にする。欠陥部１９で散乱した散乱光３ｂは、光電子増倍管２１ａ〜２１ｈで受光され、受光信号が生成される。受光信号の散乱光強度データに基づいて、各光電子増倍管２１ａ〜２１ｈの散乱光強度分布一次元画像３７ａ〜３７ｈが生成され、これらを合成して評価画像５２が生成される。評価画像５２は、欠陥領域５２ａと正常領域５２ｂとに二値化され、評価画像５２の欠陥領域５２ａの最大強度情報は、欠陥判定回路５５に出力される。欠陥判定回路５５は、最大強度情報に基づいて、欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の欠陥を精度よく確認することができる外観検査装置を提供すること
【解決手段】
本発明の外観検査装置は、基板７の欠陥を検出する外観検査装置であって、前記基板７の平面に対してそれぞれ斜めに光を照射するとともに前記基板７を挟んで配置された複数の低倍率カメラ用光源３と、これらの低倍率カメラ用光源３の光軸と交差する方向に光軸を有するとともに、前記低倍率カメラ用光源３から照射されて前記基板７から反射または透過する光を撮像する低倍率カメラ４と、前記基板７の平面に対して垂直に光を照射する高倍率カメラ用光源５と、この高倍率カメラ用光源５の光軸と同一の光軸を有するとともに前記高倍率カメラ用光源５から照射されて前記基板７で反射された光を撮像する高倍率カメラ６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】噴射装置から噴射される流体の噴射方向を精度良く測定することができる噴霧測定方法及び噴霧測定装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、実空間上で噴口３２から燃料を噴射した際に面状光２０上に形成される噴霧断面画像４０を取得し、噴霧断面画像４０上で抽出した噴霧断面像４０ａに対応する重心算出領域Ｄを可変設定するとともに、可変設定された重心算出領域Ｄ内の各画素の輝度を重みとして当該重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇを算出し、重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇと中心位置Ｐｃとが設定誤差範囲内で一致するときノズル３１から重心位置Ｐｇに向かう方向を噴霧方向として特定する。これにより、インジェクタ３０から噴射される燃料の噴射方向を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料３を検査する欠陥検査装置であって、試料３からの光を受光する光検出器５と、光検出器５の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって２値化処理を行って、２値化画像を生成する２値化処理部１２と、同一形状のパターンでの２値化画像の差分を算出して、差分画像を生成する差分処理部１５と、差分画像に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部１６と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】座標平面上で、データ点分布領域を表現するための情報量を小さくした状態で、データ点分布領域が特定の判定領域に分布しているかどうかを判断する。
【解決手段】対になった２つの変数をもつ複数のデータからなる被判定データ群のデータが点として表される座標平面に判定領域を設定する。その座標平面の領域を任意の点である領域の分割中心点から放射線状に２つ以上の領域に分割する。分割領域ごとに分割中心点から最大距離にあるデータ点をデータ点分布領域の代表点として選定する。代表点が線で連結されて形成される分布代表点領域と、判定領域とが重なる重複領域の有無を判断する。重複領域があるときは被判定データ群が該当データ群であると判定する。 （もっと読む）

【課題】連続して搬送されるタイヤコードの断線部、結節部、表面状態を同時に検出し、精度良くタイヤコードの表面状態を検査することを可能にする判定装置，タイヤコード処理装置及び状態判定方法を提供する。
【解決手段】直線方向に移動するタイヤコード３を所定の周期で撮像するカメラ２０；２１；２２；２３及び当該カメラ２０；２１；２２；２３の出力画像を処理する処理手段からなる判定装置において、タイヤコード３の移動速度を検出する速度検出手段と、カメラ２０；２１；２２；２３によるタイヤコード３の移動方向ｍの有効画素数Ｎをタイヤコード３の移動速度に基づき所定の画素数に設定する有効画素設定手段とを備え、有効画素範囲における現フレームＦ１の後部と次フレームＦ２の前部との移動方向重なりに基づく二重処理領域Ｎ０を、有効画素数Ｎをタイヤコード３の移動速度に基づき制御して最適化する。 （もっと読む）

【課題】光学画像のパターンと基準画像のパターンとの位置合わせを高い精度で行いつつ、且つ、高速で欠陥検出のできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、光学画像および判定の基準となる基準画像のいずれか一方について、そのＸ方向とＹ方向の移動量をそれぞれα（０≦α＜１）とβ（０≦β＜１）として、αおよびβと光学画像と基準画像の差分の２乗和との関係を表す方程式を求める工程と、この方程式から得られる差分の２乗和が最小となる（α，β）の組から、位置合わせに最適な移動量を求める工程とを有する。この方程式についてαおよびβの偏微分を解くことにより、位置合わせに最適な移動量を求めてもよい。 （もっと読む）

【目的】予め歪ませたパターンが形成された被検査対象試料をダイーダイ検査する際に、高精度な検査が可能なパターン検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、複数の同一パターンが形成位置にそれぞれ歪みをもって形成された被検査試料の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データを複数の部分光学画像データに切り出す切り出し部７２と、前記被検査試料に形成されたパターンの歪み量を取得可能な歪情報を用いて、前記複数の部分光学画像データの位置を補正する補正部７４と、補正された前記複数の部分光学画像データ同士を画素毎に比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】互いに同期していない複数のデバイスにであっても遅延することなく再起動させる。
【解決手段】アドレスを指定することによりデータの書き込み、および、読み出しが可能に構成されたレジスタを複数有するレジスタ回路（１００）、アドレスを指定することによってレジスタ回路の複数のレジスタのデータを監視し、かつ、レジスタ回路の予め定められたレジスタにデバイスを起動させるためのデータを書き込むレジスタ制御回路（１２０）、指定されたアドレスとレジスタ回路から読み出されたデータとに基づいて複数のデバイスのうちいずれかのデバイスに所定の動作を行わせる信号発信回路（１１０）を備え、レジスタ回路（１００）では、複数のレジスタのうち予め定められた第１レジスタに複数のデバイスの各々の動作を共通して管理する第１ビットの集合が割り当てられているとともに、第１レジスタ以外の複数の第２レジスタのそれぞれに複数のデバイスの各々の動作を個別に管理する第２ビットがそれぞれ割り当てられている。 （もっと読む）

【課題】例えば糖衣錠等の外部成分を有する錠剤に対して近赤外光を用いても、確実に錠剤の異種品を判別することのできる錠剤検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置１００を、近赤外光照射部１１、透過光検出部１７、データベース３２及び比較演算部３１を備える構成とする。近赤外光照射部１１から試料錠剤１３の内部成分１３ｉを特定する所定波長の光成分を含む近赤外光１２を試料錠剤１３に照射し、透過光検出部１７で試料錠剤１３からの透過光１６を検出する。そして、比較演算部３１において、透過光検出部１７での透過光１６の検出結果に基づいて得られる試料錠剤１３の透過特性と、データベース３２に予め格納された対応する参照錠剤の透過特性とを比較して、試料錠剤１３が参照錠剤と同種であるか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】電解質基材に混入した金属粉異物を色により識別して高い信頼性で検出できる検査装置等を提供すること。
【解決手段】検査装置は、電解質基材が所定形状で積層されて所定幅寸法で切断された長尺のアルミ箔をロール状に巻き取ったシートの電解質基材に混入した金属粉異物を加熱する電磁誘導加熱器と、電磁誘導加熱器の働きで昇温されて変色した金属粉異物を撮像する画像認識用カメラとを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物が有する視覚的なむらに影響を及ぼしている周期成分を知ることのできる、むらの視認性判定技術を提供する。
【解決手段】判定装置１００は、画像入力部１０、記憶部２０および判定部５０を少なくとも備えている。画像入力部１０は、対象物の画像データＩＭＧの入力を受け付ける。記憶部２０は、周期的なむらに対する人の視認感度を表す感度データ２２を記憶する。判定部５０は、入力された画像データＩＭＧと感度データ２２とに基づいて、対象物が有するむらにおける、人が視認可能なむらの周期成分を判定する。これにより、画像データＩＭＧに含まれる視覚的なむらのうち、どの周期成分が視認性に影響を及ぼしているかを知得することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の割れの有無を検査する。
【解決手段】切り折り対象のガラス板の一端面に接触し、当該一端面からその反対側の他端面に向かって移動しながらガラス板の表面に切り折りの起点となる傷を入れ、前記他端面に到達した場合に前記表面及び他端面に対する接触が解除されるカッタを備えた切機を用いて、ガラス基板の割れを検査する検査方法において、前記カッタがガラス基板の一端面に接触したか否かを検出するステップと、前記カッタがガラス基板の一端面に接触した時点の当該カッタの位置を、ガラス基板の一端面の位置として検出するステップと、前記検出したガラス基板の一端面の位置と予め定められた設定範囲とを比較するステップと、前記比較の結果に基づいて、前記検出したガラス基板の一端面に割れが存在するか否かを判定するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）