【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象の欠陥の検出精度を向上させること。
【解決手段】画像処理装置は、入力画像の一部である変換対象領域を、入力画像から順次選択する変換対象領域選択部と、複数の変換対象領域のそれぞれについて、変換対象領域を含む種類が異なる複数の周辺領域を抽出する周辺領域抽出部と、複数の変換対象領域毎に、複数の周辺領域のそれぞれについて、周辺領域の画像を用いて変換対象領域の画像を変換することにより、複数の変換画像を生成する画像変換部と、複数の周辺領域の種類毎に、複数の変換対象領域に対応する複数の変換画像を組み合わせることにより、複数の出力画像を生成する出力画像生成部とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像時の画像に異物を写り易くさせ、異物の検出精度を向上させた容器内異物検査装置を提供する。
【解決手段】液体が封入された容器を搬送する搬送手段と、前記容器が搬送される経路の途中に設けられた照明光照射手段と、前記照明光照射手段からの照明光を前記容器に照射し、透過した光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段から得られる画像信号の画像処理によって前記液体に混入した異物を検出する異物検出装置とを備えた容器内異物検査装置において、前記搬送手段の途中に位置する前記撮像手段よりも上流側に位置し、前記搬送手段に結合して構成された容器回転部を有し、前記容器回転部は、前記容器を搬送するコンベアと、該コンベアに沿って前記容器をガイドするための内側ガイド部と外側ガイド部を備え、前記容器搬送時に前記容器を回転させて、前記容器内の混入異物を前記容器外周側に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 鉄塔，鋼橋などの鋼構造物の塗装面の劣化状況を検出し、劣化度判定を行うための塗装劣化診断方法および装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、塗装が施された鋼構造物の表面を撮影した入力画像に対して塗装面の劣化部だけを透過させた変換に変換する劣化部抽出フィルターを構築する工程と、変換画像中の透過部を検出して劣化部プロファイルを生成する工程と、塗装面劣化の発生・成長をシミュレートした仮想塗装面劣化画像を作成する工程と、作成された仮想塗装面劣化画像と劣化基準とから評価用劣化プロファイルを作成し、蓄積してデータベースを形成する工程と、劣化診断対象の入力画像から得られた劣化プロファイルと評価用劣化プロファイルを比較することで劣化度合いを判定する劣化度評価の工程により構成される。 （もっと読む）

【課題】 プロセス中で発生した欠陥と、疑似欠陥とを区別することができない。
【解決手段】 プロセスに起因する欠陥と、他の疑似欠陥とを切り分けるための切り分けサイズが、切り分けサイズ記憶部(21)に記憶される。欠陥の情報が、欠陥情報記憶部(17)に記憶される。処理装置が、画像データに基づいて、ウエハ表面上の欠陥を検出し、欠陥の情報を、欠陥情報記憶部に記憶させる。ウエハ表面の欠陥検出を行うべき範囲の全域について欠陥検出処理が終了する前に、一部の範囲について検出された欠陥のサイズと、前記切り分けサイズ記憶部に記憶されている切り分けサイズとを比較し(SB3)、該切り分けサイズ以上の大きさの欠陥が検出されている場合には、前記出力装置から検査装置異常であることを知らせる警報を出力させ(SB5)、該切り分けサイズ以上の大きさの欠陥が検出されていない場合には、未だ欠陥検出処理が行われていない範囲について欠陥検出処理を行う(SB6)。 （もっと読む）

【課題】カメラの撮影時の解像度を変更しながら部品の撮影を行なう外観検査機において、解像度の切り替えタイミングおよびカメラの移動経路を最適化する。
【解決手段】複数の解像度で基板上の部品を撮影し、前記部品の実装状態を検査する外観検査機における検査条件を決定する検査条件決定方法であって、前記部品の撮影時に要求される解像度は予め定められており、前記複数の解像度の各々について、当該解像度で撮影されるべき部品を含むように少なくとも１つの撮影領域を決定する撮影領域決定ステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、前記撮影領域決定ステップで決定された撮影領域を巡回する最短の経路を決定する経路決定ステップ（Ｓ１０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】多電極ＩＣ実装部内の半田および異物の検査領域を異物検査小領域で全面一括設定でき、特定の色情報を有する検査領域への検査領域設定を容易に設定することを可能とする検査領域設定方法を提供する。
【解決手段】全体の検査領域２０を設定し、異物を検査するため異物検査小領域２４を設定することにより、検査領域２０の全域を異物検査小領域２４で分割する。分割された領域からランド検査領域９を除去することによって異物検査領域を設定し、その異物検査領域に対して、特定部位の色情報を取得して、撮像された画像情報から特定部位の色情報と一致した領域の位置座標を取得する。検出された部位に対して再度特定部位検査領域を設定し、特定部位検査領域の周囲には異物検査小領域を再設定することにより、検査領域全体に領域設定を行う。 （もっと読む）

本発明は、同種の印刷物、より詳しくは搬送装置により移送される同種の印刷済み用紙を点検するための方法および装置に関連する。この目的のため、読込み段階中に、検査イメージが印刷物上の複数のポイントでデジタルカメラにより記録される。記録された検査イメージまたはその一部は、特徴情報に関して分析され、最も顕著な特徴情報を有する検査イメージが参照イメージとして選択される。同種の印刷物を点検するという目的のため、参照イメージに対応する位置の少なくとも一つのイメージを記録することにより、また参照イメージのイメージデータとこれを比較することにより、同種の後続の印刷物が点検される。このような点検は、印刷物の検査イメージを記録するためのデジタルカメラと、印刷物を照射するための照射デバイスと、位置信号を供給するための入力と、デジタルカメラおよび照射装置を制御するためとデジタルカメラにより生成されたイメージデータを分析するための制御評価ユニットとを包含する装置により実行される。本発明はさらに、コンピュータプログラムおよびコンピュータプログラム製品に関連する。
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【課題】半導体チップ内の電極パッドの前記針痕の有無、形状の異常、プローブ針の位置ズレによる欠陥と、その他の理由に起因する欠陥とを区別する可能性を高める方法の提供。
【解決手段】被検査物の半導体チップの通電テストの為の電極パッド部にプローブ針を当て電気的特性検査を行った後、プローブ針の位置ズレにより発生する欠陥と、電極パッドの表面に存在するヒロック等の欠陥とを区別し、プローブ針の位置ズレにより発生する欠陥が無ければ、正常な電極として扱う可能性を高める方法であって、電極パッド内にある針痕の位置を抽出する事により、検査領域を特定し、針痕の位置ずれに起因する欠陥と電極パッドの表面に存在するヒロック等の欠陥とを高い確率で、区別する。 （もっと読む）

【課題】鋼帯接合体に穿設されたマーキングホール内の残留物により生じた変色部を鋼帯の表面欠陥として誤検出することで、その表面欠陥情報が鋼帯に関連付けられた品質情報の一部として記録されることを防止する。
【解決手段】表面検査装置５６では、プロセスコンピュータ４６が、システムサーバ４４から送信された表面欠陥情報に基づいて表面欠陥が検出された亜鉛めっき鋼帯１６における表面欠陥の位置を判断すると共に、この表面欠陥がマスキング領域に含まれるか否かを判断し、この表面欠陥がマスキング領域以外の領域に含まれる場合には、表面欠陥情報を亜鉛めっき鋼帯１６に関連付けられた品質情報記録として記録し、この表面欠陥がマスキング領域Ｍに含まれる場合には、表面欠陥情報を品質情報記録の記録対象とはしない。 （もっと読む）

【課題】不完全エリアを有効に検査することで歩留り管理の精度向上を図ることができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ１に検査光を照射する照明手段１０と、ウェーハ１からの散乱光を検出し画像信号を出力する検出手段２０と、ウェーハ１上の各検査エリアの配置情報を記憶した座標管理装置１４０と、検出手段２０で検出された検査エリアの画像信号を参照エリアの対応画素の画像信号と比較して両者の差分を検出するとともに、検査エリアの配置情報を基にウェーハエッジ１ａに掛かる不完全な検査エリアを認識し、不完全な検査エリアを検査する場合に当該不完全な検査エリア内のウェーハエッジ１ａよりも外側の検査データを有効データから除外する画像処理装置１２０と、検査エリア及び参照エリアの対応画素の画像信号の差分をしきい値と比較して異物の有無を判定する異物判定装置１３０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に発生した圧痕を検査するにおいて、圧痕検査が必要な検査領域の設定が迅速且つ正確であることは勿論、圧痕の異常有無も迅速で且つ正確に検査することができる圧痕検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧痕検査装置は、圧痕が発生した基板を固定するためのワークステージと、前記ワークステージの上側に位置し、前記基板の後面を観察するための顕微鏡と、前記顕微鏡を通して観察された基板の後面を撮像できるように、前記顕微鏡に連結設置されたカメラと、前記カメラから前記撮像された画像データを入力され、前記画像データ中において圧痕検査が必要な検査領域を設定する検査領域選択部と、前記検査領域内で所定形状の枠を有する各検出領域ごとに輝度分布情報を検出し、前記検出された輝度分布情報によって圧痕指数を検出する圧痕検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハなどに存在する欠陥または異物を検査する際に、複数の光学条件での検査を高速に行う欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】配線等の回路パターンを有する試料上の異物等の欠陥を検査するための欠陥検査装置において、複数の直線状ビームの各々を試料上の異なる検査領域に照射する照明光学系と、該照射された複数の検査領域を検出器上に結像する結像光学系とを備え、前記検出器は、前記結像光学系で結像された複数の光像の各々に含まれる互いに異なる複数の偏光成分をほぼ同時にかつ個別に受光して前記複数の偏光成分に対応する複数の信号として検出するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】目視確認の部品の画像の表示を、不良の可能性の高さまたは判定の難易度に基づいて制御できるようにする。
【解決手段】管理サーバ２の検査結果データベース２１には、良／不良の判定結果とともに検査の過程で生じた各種情報が蓄積され、画像データベース２２には、自動外観検査に使用された画像が蓄積される。管理サーバ２は、基板外観検査装置１による自動検査で不良と判定されて目視確認の対象となった部品について、その部品と同じ検査ルールによる自動外観検査が実施された部品に係る蓄積情報を用いて不良の可能性の高さまたは判定の難易度を示すパラメータを算出する。そして、各部品のパラメータが所定の順序で並ぶように、それぞれの部品の画像の表示順序を決定し、決定した順序に基づいて確認用端末３に画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】 表面の荒れ等による差分出力のオフセットの影響を排除して正確な欠陥検査が行えるような表面検査方法を得る。
【解決手段】 表面検査方法が、撮像装置を被検物に対して相対移動させながら被検物の表面を撮像するステップと、被検物の表面の撮像画像から、被検物の表面を相対移動方向に沿って複数の分割して得られた複数の領域毎において所定の検査項目に対応する検査信号値を抽出するステップと、相対移動方向における検査信号値の移動平均値を複数の領域毎について算出するステップと、複数の領域毎について検査信号値から移動平均値を減じて補正検査信号値を求めるステップと、補正検査信号値に基づいて所定の検査項目についての検査を行うステップとから構成される。 （もっと読む）

【課題】 検査対象領域のサイズがばらつきに対応して画像抽出を行い、十分な検査精度が得られる外観検査システムを提供する。
【解決手段】 画像処理を用いた外観検査システムであって、検査対象の撮像画像の回転補正を行った後、回転補正画像の加工部測定を行い、その測定結果に合わせてサイズを調整した良品画像とのパターンマッチングによって検査対象領域の抽出を行い、抽出された検査対象領域を２値化することにより、検査を行うようにした外観検査システム。 （もっと読む）

【課題】側辺が矩形波状であったり面取りなどの意匠が施されていたりする検査対象面の画像データから、実際に欠陥が存在する箇所を表す画素だけが、欠陥対応画素として、正確に検出されるようにすること。
【解決手段】表面検査システムの制御装置４０が、１個の工業的製造物Ｐの検査対象面を撮像して画像データを取得した後（ステップＳ１０２）、検査対象面の中心部を表す画素の画素値に基づいて、濃淡を生じせしめる意匠部分を表す画素の画素値を嵩上げするとともに（ステップＳ２０５、Ｓ２０７）、検査対象面以外の部分を表す画素の画素値を嵩上げする（ステップＳ２０８、Ｓ２０９）。 （もっと読む）

【課題】異なる方向から撮影した被検体の画像を合成する際に、撮影手段の設置角度による誤差の影響を排除して、精度の高い合成画像を作成する方法を提供する。
【解決手段】検査用のタイヤのタイヤクラウン部１０Ａのセンター部１０ａと左ショルダー部１０ｂと右ショルダー部１０ｃとをレンズの光軸方向が互いに異なるように設置された第１〜第３の撮影手段でそれぞれ撮影し、これらの画像を合成して検査用画像Ｇを作成する際に、第２の撮影手段で撮影した左ショルダー部１０ｂの画像と第３の撮影手段で撮影した右ショルダー部１０ｃの画像を、予め記憶手段に記憶しておいた基準画像Ｓの左ショルダー部１０ｂｓ及び右ショルダー部１０ｃｓの形状に合わせてそれぞれ回転させてから、第１の撮影手段で撮影したセンター部１０ａの画像と合体させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 製品の外観表面の欠陥を画像で検出する方法であって、製品の検査対象の輪郭線の形状が複雑であっても、輪郭線部分に存在する欠陥と、輪郭線部分以外に存在する欠陥を検出できると共に、欠陥の形状と大きさが正確に判り、且つ欠陥検出に要する計算負荷が軽い欠陥検出方法を提供すること。
【解決手段】被検査体の表面の欠陥を検出する方法であって、被検査体の画像を取込む画像取込手段１と、取込んだ画像を２値化して被検査画像３０を作成する２値化手段２と、被検査画像３０から検査対象３３を抽出する検査対象抽出手段３と、検査対象３３を処理して良品形状推定画像３０ｅを作成する良品形状画像作成手段４と、良品形状推定画像３０ｅと被検査画像３０とから検査画像４０を作成して輪郭線３５部分に存在する欠陥３１および輪郭線３５部分以外に存在する欠陥３２を検出する検出手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】傷や異物等がある不確定な部位の実際の大きさ（寸法）を測定する画像検出装置および検査装置を提供する。
【解決手段】画像検出装置６は、ワーク２に対して傷や異物などの不確定な部位があるか否かを、光を用いた画像処理により検出するものである。この画像検出装置６には、外部撮影機器により撮影したワーク２のワーク画像を取得する画像取得部６１と、画像取得部６１で取得したワーク画像に対して画像可変させた可変ワーク画像を用いて、ワーク画像と可変ワーク画像とから差分画像を作成する作成部６２と、作成部６２により作成した差分画像から不確定な部位の寸法を算出する寸法算出部６３と、が設けられている。 （もっと読む）