【課題】光透過性フィルムの欠陥の検出率及び検査効率を向上すると共に、欠陥の誤検出を抑制することができる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、欠陥候補検出部２０、提示手段２１、選択手段２２、及び欠陥特定手段２３を備える。欠陥候補検出部２０は、検査対象である光透過性フィルムＡを撮像し、得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥候補を検出する。提示手段２１は前記欠陥候補検出部２０で検出された欠陥候補を提示する。選択手段２２は前記提示された欠陥候補が欠陥か否かの選択を求める。欠陥特定手段２３は、前記選択手段２２で欠陥と選択された欠陥候補を欠陥と特定する。 （もっと読む）

【課題】画素分解能を高め、また、放射線によるノイズを排除することで、欠陥検出能力の高いパターン欠陥検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】第１の方向に沿って第１の画素ピッチで配列した複数の第１の画素を有し、被検査体の光学像の第１の画像データを出力する第１のセンサと、第１の方向と略直交する第２の方向に並列して設けられ、第１の方向に沿って第１の画素ピッチで配列し且つ第１の方向において第１の画素位置から第１の画素ピッチの１／Ｎ（Ｎは１以上の整数）だけずれた位置に配置された複数の第２の画素を有し、被検査体の光学像の第２の画像データを出力する第２のセンサと、第１の画像データ及び第２の画像データに基づいて被検査体の欠陥を検出する欠陥検出部と、を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】画像記録媒体に形成された画像の欠陥画素を高精度に検出すると共に、的確に欠陥画素を把握することができる画像欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】画像記録媒体にテストパターン画像として出力されたテストパターン画像データを被検査画像データとして取得し、前記テストパターン画像データにおける所定領域に属する画素群と前記被検査画像データにおける前記所定領域に対応する領域に属する画素群との相関値を算出し、前記相関値が所定の閾値以下である際に前記所定の領域に属する画素を欠陥画素として判定し、前記被検査画像データを表示装置に表示する画素を正常画素と識別可能に表示する。 （もっと読む）

本発明は、基板の品質検査装置及びその検査方法を提供する。
本発明の検査装置と検査方法は、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力によって発生する電源からのノイズ、検査しようとする基板の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境による震動などの影響を受けてノイズが影映像情報に含まれている際、そのノイズは除去して基板の表面品質を検査する装置に構成させたものであって、これにより、品質検査時のノイズによるエラーを無くして検査の精密度を高めると共に、製品に対する品質満足度を向上させることができる。
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【課題】 検査対象領域のサイズがばらつきに対応して画像抽出を行い、十分な検査精度が得られる外観検査システムを提供する。
【解決手段】 画像処理を用いた外観検査システムであって、検査対象の撮像画像の回転補正を行った後、回転補正画像の加工部測定を行い、その測定結果に合わせてサイズを調整した良品画像とのパターンマッチングによって検査対象領域の抽出を行い、抽出された検査対象領域を２値化することにより、検査を行うようにした外観検査システム。 （もっと読む）

【課題】圧着処理されたシール部を有する液体または気体を封入する袋状の包装容器の材質、形状、色にとらわれる事無く、内容物の漏れなどにつながるようなシール不良をシール幅を検査することによって行い、シール強度を保障する検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】圧着処理されたシール部を有する袋状の包装容器を移動させる移動手段とガイド手段と、光照射手段と、撮像手段と、画像データを処理する画像処理手段と、シール部の寸法データを表示する表示手段と、シール部の寸法を測定するする手段と、該測定結果をシール部の基準寸法とし、さらに、シール部の寸法から測定した結果を検査寸法として、前記基準寸法と検査寸法を比較することによって、シール部の良否を判定する手段と、該判定結果を上記表示手段に表示することを特徴とする検査方法及び装置 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高い検査精度を維持したまま検査時間の短縮化を可能とする環状部材の外観検査装置を提供すること。
【解決手段】環状の被検査体１００の内周面１００ａを照明する照明手段２０と、該照明手段２０によって照らされた前記被検査体１００の内周面１００ａの全面を映し出す反射面１０１を有する反射体１０と、該反射体１０に映し出された前記被検査体１００の内周面１００ａの全部を一時に撮像する撮像手段３０と、該撮像手段３０により撮像された画像に基づいて前記被検査体１００の内周面１００ａにおける欠陥の有無を判別する判別手段４０とを備え、前記照明手段２０および撮像手段３０は、前記被検査体１００の一方の端面側に設けられ、前記反射体１０は、前記被検査体１００の他方の端面よりも外側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】加工物の光学的表面特性を測定する装置を提供する。
【解決手段】加工物１０を配置できるキャリア４が内部に配設されたハウジング２と、所定の放射方向Ｅに沿って前記加工物１０に放射線を送出する放射装置６とを含み、前記ハウジング２は、少なくとも１つの壁面２ａに、観察用開口部８を有し、この観察用開口部８から、前記放射装置６によって照光された加工物１０の領域を、所定の観察方向Ｂで観察する。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分の信号を漏れなく検出する。
【解決手段】欠陥検査対象のフィルムを受光器により撮像する。受光器で得られた撮像信号を微分処理する。微分処理が施された微分処理信号のうち、一定の画素範囲内で輝度値が最大となる極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａと輝度値が最小となる極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂとを検出する。基準信号５５の輝度値と極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１として求める。基準信号５５の輝度値と極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２として求める。第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１と第２差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２を加算して、加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求める。加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣが一定値以上である場合に、それら加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求めた画素範囲内の信号を、フィルムの欠陥部分の信号として特定する。 （もっと読む）

【課題】一時的に発生する測定画像の偽像を排除できるパターン検査を行うこと。
【解決手段】試料のパターンを測定して測定画像を生成する測定画像生成部と、測定画像と基準画像とを比較する比較部と、を備え、測定画像生成部は、２画素以上で構成されるラインセンサを２段以上用いた時間遅延積分センサを２個以上つなげた受光装置を有し、各時間遅延積分センサの画素について、異常な画素値を除いた画素値の平均値を測定画像とする、又は、基準値を超える画素値を異常な画素値として除いた画素値の平均値を測定画像とする、又は、画素値の平均値と所定値の和を基準値とし、基準値を超える画素値を異常な画素値として除いた画素値の平均値を測定画像とする、又は、画素値と、全ての時間遅延積分センサの画素値の平均値との差の絶対値が基準値を超える画素値を異常な画素値として除いた画素値の平均値を測定画像とする、試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】人手によらずプレス鋼板における微小な凹凸を検出することのできる、表面検査システム及びこれを用いた表面検査方法を提供する。
【解決手段】プレスされた鋼板に向けて赤外光を含む光を照射するライト２1と、鋼板に反射した赤外光を含む光を検知するカメラ２２と、このカメラ２２により撮像された画像から凹凸を検出する画像処理装置３と、この画像処理装置３により算出された情報を出力する出力装置としての表示装置４及び記録装置５とを有する表面検査システム１を構成する。 （もっと読む）

【課題】配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出を行なう被対象物である試料に照射する光の偏光（アルファ）（ｓ偏光からの角度（アルファ））を、試料の回路パターンの条件、照射光の方位角及び入射角を所定の計算式に代入して算出する。偏光（アルファ）は、ｐ偏光とｓ偏光との間にある。算出した偏光（アルファ）の光を試料に照射して欠陥を検査する。これにより、配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、欠陥強調処理工程と欠陥検出工程を有する。欠陥強調処理工程は、撮像画像から平滑化画像を作成する工程ＳＴ２０と、検査対象画素を順次選定する工程ＳＴ２１と、検査対象画素に対応する平滑化画像の着目画素の周囲に複数配置された比較対象画素を複数の比較対象画素群に分けて設定する工程ＳＴ２２と、比較対象画素群の各比較対象画素と検査対象画素の各輝度値の差である輝度差データを求め、その値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める工程ＳＴ２３と、比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする工程ＳＴ２４とを備える。欠陥検出工程は、欠陥強調値を閾値と比較して抽出した欠陥候補画素で構成される欠陥候補領域の特徴量から欠陥を判別する。 （もっと読む）

【課題】イメージスキャナを用いて低コストで上面に印刷された半田付け状態を人手を介さず、連続して検査することができる装置を提供する。
【解決手段】検査装置1は、少なくとも１本のガイド軸21に沿って移動し、画像読取り部54を下側に向けて画像を走査する読取りモジュール5及び該読取りモジュール5を水平状態に支持する水平支持部材を具えたイメージスキャナ2と、該イメージスキャナ2の画像読取り部54の下側に検査対象物であるプリント基板4を搬送するコンベアベルト32と、読取りモジュール5が走査した画像を処理してモニター11に表示する手段を設けている。 （もっと読む）

【課題】反復パターンが形成された試料の表面上の相互に同一であるべきパターンを撮像した検査画像と参照画像とを比較して、その相違部分を所定の検出感度の下で各々検出し、これら相違部分の存在箇所を反復パターンの欠陥として検出するパターン検査において、検査開始時に行われる検出感度の設定に要する時間を短縮する。
【解決手段】所定の第１仮検出感度の下で検査画像と参照画像との相違部分が存在する箇所を欠陥候補として検出し（Ｓ１３）、各欠陥候補の箇所における検査画像と参照画像との間の差画像を所定の記憶手段に各々記憶し（Ｓ１４）、この差画像のグレイレベル値と第２仮検出感度とを比較することによって、Ｓ１３で検出された欠陥候補の各々のうち第２仮検出感度の下で検出される欠陥候補の集合を得る。 （もっと読む）

【課題】発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を１度の検査で得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】投光装置の光源及びシリンドリカルレンズ４を通した光を発泡体ローラー１に投光する。そして、発泡体ローラー１における反射光Ｐを撮像装置１１で撮像すると共に、発泡体ローラー１を透過した透過光を反射板２で反射させて、撮像装置１１で撮像する。 （もっと読む）

【課題】高解像度で微細構造物の欠陥を検査できるようにする。
【解決手段】この欠陥検査装置は、光ビームを互いに特性の異なるＰ偏光ビームＰ１とＳ偏光ビームＳ１とに分岐すると共に、これら偏光ビームを互いに走査幅分の間隔で離隔する態様で、検査対象面９ａに照射させる第１及び第２の偏光ビームスプリッタ３、６と、検査対象面９ａ上を各偏光ビームＰ１、Ｓ１で走査する偏向走査手段２と、偏向走査手段２とＸＹステージとの駆動を制御して、検査対象面９ａ上を偏向走査手段２に各偏光ビームＰ１、Ｓ１で順次走査させ、全体として２重走査させる走査制御回路１０と、検査対象面９ａから反射する２種の反射光Ｐ２、Ｓ２を受光して電気信号に変換し、検出信号を生成する光電変換器１２、１３とを備え、光電変換器１２、１３から出力される検出信号を用いて、検査対象面を写すＰ偏光反射画像とＳ偏光反射画像とを取得して、微細構造物の欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置１０は、生成した画像のうち少なくとも１つに基づいて基板１のコーティングを検査する。コーティング検査装置１０は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】被検査体の周期性パターンにおけるムラの有無を容易に判定し、擬似欠陥をスジ状ムラ欠陥として判定しないこと。
【解決手段】周期性パターンを有する被検査体のスジ状ムラを検出するための欠陥検査方法であって、
被検査体に光源からの光を照射することで生じる回折光の強度分布の取得を複数の照明角度で行い、各照明角度における回折光の強度分布を検査画像として取得し、
取得された被検査体への照明角度が異なる複数枚の検査画像に対し、照明角度の異なる複数の検査画像を比較し、前記被検査体への照射角度に応じて位置が変化するスジ状ムラと変化しないスジ状ムラとを抽出し、その変化するスジ状ムラを検査の際に欠陥としない擬似欠陥とし、その変化しないスジ状ムラを検査の際に欠陥として選別し、
欠陥として選別されたスジ状ムラに対し、それぞれの輝度と面積に基づいて欠陥規模の評価を行う欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】フィルムと、その上に樹脂溶液を塗布して形成した塗膜からなる樹脂塗布フィルムの塗膜の欠陥を精度良く検査する方法を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂塗布フィルムの検査方法は、フィルムと、その上に樹脂溶液を塗布して形成した塗膜からなる樹脂塗布フィルムの塗膜の欠陥を検査する方法において、発光強度のピーク波長が３８５〜４１５ｎｍの範囲にある検査光を塗膜に照射し、その反射光を検出して行うことを特徴とし、樹脂塗布フィルムの塗膜の欠陥を精度良く検査することができる。 （もっと読む）