【課題】欠陥の検査時間を短縮する欠陥検査装置等を実現する。
【解決手段】本発明の検査装置１は、欠陥部位検出部４による欠陥部位候補の検出と、欠陥部位色特定部５による欠陥部位候補の色の特定とに用いられる検査パターンは、同一である。また、欠陥部位色特定部５により検出される輝度分布は、表示パネル７の異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いたものである。このため、この輝度分布には、表示パネル７の複数色の絵素の輝度値が含まれる。このため、表示パネルの各色の絵素ごとに、輝度分布を検出する必要がない。従って、欠陥の検査時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】点線状又は様々な方向に延びる物体の欠陥又は画質欠陥を精度良く検出することを可能にする。
【解決手段】制御部は、階調値が輝度成分によって表される画像データにおいて、所定の方向に延びる画素群において、輝度分布を求める（ＳＢ３）。制御部は、各々の画素群の輝度分布において、輝度成分が最小値の画素を抽出し（ＳＢ４）、これらのうち角度領域に別の抽出画素がある注目画素を抽出する（ＳＢ５）。制御部は、回帰直線を求めて残差が大きい抽出画素を除去すると（ＳＢ６〜ＳＢ８）、これらを欠陥に相当する画素として抽出する（ＳＢ９）。 （もっと読む）

【課題】エラーとなり得る情報記録媒体の表面の欠陥を精度良く検出可能な表面欠陥検査方法および表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】表面欠陥検査装置１の微分干渉顕微鏡３とＣＣＤカメラ４で検査対象物Ｍの情報記録媒体表面の微分干渉画像を撮像する。画像処理装置５では、この微分干渉画像に対して欠陥を含むレファレンスサンプルの画像例に基づく欠陥候補スライスレベルを設定し、微分干渉画像から欠陥候補を選定する。そして、選別された各欠陥候補に対して、その面積がエラーとなる最小サイズの欠陥の面積に基づく欠陥面積判定値以上のものを真にエラーに対応する欠陥として抽出する。 （もっと読む）

【課題】コアのスロットに挿入されたスロット紙の挿入状態を簡易な方法で検査するためのスロット紙検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明のスロット紙検査方法は，少なくとも１辺が折り曲げられたスロット紙１を，その折り曲げ部５が外側を向くように湾曲させてコア２のスロット３に挿入した挿入状態の良否を検査する検査方法であって，コア２の端面８上におけるスロット紙１の本体部４と折り曲げ部５とがなすＶ字部分Ｖａ，Ｖｂを，コア２の端面８と平行な複数の走査線に沿って走査して，各走査線とスロット紙１との交点位置を把握し，その交点位置の配置に応じて，該Ｖ字部分Ｖａ，Ｖｂの良否を判断するものである。 （もっと読む）

【課題】塗装面に塵埃等の異物が付着している場合であっても、塗装面の不具合の有無を精度良く判定することが可能な塗装面検査装置および塗装面検査方法を提供する。
【解決手段】斜めに紫外線が照射された塗装面１ａの画像である傾斜照射画像１１を撮像し、平行に紫外線が照射された塗装面１ａの画像である平行照射画像１２を撮像し、平行照射画像１２に二値化処理を施して二値化画像１３を生成し、二値化画像１３に膨張処理を施して膨張画像１４を生成し、膨張画像１４に収縮処理を施して収縮画像１５を生成し、傾斜照射画像１１から収縮画像１５を減算した画像である減算画像１６を生成する。 （もっと読む）

【課題】
製品の光学検査時に異物の影響を低下させるために、表面全体を検査するタバコ加工産業の製品の光学検査をするためのコンパクトな構造の装置を提供する。
【解決手段】
少なくとも１つの画像検出装置（５）によって、少なくとも１つの製品（３）の少なくとも一部の少なくとも１つの画像（３１）が記録される、製品（３）が少なくとも１つの画像検出装置（５）の傍らを移送される少なくとも１つの検査ゾーン（９）内でタバコ加工産業の製品（３）の電磁検査、特に光学検査、をするための方法と、分析装置（２６）によって少なくとも１つの検査ゾーン（９）内で少なくとも１つの画像検出装置（５）の傍らを移送されるタバコ加工産業の製品（３）の電磁検査、特に光学検査、をするための装置（１）と、タバコ加工産業の機械において、製品の少なくとも一部の個々の画像（３１）が、製品（３）と画像検出装置（５）の間に存在する異物（１１，１２，１３，１４）の少なくとも１つの異物サイン（２１，２２，２３，２４）の存在を点検される。 （もっと読む）

【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、欠陥の散乱光像を明確に捉えることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥検査装置１においては、ステージ３によって支持されたガラス基板Ｓの内部に透過照明装置５によって光が照射され、ガラス基板Ｓの内部がカメラ６によって撮像される。このとき、ガラス基板Ｓの内部に照射される光の照射方向が変化するように制御装置８によって透過照明装置５が制御される。これにより、内部欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、内部欠陥による散乱光を強くすることができ、その内部欠陥の散乱光像を明確に捉えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パターン検査において、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらを低減し、ノイズや検出する必要のない欠陥に埋没した、ユーザが所望する欠陥を高感度、かつ高速に検出するパターン検査技術を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、並列に動作する複数のＣＰＵを実装した処理システムを用いて構成される画像比較処理部１８を備えて、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらの影響を低減し、高感度なパターン検査をパラメータ設定なしで行えるようにした。また、比較画像間で各画素の特徴量を算出し、複数の特徴量を比較することにより、輝度値からでは不可能は欠陥とノイズの判別を高精度に行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】機能性材料層の平坦性を正確かつ容易に判定できる有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置を提供する。
【解決手段】透明基板上に形成された透明電極層と、透明電極層の上にパターン配列された隔壁及び透明機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）表示装置の中間製品の検査装置であって、中間製品を載置しＸＹ平面上を移動させる試料移動手段と、中間製品の透明機能層側へ可視光を照射する光照射手段と、光照射手段からの可視光を撮像領域全体に均一に照明するための撮像用照明光学系と、中間製品からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段と中間製品との距離を測定する距離測定手段と、距離測定手段により得られた距離の値をもとに焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、撮像された画像データを処理する画像処理手段とを有することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置。 （もっと読む）

【課題】透明ラベルの製造が容易で且つ印刷する色の影響を受け難いラベル検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、透明樹脂製容器１１の外周に装着した透明ラベル９の損傷を検査するラベル検査方法であって、透明ラベル９は、紫外線の照射により透明樹脂製容器１１と異なる強度の蛍光を発する透明基体フィルムに印刷して形成してあり、透明樹脂製容器１１に装着した透明ラベルに向けて紫外線照射部３から紫外線を照射してカメラ５で得た蛍光画像の明暗を、制御部７で透明ラベル９に損傷がない場合の明暗と比較して透明ラベル９の損傷を検知するものである。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子と光学部品の組み立てラインで異物の有無を検査可能であると共に、異物が混入した組み立て品を後工程に送らない。
【解決手段】光学部品２の接合面２ａを撮像する第一撮像カメラ１５と固体撮像素子１の接合面１ａを撮像する第二撮像カメラ２８とを備えている。調整台１３に載置した固体撮像素子１に対し、把持機構部３２で把持した光学部品２をＵＶ樹脂等の接着剤で仮硬化状態にして固体撮像素子１と接合する。この状態で、固体撮像素子１と光学部品２との接合面を固体撮像素子１で撮像する。得られた各画像データは記憶手段４３に記憶し、画像処理部４４で各画素毎の異物により生じる濃淡と分布状況を階調情報と分布情報として検出して予め設定した規定の輝度データとの関係から異物の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート表面の画像データが低分解能の場合でも、微細幅のひび割れを高精度で検出することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成する第一工程と、ひび割れ抽出画像を作成する第二工程と、細線化画像を作成し、該細線化画像に対応するウェーブレット係数から大小２つのウェーブレット係数を抽出するとともに、該２つのウェーブレット係数に対応する相対的に大きなひび割れ幅と小さなひび割れ幅を設定する第三工程と、２つのウェーブレット係数、および、相対的に大きなひび割れ幅と小さなひび割れ幅で構成される第一の関係式に細線化画像に対応するウェーブレット係数を代入してひび割れ幅を推定する第四工程と、を具備する、ひび割れ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】平面に沿って分布した特性をもつ解析対象データが特定の分布形状パターンに類似しているかどうかを評価する分布解析方法および装置であって、様々な要因によって解析対象データが変動したとしても、常に精度良く評価を行えるものを提供すること。
【解決手段】分布形状パターンを、解析対象データを定めた平面に対応する平面を格子状に複数の矩形領域に区画するとともに、各矩形領域毎に、解析対象データの特性値の相対的な大小関係を表すように或る数値範囲内で多値を取り得る濃度値を付与して定義する（Ｓ１０１）。分布形状パターンに類似し、かつ複数の解析対象データの間で生じる変動を反映した代表データを作成する（Ｓ１０２）。解析対象データが代表データに類似している度合いを表す類似度を求める（Ｓ１０３）。この類似度に応じて上記解析対象データが上記分布形状パターンに類似しているかどうかを評価する。 （もっと読む）

【課題】３次元計測に基づく欠陥検出の高精度化および高速化を図る。
【解決手段】欠陥検出処理部１００は、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１を非欠陥点群データ１０１２と欠陥点群データ１０１３とに分類し、欠陥点群データ１０１３が除去された観測点群データ１０１１を使用することで参照点群データ１０１４との位置合わせを行い、その観測点群データ１０１１を参照点群データ１０１４と比較することにより、その観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点を判別し、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１から欠陥点群データ１０１３を検出する。 （もっと読む）

【課題】 例えばラインアンドスペースのような特殊な形状であっても、欠陥を適正に結合して正確に欠陥を検出することが可能な欠陥検出方法を提供すること。
【解決手段】 隣接検出欠陥Ｄ_n の外接矩形を隣接欠陥外接矩形５２として設定する隣接欠陥外接矩形設定工程と、注目欠陥外接矩形５２を拡大することにより、拡大外接矩形５５を得る外接矩形拡大工程と、拡大外接矩形５５と隣接欠陥外接矩形５１、５３、５４との位置が重複するか否かにより、注目検出欠陥Ｄ_n と隣接検出欠陥Ｄ_n-1 、Ｄ_n+1 、Ｄ_n+2 とを結合するか否かを判定する判定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】
レンズに汚れが付着した場合でも欠報を発生させることなく誤報を減らして、安定的に欠陥を検出する手法、及び装置を提供することである。
【解決手段】
フレーム間の欠陥候補位置フレーム座標比較手段に加えフレーム間の欠陥候補位置３Ｄ座標比較手段を有し、同一箇所を最低でも２回以上撮影して、欠陥候補については別のフレームで同一の３Ｄ座標を持つ欠陥候補が存在しない場合に該欠陥候補がレンズ汚れであると判定する欠陥マスク情報生成手段とレンズ汚れ警報生成手段を有する。 （もっと読む）

【課題】外観検査方法及び外観検査装置において、検査対象物の周縁部分が曲面である場合でも、周縁部分を含めて精度の良い欠陥検出を可能とする。
【解決手段】曲面部を含んだ検査対象画像Ｐ０を得て（Ｓ１０１）、これから微分画像Ｐ１を得る（Ｓ１０２）。この微分画像Ｐ１上の各画素から所定の微分値以上となる端部画素を抽出した２値化画像Ｐ２を得る（Ｓ１０３）。各端部画素により連結される領域を端部領域とし（Ｓ１０４）、端部領域において、検査対象物の端側の画素からなる第１の境界線と、対象物の内側の画素からなる第２の境界線を決定する（Ｓ１０５）。各境界線に基づき、端部側の第１の検査領域Ａ１と、内部側の第２の検査領域Ａ２とを決定する（Ｓ１０６）。これら各検査領域Ａ１、Ａ２とにおいてそれぞれ異なる検査条件で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 シリコンウエーハの表面及び内部の欠陥を透過光により検査する際に撮像手段としてエリアセンサカメラを用いると、撮像範囲全体を単位領域に分割して撮像を行うために、均一な撮像条件でかつ高速に撮像することができない。また、電気抵抗率が低いシリコンウエーハでは、赤外光照明の光がほとんど透過せず透過検査が困難である。
【解決手段】 赤外光に感度を有するラインセンサアレイを撮像素子として用いることにより、ウエーハ全体を同一の検査条件で行うことを可能にするとともに検査工程の高速化に対応可能なウエーハ検査装置を実現し、照明手段をウエーハの電気抵抗率に対応して照度を変更可能に構成することにより、低抵抗ウエーハに対しても透過検査を可能にしている。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出を高精度で行う。
【解決手段】検査対象である光透過性フィルム１を搬送するフィルム搬送手段と、光透過性フィルムの外観を撮像する撮像部５と、撮像部で撮像される光透過性フィルムの背後に配された観察用補助部材２と、撮像部で得られた画像を分析して欠陥を検出する演算部６と、上記光透過性フィルムを観察用補助部材の表面に密着させるフィルム密着手段とを備える。上記観察用補助部材は光透過性フィルムが最終製品において貼り付けられる部材とほぼ同一の光反射特性を有している。 （もっと読む）