【課題】光透過性の材料により形成された物品において、異物の全体または一部が埋入されているか異物が表面に付着しているかを判別することを可能にする。
【解決手段】光透過性の材料により形成された物品ＢをＴＶカメラ１１により撮像する。第１のエッジ抽出手段２８は、濃淡画像に対して物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆと物品Ｂの表面に露出する異物Ｆとの輪郭が併せて抽出可能する閾値を用いて二値化した二値画像からエッジを抽出する。第２のエッジ抽出手段２９は、微分画像に対して物品Ｂの表面に露出する異物Ｆの輪郭線が抽出され物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆの輪郭線が抽出されないように設定した閾値以上の画素からエッジを抽出する。判定手段３０は、第１のエッジ抽出手段２８と第２のエッジ抽出手段２９とで抽出したエッジの長さの変化率が規定した判定閾値以下であるときに除去可能な異物Ｆが物品Ｂに付着していると判定する。 （もっと読む）

【課題】基板外観検査において、不良見落としの確率を低くするとともに、虚報を低減する。
【解決手段】撮像手段1110、データ読出手段1120、対象領域抽出手段1310、領域辞書作成手段1340、領域位置合わせ手段1330、検査領域設定手段1350、密度辞書作成手段1360及び検査手段1370を備えて構成される。対象領域抽出手段は、CADデータ1510及び色基本データ1520から計算された対象領域の色と、撮像手段が取得した撮像画像データ1112の色との比較を行って、パッド画像データ1412を抽出する。領域位置合わせ手段は、撮像画像データとCADデータの位置合わせを行って、合わせ画像データ1432を作成する。密度辞書作成手段は、隣り合う対象領域の間隔が閾値以下の場合は高密度領域と判定し、閾値よりも大きい場合は低密度領域と判定する。検査領域設定手段は、高密度領域における非検査領域を、低密度領域における非検査領域よりも小さく設定して、検査画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】カメラの撮影時の解像度を変更しながら部品の撮影を行なう外観検査機において、解像度の切り替えタイミングおよびカメラの移動経路を最適化する。
【解決手段】複数の解像度で基板上の部品を撮影し、前記部品の実装状態を検査する外観検査機における検査条件を決定する検査条件決定方法であって、前記部品の撮影時に要求される解像度は予め定められており、前記複数の解像度の各々について、当該解像度で撮影されるべき部品を含むように少なくとも１つの撮影領域を決定する撮影領域決定ステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、前記撮影領域決定ステップで決定された撮影領域を巡回する最短の経路を決定する経路決定ステップ（Ｓ１０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】パルプまたは粒状物質が含まれた流動体中から検出対象となる異物を効果的に選択して判別し、かつ排除することができる異物検出装置を提供する。
【解決手段】異物検出装置１０は、流路板１６の検出流路１５にＣＣＤラインセンサ４０を走査して検出流路１５中の異物を検出するものである。すなわち異物検出装置１０は、検出流路１５に対して直交する方向に走査して検出流路１５中の流動体の明度を感知するＣＣＤラインセンサ４０と、ＣＣＤラインセンサ４０からの画素信号を信号処理して異物を検出する信号処理部３１とを備えている。このうち信号処理部３１は、ＣＣＤラインセンサ４０からの画素信号を異物の大きさにより予め定められた単位マスク毎に整理し、この単位マスク毎に整理された画素信号の平均値と、所定の閾値（スライスレベル）との関係に基づいて異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】吸着孔を有する載置面とこの載置面に載置された基板とが同時に撮影された画像から、正確に基板画像のみを抜き出すこと
【解決手段】区画線により区画された模様を有する載置面１６ａとともに、載置面上に配置された基板Ｓが撮影された原画像から、基板に対応する画像部分である基板画像を抽出する基板画像抽出装置１０であって、基板の非存在下で撮影された載置面のみの画像であって、区画線の色を載置面の色に変換し、かつ、区画線以外の領域の色を透明化した画像を背景画像として記憶する背景画像記憶部４４と、背景画像原画像とを重ね合わせて重畳画像を生成する重畳部３４と、重畳画像において、載置面及び模様の双方と色が異なる領域の外縁を定める点を基板輪郭候補点として抜き出し、さらに、基板輪郭候補点の中から重畳画像と原画像とで同色の点を基板輪郭点として抜き出す解析部３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を高速かつ容易に検出し、分類する手法を提供する。
【解決手段】欠陥分類装置では、基板上の検査領域の画像データから複数の欠陥要素が特定され、各欠陥要素の代表点の座標値が取得される。欠陥要素ペア決定部５３では各欠陥要素の代表点を母点としてドローネ三角形分割を行い、複数の三角形を構成する各辺の両端点の欠陥要素により構成される欠陥要素ペアが求められる。判定部５２では、同一欠陥に由来する欠陥要素により構成される複数の欠陥要素ペアが取得される。クラスタ生成部５６では、２分探索木の構造を有し、それぞれが同一の欠陥に由来する欠陥要素の集合である複数のクラスタが生成される。そして、各クラスタに含まれる欠陥要素を包含する欠陥画像が抽出されて特徴量が算出され、各クラスタに対応する欠陥が分類される。これにより、欠陥が高速かつ容易に検出され、適切に分類される。 （もっと読む）

【課題】部品本体の複数箇所から突出する基板電極に対し、突出部位毎に検査ウィンドウの設定用データを自動で作成する。
【解決手段】ＣＡＤデータから検出されたパッド情報と、良品基板の画像から検出した部品本体枠Ｓとを用いて、各パッドＰ_１〜Ｐ_３について、それぞれ部品本体枠Ｓから突出する部位を検出する。さらに、複数の突出部位が検出されたパッドＰ_２について、突出部位２１，２２毎に、その突出部位から部品本体枠Ｓ内の所定位置Ａ，Ｂまでの範囲を部分電極Ｐ_２１，Ｐ_２２としてパッド全体から分離する。この後は、分離対象外のパッドＰ_１，Ｐ_３および突出部位２１，２２について、それぞれ検査ウィンドウの設定範囲を定め、設定用データとして登録する。 （もっと読む）

【課題】色の再現性に幅（ばらつき、色ムラおよび／または色あせ）のあるシート状物品における汚れ、破れ、形状不良等の欠陥検査において、模様を欠陥と判定せず、かつ、黒汚れ、非黒よごれおよび破れの判別が可能な検査方法および装置の提供。
【解決手段】複数の異なる色領域を有する検査板と、ＲＧＢ成分からなる複数のラインを撮像可能なカラーカメラとを提供し、検査板上を通過させたシート状物品のＲＧＢ画像データを取得し、Ｒ成分画像、Ｇ成分画像およびＢ成分画像を合成した合成画像を取得し、当該合成画像において変色領域を検出し、変色領域の色が予め記憶した欠陥種別の設定パラメータの範囲に属するかにより欠陥種別を判定することを特徴とするシート状物品の検査方法およびその装置。 （もっと読む）

【課題】 冷陰極放電管や閃光放電管といった放電管に用いられる小径であるガラスバルブの内面に有する凹状部を少なくとも検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】 円筒状のガラスバルブ１を照射する光源９と、照射されるガラスバルブ１を撮像する撮像部１１とを備えるガラスバルブの検査装置であって、ガラスバルブ１の軸線方向と直交する面においてガラスバルブ１及び撮像部１１が対向する方向と交差する方向からの光源９の光で、ガラスバルブ１を照射するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 撮像したい領域を絞り込むための光学系を配置することなく、装置全体を小型にし、１つの撮像素子の撮像面の形状を様々に変えることができ、かつ検査解像度を変更せずに効率的な検査を実現できる半導体チップ検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップ検査装置が、半導体集積回路チップを撮像する撮像光学系を有する。半導体集積回路チップの画像から少なくとも欠陥等を検査する。撮影光学系が作る最大の視野サイズより大きい視野サイズの撮像素子を設ける。前記撮像素子の撮影した画像の一部を切り出して少なくとも欠陥の有無を調べる。検査対象の半導体チップの大きさ情報から最適検査が行なえるように切り出す範囲を決定する。 （もっと読む）

【課題】不完全エリアを有効に検査することで歩留り管理の精度向上を図ることができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ１に検査光を照射する照明手段１０と、ウェーハ１からの散乱光を検出し画像信号を出力する検出手段２０と、ウェーハ１上の各検査エリアの配置情報を記憶した座標管理装置１４０と、検出手段２０で検出された検査エリアの画像信号を参照エリアの対応画素の画像信号と比較して両者の差分を検出するとともに、検査エリアの配置情報を基にウェーハエッジ１ａに掛かる不完全な検査エリアを認識し、不完全な検査エリアを検査する場合に当該不完全な検査エリア内のウェーハエッジ１ａよりも外側の検査データを有効データから除外する画像処理装置１２０と、検査エリア及び参照エリアの対応画素の画像信号の差分をしきい値と比較して異物の有無を判定する異物判定装置１３０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
レンズに汚れが付着した場合でも欠報を発生させることなく誤報を減らして、安定的に欠陥を検出する手法、及び装置を提供することである。
【解決手段】
フレーム間の欠陥候補位置フレーム座標比較手段に加えフレーム間の欠陥候補位置３Ｄ座標比較手段を有し、同一箇所を最低でも２回以上撮影して、欠陥候補については別のフレームで同一の３Ｄ座標を持つ欠陥候補が存在しない場合に該欠陥候補がレンズ汚れであると判定する欠陥マスク情報生成手段とレンズ汚れ警報生成手段を有する。 （もっと読む）

【課題】パターンの寸法測定に際して寸法測定範囲（ＲＯＩ）を自動的に設定する。
【解決手段】実パターンの輪郭ＥＲ１〜ＥＤＲの像と、実パターンの設計図形とのマッチングを実パターンの画像上で行い、設計図形の輪郭線ＥＤ１〜ＥＤ４に内接または外接する円ＣＬ１〜ＣＬ１０を設計図形に当てはめ、円ＣＬ１〜ＣＬ１０と輪郭線ＥＤ１〜ＥＤ４との接点を基準に寸法測定範囲（ＲＯＩ）ＲＡ〜ＲＨ，ＲＪ〜ＲＱ，ＲＳ，ＲＴを決定する。 （もっと読む）

【課題】表示装置の形状に拘束されることなく、表示装置と撮像装置との相対位置を簡易に算出することができ、この結果、表示装置の表示方向と撮像装置の撮像方向とが一致するように両者の相対位置を調整する作業も簡易に実行することを課題とする。
【解決手段】撮像装置によって同一の撮像方向から焦点が異なる複数の態様で表示装置の表示面を撮像して得られた複数の画像から、表示面に設定された複数の領域に対して焦点が適合している画像を複数の領域ごとに検索し、検索された複数の画像を用いて、実空間における複数の領域それぞれの位置を算出し、当該位置から表示装置における表示方向と撮像装置における撮像方向との相対位置を算出し、算出された表示方向と撮像方向との相対位置を用いて、前記表示方向と撮像方向が一致するように表示装置と撮像装置との相対位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】被写体が動作している場合においても、適切な異常検出を行うこと。
【解決手段】被写体４０の正常動作時に撮像された画像のフレームごとに、被写体４０の動作部分を含む領域がマスク領域として設定されている。マスク領域は、画像のフレームごとに設定されているため、被写体の動作に合わせて時間的に変化するものである。そして、異常検出装置３０が、マスク領域以外の領域に対して、つまり被写体４０の動作部分ではない部分に対して、フレーム同期がとれた計測画像と参照画像との間の差分を計算して異常検出を行う。このように、被写体４０の動作部分に対しては差分計算を行わないため、被写体が動いたことによって差分計算の誤差が発生することを防止することができる。したがって、被写体が動作している場合でも、適切な異常検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 外観検査の精度を向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】 予め、基準となる製品を撮影して取得した画像データを分割し、所定の形式で変換したファイルのサイズを取得しておく。検査対象の製品を撮影した画像を分割し、おなじ形式で変換する。基準製品のファイルサイズと、検査対象製品のファイルサイズとを比較し、差分が所定値以上であれば、不合格の可能性有りと判定する。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の画素と、前記表示面の画素との２次元座標上の対応関係を正確に把握できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】画像取り込み手段３１は、ＣＣＤカメラ２による撮影画像を取り込む。対応関係算出手段３２は、画像取り込み手段３１により取り込んだ画像に基づいて、ＣＣＤカメラ２の撮像素子の画素と、表示面１Ａの画素との２次元座標上の対応関係を算出する。欠陥抽出手段３３は、ＣＣＤカメラ２および画像取り込み手段３１により取り込んだ点灯状態での表示面１Ａの画像と、対応関係算出手段３２により算出された上記対応関係とを用いて、表示面１Ａの欠陥を抽出する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】ウェーハ上に形成されたアレイ領域のための検査領域のエッジを識別する方法、及び／或いは、アレイ領域内で検知された欠陥をビニングする方法が提供される。ウェーハ上に形成されたアレイ領域のための検査領域のエッジを識別する一方法は、差分画像の値を、アレイ領域の内側にあることが知られている位置からアレイ領域の外側にあることが知られている位置までの位置の函数として決定することを含む。この方法は、亦、さらにアレイ領域の内側に最も近接し、検査領域のエッジの位置としてのしきい値より大きな値を持つ、位置を識別することを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥の密集度を、少ない演算量で容易にかつ高い精度で推定する。
【解決手段】液晶パネル等の検査対象物の表面の欠陥の密集度を測定する欠陥検査方法及び欠陥検査装置である。検出された複数の欠陥に対して、各欠陥を中心とする単位領域を特定してその領域全域を単位値に設定すると共に、前記単位領域が重なる部分は前記単位値を加算して設定し、当該単位値の加算値によって、その重なる部分を中心とする単位領域内の欠陥数を判定する。前記単位領域内の欠陥数がしきい値を超えたか否かによって前記検査対象物の良否を判定する。前記単位領域は、各欠陥を中心にした円で構成する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物上の線状欠陥を高精度に検出することができる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】ステップＳ３０１では、検査対象物を撮像した画像の所定方向に並んだ各画素の画素値の加算値を算出する。ステップＳ３０４では、画像の所定方向に並んだ各画素の画素値の一様性を示す指標値である標準偏差値を算出する。ステップＳ３０８では、標準偏差値に基づいて加算値を補正する。ステップＳ３０９では、補正後の加算値と閾値を比較した結果に基づいて、検査対象物上の線状欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）