【課題】欠陥検査システムおよび方法において、基板の各レイヤーでの欠陥検査で、それより下層レイヤー、すなわち前の製造工程で形成された欠陥が検出される場合でも、下層レイヤーの欠陥を簡素かつ容易に除去し、欠陥検査の効率、精度を向上することができるようにする。
【解決手段】欠陥検査システムは、被検体の欠陥抽出を行って、抽出された欠陥の欠陥情報および位置情報を検査結果として取得する検査部３０と、検査結果を、各検査実行時の直前の製造工程の工程順番情報とともに保存する結果保存部２０と、結果保存部２０に保存された欠陥の位置情報を比較して略同一位置の欠陥を重複欠陥群として検出し、同一被検体内の重複欠陥群において工程順番情報を比較して後工程側の重複欠陥をすべて削除し、検査結果を補正する結果比較部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の良否判定を容易にすることによって製造工程全体のスループットを向上させることができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】撮像部3は被検査対象物を撮像し、撮像情報を生成する。画像取得部4は、撮像情報に基づいて被検査対象物の画像を生成する。欠陥抽出部5は、生成された画像を用いて被検査対象物上の欠陥を抽出する。欠陥検査部6は、抽出された欠陥に対して検査を行い、検査条件毎の検査結果を生成する。基板検査結果生成部10は、欠陥に関する情報に基づいて検査条件毎の検査結果を重み付けした上で検査条件毎の検査結果を統合する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも少ない検査タクトで、表面異物と裏面異物と内部異物と不良画素とを識別することが可能な検査装置を実現する。
【解決手段】検査装置１００は、表面異物に対応する領域を検出する表面異物検出部１２２と、表面異物、裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかに対応する領域を検出する欠陥候補検出部１２３と、検出された領域を参照して、液晶パネルにおいて裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかが存在する部位を特定する欠陥部位特定部１２５とを備えている。不良画素判定部１２７と裏面異物判定部１２８とを含む画像処理部１２０は、裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかに対応する欠陥部位を識別すればよいので、検査タクトが少なくてすむ。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、従来の検査方法を用いて、簡単に表面付着異物の欠点を判定し、表面付着異物は欠点として扱わないようにデータ処理する検査データ処理装置及び検査データ処理方法を提供することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理装置１であって、
光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして処理する欠点情報作成部６を備える。 （もっと読む）

【課題】容易な操作で的確にデータ処理に係るパラメータを調整することが可能なデータ処理装置、画像処理装置、パラメータの調整方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 画像処理に係るパラメータ値の調整を行うにあたり、目標データ作成部１４０がオペレータから結果データＤ２に対する修正指示を受け付けて目標データＤ３を作成する。続いてパラメータ調整処理部１７０が、目標データＤ３と所定の許容範囲で一致するような結果データＤ２が得られるパラメータ値を検出して、調整値に決定する。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の撮像系において、共通の閾値設定で安定した検査ができ、各カメラでのゲイン調整を不要とした欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】 所定の被検査エリアを有する検査対象を、複数のエリアセンサにより撮像した画像情報を処理し、前記エリア内の輝度変化から計算した特徴量に基づいて欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記複数のエリアセンサ間の同一欠陥に対する特徴量の差を補正する、特徴量撮像系間補正手段を前記エリアセンサ毎に備える。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板を検査する際の、欠陥の誤検出の低減に関する。
【解決手段】被検査対象の電気回路デバイス上の少なくとも１つの領域の光学検査出力を提供する光学検査手段と、少なくとも１つの領域のアルゴリズム検査出力を提供するアルゴリズム検査手段であって、光学検査出力に基づいて、オペレータに対して、少なくとも１つの領域を視覚的に認識可能に表示するディスプレイと、検知されたオペレータの反応とアルゴリズム検査出力との間の不一致の指標を提供するためのディスプレイコントローラとを備える、電気回路デバイスのための光学検査システム。 （もっと読む）

【課題】外観装置スペースの拡大や、余分な設備投資を必要としない板状体の板状体の検査方法、検査装置、およびクリーニングブレードを提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、
投光装置１５と、１つの撮像装置１３と、記憶装置および処理装置１６とを有する。投光装置１５と撮像装置１３とは対向して配置されており、これらの間の撮像範囲に透光性を有する板状体１２が配置される。投光装置１５により光が照射された状態の板状体１２を１つの撮像装置１３が撮像する。１つの撮像装置１３は板状体１２のエッジを含めるようにして撮像する。処理装置は、１つの撮像装置１３が撮像した画像と、記憶装置に予め記憶しておいた板状体１２の寸法の基準となるゲージの画像とを比較して板状体１２の寸法を検査するとともに、１つの撮像装置１３が撮像した画像中の影を板状体１２の欠陥として判定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出、特にフォトリソグラフィープロセスに使用されるマスクの欠陥検出のためのシステム、方法およびコンピュータプログラム製品を提供する。
【解決手段】（i）オブジェクトの第１の画像のテスト済み画素に対応する第２の画像の第２の画素を検索するステップであって、該第１の画像および第２の画像は異なる取得方法を使用して得られたステップ１５０と、（ii）該第２の画素の隣接部分が第３の画素の隣接部分に類似するような該第２の画像の該第３の画素を探すステップ１６０と、（iii）該第３の画素に対応する該第１の画像の第４の画素を検索するステップ１７０と、（iv）該テスト済み画素と該第４の画素を比較するステップ１８０とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】異方性導電膜を用いて透明基板に実装した電子部品の実装状態の自動的な良否の判定を、確実に行う。
【解決手段】電子部品の実装状態検査方法において、異方性導電膜を介して電子部品が実透明電極に実装された場合に、透明基板に設けられている電極に形成された凸状部を強調する微分フィルタ処理を施す工程（Ｓ４）と、微分フィルタ処理により強調された凸状部と予め用意してある圧痕モデルとをパターンマッチングし、マッチング率が設定値以上である凸状部を圧痕候補として抽出する工程（Ｓ５）と、圧痕候補として抽出された凸状部の濃淡値の差が設定値以上である場合に凸状部を圧痕であると判定する工程（Ｓ６、Ｓ７）と、圧痕であると判定された個数をカウントする工程（Ｓ９）と、圧痕としてカウントされた数が設定値以上であるか否かにより透明基板への電子部品の実装状態の良否を判定する工程（Ｓ１１、Ｓ１２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】低倍率の画像であっても高倍率の画像を計測した場合に匹敵する精度の計測結果を得る。
【解決手段】同一の評価対象パターンについて得られた異なる検査画像から検出されたパターン輪郭同士で位置合せを実行し、位置合せされたパターン輪郭同士を重ね合わせて単一の合成輪郭を生成し、得られた合成輪郭に対して計測を実行する。 （もっと読む）

【課題】全数検査を可能とすることができる刻印検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ６３を移動しながらレーザー装置３２からのスリット光３１をワーク１１の幅方向へライン状に照射しつつ、ワーク１１の刻印面２に照射されたスリット光３１をＣＣＤカメラ４１で撮像して制御装置７１に取り込む。ステージ６３の移動位置とスリット光３１の撮像位置１０１と受光強度とを関連付けて記憶装置に記憶するとともに、ステージ６３の移動位置と撮像位置１０１とに基づいて刻印面２の三次元情報を演算して前記記憶装置に記憶する。三次元情報を受光強度に応じて平滑化した後、三次元情報が有する深さデータの変化を、深さに応じて濃くなる濃度の変化に変換して濃度画像１１１を生成し、この濃度画像１１１を記憶装置に記憶するとともにモニターに表示する。 （もっと読む）

【課題】 視野に収まらない大きな異常を見逃さずに検出できる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】 物体の表面の一部領域を視野の中に設定して該一部領域の画像を取得する取得手段（Ｓ１,Ｓ２）と、取得した画像に基づき、物体の表面において視野からはみ出す大きさの異常の有無を判断する判断手段（Ｓ４）とを備える。 （もっと読む）

【目的】参照画像と光学画像との高精度な位置合わせを行う方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の試料検査装置１００は、光学画像と参照画像との仮の合わせ位置での各画素における画素値の差分の絶対値が閾値Δより小さいかどうかを判定する差分判定部３０８と、差分判定の結果に基づいて求められる最小二乗法による正規行列を用いて位置ずれ量を演算する最小二乗法位置ずれ演算回路３２２と、位置ずれ量分ずらした位置に光学画像と参照画像との合わせ位置を補正する位置補正回路３５０と、光学画像と参照画像とを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面が多数の面で形成されている場合、各面の表面形状に関係なく、各面に発生した欠陥、特に、面と面とで形成される角部に発生した欠陥を正確に検出できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】複数の面で表面が形成された被検査体（歯車2）に、光を照射する照明手段4と、被検査体2の表面のうち平面ではない面の一部が表面形状に沿った輪郭として現れて撮像される位置で、被検査体2を撮像する撮像手段51,52と、撮像手段51,52で撮像した撮像画像を画像処理して、被検査体2の平面ではない面での欠陥を検出する画像処理手段7と、照明手段4の発光部の近くに配置し、特定の振動方向の光波を通過させる第一偏光フィルタ61と、撮像手段51,52の受光部の近くに配置し、第一偏光フィルタ61と振動方向が同方向の光波を通過させる第二偏光フィルタ62とを備える。 （もっと読む）

【課題】アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および検査装置が備える位置検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネルモジュール１１に位置検出のためのアライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる制御部７と、アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて、その表示用パネルの位置を検出する画像処理部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】保護膜が貼り付けられた状態で、表面の詳細な検査が可能な偏光板の検査方法を提供する。
【解決手段】偏光板の検査方法は、ＣＣＤカメラを用いて偏光板全体にピントを合わせて、ＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄ１を測定する工程を含む。画面上にて画像を分割して、ピントがずれている分割領域Ｒｘを特定する工程を含む。この分割領域Ｒｘにピントを合わせてＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄｘを測定する工程を含む。距離Ｄｘと距離Ｄ１との差により分割領域Ｒｘにおける欠陥の有無を判定する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥絵素の輝度値を算出することにより、目視感度と相関のとれた高い精度の欠陥検出を行う検査装置、輝度算出装置及び輝度算出方法を提供する。
【解決手段】異常輝度値を示す撮像素子が正常な絵素を撮像していた場合の輝度値である正常輝度値を算出する正常輝度推定部１８と、異常輝度値の原因である欠陥絵素開口部の、或る撮像素子の撮像範囲内における面積とその撮像範囲の面積との比である欠陥絵素率を算出する欠陥絵素率算出部２０と、異常輝度値と正常輝度値との差に欠陥絵素率の逆数を乗じ、得られた値に、欠陥絵素と同色の正常な絵素の輝度値である標準輝度値を加算することにより欠陥絵素開口部の輝度値を算出する輝度補正部１９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】シミ欠陥を誤検出しないで高精度に検出できるシミ欠陥検出方法及び装置の提供。
【解決手段】本発明のシミ欠陥強調フィルタは、点対称位置でセットとされた２つの輝度比較画素の対象画素Ｏに対する輝度差の平均値などに基いて、輝度比較画素Ｓ１〜Ｓ３２で囲まれたシミ欠陥を強調する。ここで、パネル画像領域Ｒｐの内部および外部に当該フィルタが跨る場合を第２条件および第３条件により判断し、このような場合、セットの輝度比較画素のうち対象画素Ｏと同じ領域にある方の対象画素Ｏとの輝度差をシミ欠陥強調のための強調算出値とする。これにより、パネル画像領域Ｒｐ内外の輝度差に起因してシミ欠陥有りと誤検出することを防止できる。そして、このような複数の条件付けにより、パネル画像領域Ｒｐのみを撮像画像から抽出する処理などを不要にできるので、処理の簡略化、検査時間の短縮化が図られる。 （もっと読む）

【課題】画像欠陥検査において、画像のエッジ部分を欠陥として検出してしまうことを防止しつつ、他の部分を高い欠陥検出感度で検査することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明の画像欠陥検査装置４０は、基準画像データＤ１から生成されたエッジ画像データＤ５に基づいて、ピクセル毎にマージン値を設定する。そして、ピクセル毎に異なるマージン値を使用して画像欠陥検査を行う。このため、欠陥の有無を判定する際には、エッジ部分Ａ３と他の領域Ａ１，Ａ２とで異なるマージン値が使用される。したがって、エッジ部分Ａ３を欠陥として検出してしまうことを防止しつつ、他の部分Ａ１，Ａ２を高い欠陥検出感度で検査することができる。 （もっと読む）