【課題】検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ること。
【解決手段】このカード印刷装置１は、媒体を搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上を搬送させながら、媒体表面を検査する装置において、撮像部５ａの走査タイミングを制御すると同時に、撮像部５ａからの照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御部１５を備え、制御部１５は、検査用試料を対象にして、撮像部５ａを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの平均輝度を予め取得した後に、平均輝度が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象の媒体の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。 （もっと読む）

【課題】二次元画像の画質を適切に検査できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１から出力される画像データは、画質検査装置２に入力される。画質検査装置２は、検査対象となる二次元画像の検査領域に対して、窓関数を用いて検査領域の境界における不連続性の影響を抑制するような補正を行う補正手段２１と、補正手段２１により補正された後の画像について、視覚の感度の周波数特性と、検査対象となる二次元画像の周波数成分とを積算することで欠陥強度を算出する欠陥強度算出手段２２と、欠陥強度算出手段２２により算出された欠陥強度に基づいて上記二次元画像の画質を判定する判定手段２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン領域を精密かつ動的に分けて、領域毎に欠陥検査方式や感度を切り替えることによって、パターン領域毎に最適な感度での欠陥検出を可能とする。
【解決手段】半導体ウェハの検査画像から画像特徴量を算出し、パターン領域分割を行い，予めパターン領域毎に設定した検査方式及び感度（欠陥検出閾値）を切り替えて欠陥検出を行う。また、上記パターン領域の判定に必要なパラメータやパターン領域毎に対応する欠陥検査方式及び感度を予め設定するレシピ設定ＧＵＩを設ける。 （もっと読む）

【解決手段】 判定手段６は、カメラ５で撮影した４０００回の画像のデータに基づいて、タイヤ２の内面２Ａ全体についての三次元の基本画像８を作成する。
判定手段６の第１演算部６Ｂは、上記基本画像８を基にしてノイズを除去したタイヤ２の内面２の輪郭線１１の画像（Ｇ１）を求める。
次に、判定手段６の第２演算部は、上記基本画像８を基にして、ノイズと不良部分を除去した輪郭線１１だけの画像（Ｇ２）を求める。
次に、比較部６Ｄは上記Ｇ１とＧ２とを比較して、不良部分を強調した画像（Ｇ３）を求める。判定部６Ｆは、上記不良部分を強調した画像（Ｇ３）を基にしてタイヤ２の内面２Ａの外観の良否を判定する。
【効果】 タイヤ２の内面２Ａの外観の良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式により製造されたカラーフィルタの欠陥検査方法において、インクジェットの不吐出に起因するハーフ白抜けを検出するのに最適な方法を提供する。
【解決手段】着色画素表面で反射される光の強弱を画素内インク量の大小と関連付ける。不吐出ヘッドに対応するハーフ白抜け欠陥を有するセルが正常部のセルより高輝度となり、出現箇所がインクジェットの塗布方向に複数個共通な位置座標である場合に、不吐出欠陥として判定する。 （もっと読む）

【課題】複雑な立体形状の羽根車の外観を検査する際に、誤検出が少なく検査精度が高く、形状が異なる多品種の羽根車の検査に短時間で対応することが可能である、外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となる羽根車の画像に所定の画像処理を施すことで、照明の不均一となり易い部分を非検査領域として不透明化し検査領域を透明化したマスク画像Ｂを作成し、該マスク画像Ｂを基準となる羽根車の画像に重ねたテンプレート画像を作成しておいて、羽根車１に照明光を照射して撮像した原画像Ａに前記マスク画像Ｂを重ねた合成画像Ｃ（検査用画像）と前記テンプレート画像を画像処理することで、羽根車の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターン、特にハーフトーンマスクのように可視光による検査が困難とされるような被検査体に対しても、ムラを高精度に撮像、検出可能な周期性パターンのムラ検査装置、および方法を提供する。
【解決手段】透過照明部１０と、反射照明部２０と、透過照明および反射照明が可能なＸＹステージ部３０と、光源部４０と、被検査基板７０の画像を撮像するための撮像部５０と、撮像部５０からの出力をディジタル化した画像情報として画像入力を行い、画像強調処理等の演算処理を行い、さらに画像を表示する機能を有する処理部６０から構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射型マスクブランクの欠陥の存在および種類を正確かつ簡便に検査することができるマスクブランク検査装置および方法を提供する。
【解決手段】マスクブランク検査装置は、反射型マスクブランクＭを載置するステージ２と、検査光ＢＭを発生する光源１と、照明光学系としてのミラー１０と、暗視野結像光学系Ｌと、ビームスプリッタＢＳと、２個の２次元アレイセンサＳａ，Ｓｂと、信号蓄積部６，７と、画像処理部８と、装置全体の動作を制御する主制御部９などで構成される。センサＳａは、光束１４ａの結像面ＩＰａから光進行方向に沿って所定距離ｄ１だけ変位した位置に配置される。センサＳｂは、光束１４ｂの結像面ＩＰｂから光進行方向とは反対方向に所定距離ｄ２だけ変位した位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】セルギャップ調整層上のフォトスペーサーなどの立体構造物を具えた高機能、高精細なカラーフィルター基板の外観欠点の検出を容易にする検査方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルター基板に検査用光線を照射し、該カラーフィルター基板からの反射光を光電変換素子で受光して電気信号に変換し、得られた電気信号を画像処理してカラーフィルター基板の欠陥検出を行うカラーフィルター基板の検査方法において、該検査用光線が該カラーフィルター基板上に形成された検査対象物の略補色となる波長を含むことを特徴とするカラーフィルター基板の検査方法。
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【課題】表示に影響するような欠陥及びムラや製品製造での不具合につながる様な欠陥を容易に判別し、良好な光透過性周期性パターン試料検査装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する周期性パターン試料検査装置であって、前記周期性パターン試料をステージ上に載置しＸ平面上を移動させる試料移動手段と、光照射手段と、前記周期性パターン試料からの透過光又は反射光を撮像し、複数のセンサ素子を二次元方向に配列してなる二次元センサアレイを具備した撮像手段と、前記撮像手段と前記周期性パターン試料との間の距離を測定する為の距離測定手段と、前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、画素データを処理する画像処理手段と、前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段と、を有することを特徴とする周期性パターン試料検査装置である。 （もっと読む）

【課題】被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、被検査物の撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、その工程で得られた各画素の欠陥強調値に基づいて欠陥を検出する欠陥検出工程を有する。欠陥強調処理工程は、検査対象画素を順次選定する検査対象画素選定工程ＳＴ２１と、検査対象画素の周囲に所定距離離れて複数配置された比較対象画素を、複数の比較対象画素群に分けて設定する比較対象画素群設定工程ＳＴ２２と、比較対象画素群の各比較対象画素と検査対象画素の各輝度値の差である輝度差データを求め、その値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める最小輝度差算出工程ＳＴ２３と、比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】エラーとなり得る情報記録媒体の表面の欠陥を精度良く検出可能な表面欠陥検査方法および表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】表面欠陥検査装置１の微分干渉顕微鏡３とＣＣＤカメラ４で検査対象物Ｍの情報記録媒体表面の微分干渉画像を撮像する。画像処理装置５では、この微分干渉画像に対して欠陥を含むレファレンスサンプルの画像例に基づく欠陥候補スライスレベルを設定し、微分干渉画像から欠陥候補を選定する。そして、選別された各欠陥候補に対して、その面積がエラーとなる最小サイズの欠陥の面積に基づく欠陥面積判定値以上のものを真にエラーに対応する欠陥として抽出する。 （もっと読む）

【課題】散乱方位角別の散乱光強度分布情報が得られ、かつ、高感度で異物・欠陥を検出可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】回転放物面の一部分を反射面とする集光用凹面鏡１６１と回転放物面の一部分を反射面とする結像用凹面鏡１６３とを使用し広い立体角に対応可能とする。反射鏡である集光用凹面鏡１６１及び結像用凹面鏡１６３を使用し、レンズ周囲を挟み込んで保持するような支持体は不要で有効開口面積が小となることは無い。反射鏡からなる方位別検出光学系１６０を複数個設け特別なレンズ研磨加工することなく全集を隙間無く埋め尽くし全方位の反射光を検出できる。散乱回折・反射光信号統合部２００は複数の方位別検出光学系１６０のうち予め指定された散乱方位に対応する方位別検出光学系１６０からのデジタルデータを合算し、Ｓ／Ｎ比を向上することが可能である。 （もっと読む）

【課題】単独で欠陥を検出し検出した欠陥の特徴量を算出することができる欠陥検査装置及びその画像処理装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ３０４上に複数配列されたチップ３０２の欠陥を隣接するチップ３０２の画像との比較により検査する欠陥検査装置の画像処理装置において、画像検出装置１０１から入力されるチップ３０２の画像データをメモリ１０６に記憶し、ＣＰＵ１０７により、この記憶された画像データを基に隣り合うチップ３０２の互いにチップ内座標が対応するブロック画像データを比較して逐次欠陥を判定し、欠陥を判定した後、合成画像処理部１１３により、欠陥マップ表示部１１５に表示された検出欠陥のうち入力装置により指示された欠陥を含む指定の大きさの切出し画像の画像データをメモリ１０６から読み出し、この読み出した画像データを基に切出し画像を再構築し、この再構築された切出し画像データを合成画像記憶部１１４に記憶する。 （もっと読む）

【課題】偏光素子の劣化を監視して検査精度の低下を把握することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】光源から照射された光によって被検査物（半導体ウェハ１０）から生じる光を検出する検出部（撮像素子３５）と、前記光源から前記検出部に至る光路（照明光学系２０、受光光学系３０）中に配置された偏光素子２３，３３と、これら偏光素子２３，３３の基準となる基準偏光素子との比較に基づいて偏光素子２３，３３の劣化度を監視するモニター部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品の外周部に充填される充填物、特に、樹脂のフィレット幅を的確に求めることのできる電子部品のフィレット幅検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品１００の外周部の境界検出に適した同軸落射照明２と樹脂フィレット１０１の外周部の境界検出に適した斜方照明３とを選択的かつ独立的に作動させ、同軸落射照明２が作動する間に撮像された同軸落射画像と斜方照明３が作動する間に撮像された斜方画像とを画像記憶手段６に記憶させる。電子部品１００の外周部の境界を同軸落射画像の輝度変化から求める一方、樹脂フィレット１０１の外周部の境界を斜方画像の輝度変化から求めることで、電子部品１００の外周部の正確な境界と樹脂フィレット１０１の外周部の正確な境界に基いて電子部品１００の外周から樹脂フィレット１０１の外周部の境界に至る樹脂幅すなわちフィレット幅ｈを求める。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ基板の検査対象の着色層の表面ムラを精度良く、かつ安定に検査するためのカラーフィルタ基板のムラ検査装置及びムラ検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のカラーフィルタ基板のムラ検査装置は、カラーフィルタ基板の検査対象表面へ検査光を斜め方向に照射する光源１０と、検査対象表面からの斜め方向の反射光を受光する受光部２０と、検査対象表面からの垂直方向の反射光を受光する受光部３０と、を備えるカラーフィルタ基板のムラ検査装置において、前記受光部２０及び前記受光部３０の受光面にカラーフィルタ基板の検査対象の着色層の色成分のみをカットするバンドパス光学フィルタ４０を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透光性及び非透光性、いずれの検査対象物についてもその表面の異物をＳ／Ｎの低下なく、しかも高速に検出できる異物検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】長さ方向に搬送中の検査対象物１２の表面幅方向にレーザ光を繰り返し照射しつつ検査対象物表面からの散乱光を検出し、その検査対象物表面における異物４３の有無を検査する異物検査方法、装置において、光源５１から出射された横断面点状のレーザ光Ｌ３を光学レンズ１４により線状レーザ光Ｌ４とする。この線状レーザ光Ｌ４を、検査対象物１２の搬送方向アに沿う方向に向く線状レーザ光Ｌ５とし、この線状レーザ光Ｌ５を、搬送方向アに直交する方向に検査対象物全幅に亘って繰り返し走査（帯状に照射）させて検査対象面全域を光照射させるポリゴンミラー５２を設ける。レーザ光密度を低下させずに検査対象面全域の光照射を高速に行わせる。 （もっと読む）

【課題】エンボステープのポケットに収納された状態等の電子部品の傷や欠け等の外観検査を精度よく行うことができる電子部品検査装置および電子部品検査方法を提供する。
【解決手段】電子部品１３に対して直交する方向から第１照明光を照射するとともに、電子部品に対して斜め方向から第２照明光を照射し、電子部品１３とこの周りの部位とにコントラスト差を生じさせて、電子部品１３の輪郭を検出する工程を行う。電子部品１３に対して斜め方向から第３照明光を照射して電子部品１３の表面を検査する工程を行う。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】ウエハーを検査するように構成される装置を提供する。一つの装置は斜めの入射角でウエハーに光を向けることによりウエハー上の区域を照明するように構成される照明の下位組織を含む。その装置はまた照明される区域の中の異なる地点から散乱される光を同時に集めるようにそして異なる地点から集められる光を映像面の対応する位置に焦点を結ばせるように構成される集光の下位組織を含む。さらに、その装置は映像面の対応する位置に焦点を結ぶ光を別々に検出するようにそして映像面の対応する位置に焦点を結ぶ光に応答する出力を別々に生成するように構成される検出の下位組織を含む。 （もっと読む）