【課題】撮影環境からの外乱を受ける場合、および抽出対象領域とそれ以外の領域との間の色属性の差が相対的に小さい場合のいずれであっても、目的とする領域を正確に特定することが可能な画像処理装置および画像処理方法を提供する。
【解決手段】座標点Ｇ１は相対的に原点Ｏから離れた位置にある一方、座標点Ｇ２の各々は相対的に原点Ｏに近い位置にある。そのため、それぞれの座標軸において、抽出対象領域を定義するための上下限値をそれぞれ設定することで、しきい領域を設定することができる。すると、このしきい領域外に存在する座標点Ｇ２に対応する画素を、しきい領域内に存在する座標点Ｇ１に対応する画素から区別することができる。 （もっと読む）

【目的】フォトマスク上のゴミ等の異物を高感度で検出するフォトマスク検査方法を提供する。
【構成】表面に第１の領域と第１の領域より検査光に対して高い反射率を有する第２の領域を備えるフォトマスクの検査方法であって、フォトマスクの反射画像を取得し、この反射画像について、第１の領域の反射強度以上の画素値を有する画素の画素値を前記第１の領域の画素値に書き換える処理を行ったアンダーシュート画像を作成し、このアンダーシュート画像と底上げした凹型カーネルとの差の二乗和から成るＳＳＤ（Ｓｕｍ ｏｆ Ｓｑｕａｒｅｄ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ）画像を作成し、このＳＳＤ画像にスムージング処理を行った局所暗部強調画像を作成し、この局所暗部強調画像と所定の閾値との比較により異物を検出することを特徴とするフォトマスク検査方法。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの欠陥検査方法では、基準となるパターンの画像データを膨張・収縮といった操作を行い、許容できる最大の寸法と最小の寸法を有するマスタパターンを作製し、被検査物から得た画像データをこのマスタパターンと比較することで欠陥を発見する。このマスタパターンを作製する膨張・収縮という画像処理においては、画素毎にその周囲の画素を加減する処理が行われるが、様々な線幅が含まれる基準パターンの場合は線幅の比率によって一定の割合で膨張・収縮することが困難であった。
【解決手段】基準パターンに属する画素に背景からの距離データを付与し、周辺の画素に自分より大きな距離データがなくなるまで画素を削除し、基準パターンの骨格を代表する骨格パターンを作製する。この骨格パターンに属する画素が有する距離データに所定倍率をかけた範囲にある画素をマスタパターンとする。 （もっと読む）

【課題】検査対象の画像における特定方向のパターンを除去することにより、欠陥の誤検出を防止する。
【解決手段】検査対象となるパターンを有する基板１１を撮像して元画像５１を得る撮像工程Ｓ１と、元画像５１を、基板１１のパターン方向の成分を用いて平均化して平均化画像５２を生成する指向性平均化処理工程Ｓ２と、元画像５１と平均化画像５２との各画素の差分を算出して差分画像５３を生成する差分処理工程Ｓ３と、差分画像を２値化した２値化画像５４を生成する２値化処理工程Ｓ４と、２値化画像５４から基板１１の欠陥を判定する欠陥判定工程Ｓ５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板のパターン形成面の下地層の影響を低減した回路パターン形状の良否を判別することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】繰り返しパターンが形成された基板１０の欠陥を検査する欠陥検査装置２０は、対物レンズ９を含み、対物レンズ９を介して基板１０に形成された繰り返しパターンに光源１からの光を照射する照明光学系２１と、繰り返しパターンに起因して生じた複数次数の回折光による、対物レンズ９の瞳面の像を検出する検出光学系２２と、得られた瞳像から基板１０の繰り返しパターンの欠陥を検出する検出部２３と、を有し、検出部２３は、第１の波長の光による瞳像を第１の波長とは異なる第２の波長の光による瞳像の輝度値を用いて補正し、補正された輝度値から基板１０の繰り返しパターンの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を含む可能性がある検査対象であっても、高精度の検査を実現する。
【解決手段】画像検査装置は、検査対象を撮影するＣＣＤカメラ３と、検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部４０３と、輪郭抽出部４０３によって得られた２値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを１つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理部４０４と、ラベリング処理部４０４で抽出された連結した輪郭の数を数える計測部４０５と、計測部４０５で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定部４０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターン上に存在する凹み状欠陥と突起状欠陥を識別する方法を提供する。
【解決手段】繰返しパターンを有する基板を撮像して得られる濃淡画像中に含まれる欠陥を識別する方法であって、注目画素と代表的な繰返しピッチ分だけ離れた比較画素群の輝度を比較演算する比較演算処理を行う事により、パターン背景が除去された比較処理画像を取得し、該比較処理画像に２値化処理を施して明欠陥および暗欠陥の２値画像を得、得られた明欠陥２値画像と暗欠陥２値画像に膨張処理を施し、前記膨張処理を行った２つの画像のＡＮＤ演算処理を行い，前記ＡＮＤ演算処理を行ったＡＮＤ演算処理画像から凹み状欠陥と突起状欠陥を識別することを特徴とする欠陥識別方法。 （もっと読む）

【課題】表面に錐形状を有する製品に対し、迅速かつ容易に検査を行える検査装置を提供する。
【解決手段】一方の面に少なくとも１以上の錐形状の突起部分を有する平板状の半透明の試料（１０１）の検査装置であって、
前記試料に対し、前記試料の表面に平行な方向から光を照射する第１の光照射手段（１０４）と、
前記第１の光照射手段に対向する方向から光を照射する第２の光照射手段（１０４）と、
前記試料を撮像する撮像手段（１０３）と、
前記撮像手段と前記試料との間の距離を測定する距離測定手段（１０５）と、
前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段（１０７）と、
前記撮像手段により撮像された画像データを処理する画像処理手段（１１０）と、
前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段（１１１）と、
を有することを特徴とする検査装置。。 （もっと読む）

【課題】シートボードの表裏の目立たない欠陥の検出を、従来の自動検出方法に代え、あるいは、これに加え、モニターを介した目視観察を行なうことによって、簡単且つ精確に行なうことを可能にする、シートボード検査装置における画像信号処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】背景色がほぼ一定のシートボード５を移動させつつラインセンサカメラ１、２により撮像し、撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニター９、１０にて映像化し、モニター９、１０の画像を目視して欠陥を検出することを可能にするためのシートボード検査装置における画像信号処理方法であって、撮像信号の処理は、背景色の最多階調信号に近い階調信号部分を強調する処理である。 （もっと読む）

【課題】光学素子の透過波面の測定と欠陥の測定とを同時に行えるようにする。
【解決手段】比較対象としての基準レンズ６を透過した光束と、測定対象としての被検レンズ７を透過した光束とを干渉させ、発生する干渉縞５０から被検レンズ７の収差量を測定する装置１を用いて、同時に被検レンズ７の欠陥を測定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の搬送速度に変動が生じても、欠陥を確実に検出する。
【解決手段】搬送中のフイルムを受光器により撮像する。撮像により得られるフレーム画像６０にハフ変換を施し、直線６２を検出する。直線６２のうち、フレーム画像の中心Ｃ１に最も近い中心直線６２ａを特定する。中心直線６２ａと交差する直線の交点６７を求める。求めた交点６７の座標を用いて、Ｘ軸方向の隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＹ軸方向の隣接交点間距離Ｑ１〜Ｑ１５を求める。隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＱ１〜Ｑ１５に基づいて、比較ピッチＸｐ，Ｙｐを求める。フレーム画像６０上の指定画素とその指定画素から比較ピッチ分Ｘｐ，Ｙｐだけ離れた比較画素を特定する。指定画素及び比較画素の濃度値に基づき、指定画素について差分処理を行う。フレーム画像６０の画素の全てに対して差分処理を行うことにより、フレーム画像６０からメッシュ部６３が除去される。 （もっと読む）

【課題】表示デバイスの線状欠陥評価を精度良く行うことができる表示欠陥評価方法を提供すること。
【解決手段】線状欠陥検出方法は、表示デバイスの撮像画像を取得する撮像画像取得処理工程Ｓ１と、撮像画像に検査対象領域を設定する検査領域設定処理工程Ｓ２と、撮像画像から高周波成分と線状欠陥成分を除去した差分画像を作成して撮像画像から差分する差分処理工程Ｓ３と、差分処理画像から高周波成分を除去する平滑化処理工程Ｓ４と、平滑化処理画像で各ピクセルの輝度データを縦方向および横方向に積算し、各方向のプロファイルデータを作成する１次元積算処理工程Ｓ５と、各プロファイルデータに対して移動平均処理を行う移動平均処理工程Ｓ６と、移動平均処理後のプロファイルデータから隣接する各ピクセルのデータの差分値を求め、差分値と閾値とを比較して変化が大きい箇所を抽出して線状欠陥として検出する欠陥検出処理工程Ｓ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】精度よく欠陥検出を実施する欠陥検出装置、および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置１は、検査対象物Ｘを撮像して撮像画像を取得する撮像部３と、撮像画像を複数の検査領域に分割する画像分割手段と、各検査領域の標準偏差を演算する標準偏差演算手段と、標準偏差に基づいて検査対象の検査領域を抽出する影部抽出手段と、検査領域に対して、影方向に沿った走査方向を設定する影方向判定手段と、走査方向に沿う各検査対象画素の輝度変化量を演算するとともに、この輝度変化量が所定の欠陥閾値以上となる検査対象画素を欠陥として検出する欠陥検出手段と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】線形状物の反射光を取り込んで作成した画像データから背景の影響を受けずに線形状物のみを正確に検出する線形状物検出装置を提供する。
【解決手段】照明１２の光源により線形状物１１に照明光（入射光ｉ）が照射され、線形状物１１で反射された反射光ｊをカメラ１３で取り込んで画像データｖｄが生成される。画像データｖｄは、濃淡値で表した濃淡画像データｖｅとして濃淡画像データ記憶部１５に記憶され、濃淡画像データｖｅに基づいて濃淡プロファイル作成部１６で濃淡プロファイルｖｐが作成され、濃淡プロファイルｖｐに基づいて、線形状物検出部１７で線形状物１１の特徴ｖｃを持つ部分が線形状物１１として検出される。線形状物１１は、検出結果結合部１８で結合され、線形状物１１が軌跡として検出される。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイの表示画面に生じる輝度ムラを、表示画面の背景輝度や画面サイズの影響を考慮しつつ、しかも発生位置に応じて、人間の視覚特性に合わせて定量評価する。
【解決手段】ディスプレイの表示画面の輝度分布情報を取得し、この輝度分布情報と該輝度分布情報の背景輝度との差分から求めた輝度変化量に対する背景輝度との比を表すコントラスト画像を生成する。コントラスト画像を２次元フーリエ変換した２次元フーリエスペクトルに、背景輝度または表示画面のサイズの少なくともいずれかに応じて設定され人間の視覚特性に準じたコントラスト感度関数を乗算し、その結果を２次元フーリエ逆変換して輝度ムラ成分の強度が輝度情報に含まれる評価用２次元画像を生成する。この評価用２次元画像の輝度情報に基づいて輝度ムラを定量評価する。 （もっと読む）

【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 （もっと読む）

【課題】複雑な立体形状の羽根車の外観を検査する際に、誤検出が少なく検査精度が高く、形状が異なる多品種の羽根車の検査に短時間で対応することが可能である、外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となる羽根車の画像に所定の画像処理を施すことで、照明の不均一となり易い部分を非検査領域として不透明化し検査領域を透明化したマスク画像Ｂを作成し、該マスク画像Ｂを基準となる羽根車の画像に重ねたテンプレート画像を作成しておいて、羽根車１に照明光を照射して撮像した原画像Ａに前記マスク画像Ｂを重ねた合成画像Ｃ（検査用画像）と前記テンプレート画像を画像処理することで、羽根車の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、被検査物の撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、その工程で得られた各画素の欠陥強調値に基づいて欠陥を検出する欠陥検出工程を有する。欠陥強調処理工程は、検査対象画素を順次選定する検査対象画素選定工程ＳＴ２１と、検査対象画素の周囲に所定距離離れて複数配置された比較対象画素を、複数の比較対象画素群に分けて設定する比較対象画素群設定工程ＳＴ２２と、比較対象画素群の各比較対象画素と検査対象画素の各輝度値の差である輝度差データを求め、その値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める最小輝度差算出工程ＳＴ２３と、比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
製品の光学検査時に異物の影響を低下させるために、表面全体を検査するタバコ加工産業の製品の光学検査をするためのコンパクトな構造の装置を提供する。
【解決手段】
少なくとも１つの画像検出装置（５）によって、少なくとも１つの製品（３）の少なくとも一部の少なくとも１つの画像（３１）が記録される、製品（３）が少なくとも１つの画像検出装置（５）の傍らを移送される少なくとも１つの検査ゾーン（９）内でタバコ加工産業の製品（３）の電磁検査、特に光学検査、をするための方法と、分析装置（２６）によって少なくとも１つの検査ゾーン（９）内で少なくとも１つの画像検出装置（５）の傍らを移送されるタバコ加工産業の製品（３）の電磁検査、特に光学検査、をするための装置（１）と、タバコ加工産業の機械において、製品の少なくとも一部の個々の画像（３１）が、製品（３）と画像検出装置（５）の間に存在する異物（１１，１２，１３，１４）の少なくとも１つの異物サイン（２１，２２，２３，２４）の存在を点検される。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗装の外観を数値化する。
【解決手段】メタリック塗装数値化装置は、標準的試料又は評価対象の試料のメタリック塗装面を拡大する顕微鏡、拡大されたミクロ画像を撮像する顕微鏡デジタルカメラ、ミクロ画像から第１の特徴量を抽出するミクロ画像解析手段４１、標準的試料の第１の特徴量を記憶するデータベース（記憶手段４０）、データベースに記憶された第１の特徴量と評価対象の試料から抽出された第１の特徴量とを比較して、評価対象の試料を判別する判別手段４３を備える。第１の特徴量としては、メタリック塗装中の金属光沢の微小片であるフレークのサイズ、フレークの密度、フレークの浮き沈みの度合いを示す評価値、及びフレークの表面状態を示す評価値のうちの少なくとも１つが採用される。 （もっと読む）