【課題】ムラ成分以外の輝度変化成分を十分にかつ短時間で除去可能なノイズ除去方法および装置、このノイズ除去方法および装置を前処理として備えるムラ欠陥検査方法および装置を提供すること。
【解決手段】処理対象画像の各画素をノイズ除去フィルタで処理することで得られた各画素のフィルタ効果輝度値に基づいて処理結果画像を生成する。ノイズ除去フィルタは、処理対象である対象画素Ｘから所定距離離れてかつ対象画素Ｘの周囲に配置された各周囲画素の輝度値Ｓ１〜Ｓ２０を取得し、これらの輝度値Ｓ１〜Ｓ２０を大きさの順にソートした際に中央値およびその近傍となる所定数の周囲画素の輝度平均値を求め、この輝度平均値をフィルタ効果輝度値とする。このようなノイズ除去フィルタによる処理を複数回、対象画素から周囲画素までの距離を変えて、かつ、処理結果画像を処理対象画像として、繰り返す。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎ比が高いパターン検査装置及びパターン検査方法を提供する。
【解決手段】マスク１０１のコンタクトパターン１０２を検査する際に、マスク１０１を撮像してセンサ画像を取得し、マスク１０１の設計データに基づいて参照画像を生成する。次に、センサ画像と参照画像との差画像を作成し、この差画像において、コンタクトパターン１０２の一部の領域に光量測定エリア１０４を設定し、各光量測定エリア１０４の明るさを評価する。光量測定エリア１０４に欠陥１０３が存在していれば、欠陥１０３が存在していない場合よりも、光量測定エリア１０４の明るさが低下する。これにより、欠陥１０３の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】フィルム状の樹脂膜の膜割れを確実かつ容易に検出可能な樹脂膜割れ検出装置及び方法を提供する。
【解決手段】樹脂膜からの反射光を受光して当該樹脂膜の画像をラインカメラ１２により撮像し、この撮像された撮像画像の輝度の変化を演算部２２により輝度データとして抽出し、検査領域における輝度データが予め設定された閾値以下か否かを判定部２３により判定し、その閾値以下の輝度データが予め設定された画素数以上発生した場合に前記樹脂膜に膜割れ部が形成されていると判定する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの表面状態，膜種や膜厚，表面粗さによって、異物や欠陥から発生する反射光自体が変化し、固定のしきい値では微細な異物や欠陥の弁別が困難であった。
【解決手段】被検査物である半導体ウェーハ１００はチャック１０１に真空吸着されており、このチャック１０１は、回転ステージ１０３と並進ステージ１０４から成る被検査物移動ステージ１０２，Ｚステージ１０５上に搭載されている。回転ステージ１０３にて回転移動を、並進ステージ１０４にて並進移動を行う。そして、被検査体表面上の異物や欠陥を検出する際、デジタルフィルタリングのパラメータを検査中に動的に変化させ、ノイズ成分である低周波変動成分を除去した結果を用いて、異物や欠陥を弁別する構成とする。 （もっと読む）

【課題】複数の検出器で得られる検出信号の検出特性の差異を装置上で解析し、回路やソフトウェアを変更することなく種々の検査目的に柔軟に対応できるようにすることができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】試料１００を支持する試料ステージ１０１と、試料ステージ１０１上の試料１００に照明光１１１を照射する照明光源１０３と、照明光源１０３の照明光スポットに対して互いに位置が異なるように配置され、試料１００の表面から発生する散乱光１１２をそれぞれ検出する複数の検出器１２０ａ〜ｄと、検出器１２０ａ〜ｄからの検出信号を設定の条件に従って合成する信号合成部１０５と、信号合成部１０５による検出信号の合成条件を設定する入力操作部１０９と、入力操作部１０９により設定された条件に従って信号合成部１０５で合成された合成信号を基に構築された合成マップ２２０ａを表示する情報表示部１０８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光源にパルスレーザを用いて被検査物体の散乱光を検出するときに、Ａ／Ｄ変換器のサンプリング周期を光源のパルス発振周期に関係付けて決定しないと、ノイズが増大する。
【解決手段】Ａ／Ｄ変換器のサンプリング周期を、（１）光源のパルス発振周期と等しいか整数倍とし光源の発振と同期させる、かまたは、（２）光源のパルス発振周期の半整数倍とする。これにより、Ａ／Ｄ変換器に与えられる散乱光信号中に光源の発光パルスに由来するリップル成分が残留していても、その影響を解消もしくは軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】エッジを明瞭に写し出した画像取得を可能にし、高精度の検査を可能にした基板検査方法を提供する。
【解決手段】顕微鏡と顕微鏡に搭載したカメラとによって撮像した基板の画像を用いて、基板の検査を行う方法であって、表面に凸状体を形成した基板の撮像領域内に凸状体のエッジを含む指定領域を設定し（Ｓ４０９）、顕微鏡を基板に対して相対的に移動しつつ予め設定した撮像間隔毎に、基板の表面の画像を撮像して（Ｓ４０３）、撮像した複数の画像毎に指定領域のコントラスト値を求め（Ｓ４１０）、エッジのコントラスト値が最も高い画像を抽出し（Ｓ４１７）、このコントラスト値が最も高い画像を用いて検査を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査物体に熱ダメージを与えないよう、照明光の照度を一定の上限値以下に保つと、従来の異物・欠陥検査方法では、検出感度と検査速度がトレード・オフの関係にあり、他方を犠牲にせずに一方を改善したり、両方を改善することは非常に困難であった。
【解決手段】本発明では、光源にパルスレーザを用い、レーザ光束を複数に分割後、異なる時間差を与えて、複数の照明スポットを形成し、各照明スポットの発光開始タイミング信号を用いることによって、各照明スポットからの散乱光信号を分離検出する。 （もっと読む）

【課題】カメラもしくは検査対象物を移動させ、移動させながら得られた時系列の映像から、使用したカメラの画素分解能よりも高い画素分解能の画像を作成し、使用したカメラとほぼ同様のサンプリング速度により画像を出力し表示することができる検査装置を提供する。
【解決手段】高精細画像作成装置により作成した高精細画像と局所カメラから出力された画像とを比較して高精細画像の復元度を求め、この復元度に基づいて高精細画像作成装置を制御することにより、この高精細画像作成装置により作成される高精細画像を制御する画像比較装置５ｂと、高精細画像作成装置により作成した高精細画像を表示する表示装置５ｆと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体回路素子や液晶表示素子等の基板を検査する基板検査装置に関し、複数の検査方式の長所を組み合わせて欠陥検出を迅速，確実に行うことを目的とする。
【解決手段】 複数波長の光と単一波長の光とを被検査基板に照射可能な照明手段と、前記被検査基板を撮像する撮像手段と、前記複数波長の光を照射したときに前記撮像手段で撮像された第１の画像と、前記単一波長の光を照射したときに前記撮像手段で撮像された第２の画像とを入力し、前記第１の画像で検出された検出欠陥の位置を基準にして前記第２の画像で欠陥を検査する検査手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの回転軸線と被検査物である円筒体の中心線とを厳密に一致させなくても、周期的な濃淡のない二次元画像を得ることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物たる円筒体１００の内部に挿入されて、軸線ＡＸ回りに回転しかつ軸線ＡＸ方向に移動しながら、ＬＤ１１から射出された検査光を内周面１００ａに投光しつつその反射光を受光する検査ヘッド１６と、検査ヘッド１６が受光した反射光の強度に応じた信号を出力するＰＤ１２と、を有し、ＰＤ１２が出力した信号に基づいて内周面１００ａに対応した二次元画像を生成する。ＰＤ１２が出力した信号から、軸線ＡＸと円筒体１００の中心線とのずれに起因した反射光の強度の揺らぎに対応する周波数成分を抽出し、その周波数成分と所定の基準値との差分に応じて検査光の強度が変化するようにＬＤ１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】蛍光磁粉液の性能をより正確に評価することができるようにして、蛍光磁粉液の性能を改善するために様々な要因を調整することを可能とする蛍光磁粉液の性能測定方法および性能測定装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射手段１と、撮像手段２と、撮像手段２により撮像された画像を画像処理する画像処理手段４と、画像処理手段４により画像処理された画像に基づいてＳ／Ｎ比を演算するＳ／Ｎ比演算手段５とを備えて、標準疵Ｖが設けられた試験体Ｗに測定対象の蛍光磁粉液を散布し、その撮像画像からＳ／Ｎ比を演算し、そのＳ／Ｎ比により性能を評価するものである。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの複数種類の欠陥に対して十分な検出感度を確保できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に形成された繰り返しパターンを照明し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の強度の変化を測定する手段(１３〜１５)と、繰り返しパターンを直線偏光により照明し、繰り返しパターンの繰り返し方向と直線偏光の振動面の方向との成す角度を斜めの角度に設定し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の偏光状態の変化を測定する手段(１３〜１５)と、正反射光Ｌ２の強度の変化と偏光状態の変化とに基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨等によって生じた微小傷群に起因する光沢感むらのような塗装面不良（白ボケ）を自動的に、かつ官能評価と相関高く判定できる塗装面品質評価方法を提供する。
【解決手段】被検査塗装面を撮像し、得られた被検査塗装面画像に前処理を施した前処理後被検査塗装面画像の輝度ヒストグラムから第１の標準偏差σ１を算出する。また、前処理後被検査塗装面画像に対してラプラシアンフィルタリング処理を行って得られた画像の輝度ヒストグラムから第２の標準偏差σ２を算出し、両標準偏差σ１，σ２に基づいて被検査塗装面の塗装面品質を判定する。σ１は塗装面の所謂ムラ感、σ２は微小傷の多さを表していると考えられ、これらσ１，σ２を主成分とした塗装面品質判定によれば、微小傷群に起因する白ボケは客観的、自動的に判定可能となる。 （もっと読む）

【課題】シミなどの表示欠陥を精度良く検出できる欠陥検出方法を提供すること。
【課題手段】欠陥検出方法は、撮像画像に対して２次差分フィルタを適用して欠陥部分を強調処理する欠陥強調処理工程Ｓ４と、撮像画像に対して輝度勾配を検出する輝度勾配検出処理工程Ｓ５と、誤検出判断処理工程Ｓ６とを備える。誤検出判断処理工程Ｓ６は、欠陥強調処理工程Ｓ４で得られた欠陥強調画像を所定の閾値と比較して欠陥領域候補を抽出する欠陥領域候補抽出工程と、抽出された欠陥領域候補内における最大輝度を取得する最大輝度取得工程と、輝度勾配検出処理工程Ｓ５で得られた輝度勾配画像において、欠陥領域候補と同じ領域内における最大輝度勾配を取得する最大輝度勾配取得工程と、最大輝度および最大輝度勾配に基づいて欠陥領域候補が欠陥領域であるか否かを判断する欠陥領域判断工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】各種工具のスローアウェイチップなどの工具チップであるワークを、効率良く正確に検査することができる工具欠陥検査装置と工具欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】工具の刃先に用いる工具チップであるワーク１２を回転自在に支持する支持部１４と、照明装置２０により照明されたワーク１２を撮像可能に形成されたカメラ２２を有する。カメラ２２により撮像された画像を表示する表示装置２６と、カメラ２２により撮像されたワーク１２の像を画像処理する画像処理装置２６とを備える。支持部１４を移動自在に保持したステージ１８と、支持部１４を回動または直線移動させる駆動装置である支持装置１６と、ワーク１２の刃先稜線を異なる角度から照明しカメラ２２の撮像方向に対して両側に位置した複数のスポット照明２９を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーブレット変換のパラメータの設定が容易になる画像検査装置を提供する。
【解決手段】画像検査装置１００が備える制御部１１０は、ウェーブレットパラメータを用いて原画像データのウェーブレット変換を行なうウェーブレット変換部６２０と、ノイズ除去パラメータを用いてウェーブレット変換後のデータから原画像に含まれるノイズを除去するノイズ除去部６３０と、ノイズ除去後の第１のデータに対してウェーブレット逆変換を行なうウェーブレット逆変換部６４０と、ウェーブレット逆変換後のデータから欠陥候補領域を抽出する抽出部６５０と、抽出された領域を欠陥領域と他の領域とに分類する分類部６６０と、欠陥の抽出性能を評価する評価部６７０と、評価の結果に基づいてウェーブレットパラメータとノイズ除去パラメータとを変更する変更部６８０とを含む。 （もっと読む）

【課題】
検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行うことのできる画像認識装置のデータ設定装置を提供する。
【解決手段】
認識用対象物の認識用画像を設定データに基づき画像認識する画像認識装置の設定データを設定するデータ設定装置において、認識対象物が撮像された認識用画像内の認識領域を指定する認識画像入力部と、認識領域内の画像に基づいて記認識対象物の構成色の位置を抽出し、当該構成色に関する色のバラツキを示す統計量を算出する構成色処理部と、統計量に基づいて認識対象物の抽出色範囲を決定する検査データ決定部とを具備し、構成色処理部は、構成色に含まれる各画素の色空間における各次元の値に基づいてバラツキを示す統計量を算出する構成色統計量算出部を具備して構成する。 （もっと読む）

【課題】円筒体の内面の溝幅を決定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】投／受光部３０を有し且つ被検査物たる円筒体２の内部に挿入される検査部３備え、検査部３を円筒体２の軸線Ｃを中心に回転させると共に軸線方向に相対的に進退させ、投／受光部３０より円筒体２の内面に光Ｌを投光し、反射光を受光し、受光された光に基づいて内面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、その二次元画像を溝Ｇの長さ方向座標と溝Ｇの幅方向座標とで表し、長さ方向座標を固定し、幅方向座標に沿って移動しながら、受光量が特定の閾値を超えて変化する、溝Ｇの一側縁部に対応する一点ｇ１と溝Ｇの他側縁部に対応する他点ｇ２との幅方向座標を求め、一点の幅方向座標と他点の幅方向座標とから区間の溝幅を求めるアルゴリズムを有する溝幅決定手段４６を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）