【課題】液晶パネルの表示画面上の傷を確実に検出することができる液晶パネル検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液晶モジュール１０の表示画面の画像を真上から撮影するＣＣＤカメラ１４と、液晶モジュール１０に対し角度を変えて光を当てるライト１８と、前記角度を変えて撮影した画像を入力する画像取込部１６と、各角度毎の画像を二値化する二値化部２２と、二値化された画像を重ね合わせる合成部２４と、元の画像と重ね合わせた画像を比較し、傷等の不良箇所を検出する比較部２６とからなる。 （もっと読む）

【課題】被検査体に存在する真の欠陥に対応しない画素を欠陥として誤って認定することを防止するとともに、真の欠陥に対応する画素であって第一認定工程において欠陥として認定されなかった画素も欠陥として正しく認定することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】中央処理部７は、被検査画像機億部６の被検査画像とその画像の対応するリファレンス画像記憶部６の画像との画素の階調値の差分を求め、その差分の絶対値が第一閾値αよりも大きいか否かを判定する。中央処理部７は、差分の絶対値が第一閾値αよりも大きい画素を欠陥として認定する。中央処理部７は、欠陥の画素から所定画素数の範囲内にある画素についてリファレンス画像の階調値と被検査画像の階調値との差分を求め、その差分の絶対値が第二閾値βよりも大きいか否かを判定する。中央処理部７は、差分の絶対値が第二閾値βよりも大きい画素をさらに欠陥として認定する。 （もっと読む）

【課題】電子写真用クリーニングブレード等の板状体の内部および表面の欠陥検査を短時間で正確に行う。
【解決手段】１つの撮像装置２１に対して２つの投光装置２２、２３を設ける。これらは、一方の投光装置２３の光が、板状体１０を透過して撮像装置２１に入るよう配置し、他方の投光装置２２の光は板状体１０の表面によって反射させ、その反射光を撮像装置２１が撮像できるよう配置する。板状体１０の透過光および反射光による画像を同時に撮像することで、板状体１０の表面と内部の欠陥を短時間でくまなく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上にパターン露光し半導体装置を製造するための露光装置に用いるマスクパターンの検査装置において、包含関係にある相異なるマスクパターンの対象基板上での包含の検査が出来るマスクパターンの検査装置を提供する。
【解決手段】マスクパターンのデータを入力する入力手段と、得られたマスクパターンについて転写シミュレーションを実施し対象基板上での画像データを得るシミュレーション手段と、入力手段およびシミュレーション手段から、欠陥のあるマスクパターンの対象基板上の画像データと、パターンが包含関係にある他のマスクパターンの対象基板上での画像データを得、両画像データを同一座標について重ね合わせ、欠陥の発生したパターンについて両マスクパターン間の対象基板上での包含距離を求める包含距離算出手段と、パターン間の包含距離が規定値を満足するか否かを判定する包含判定手段と、判定した結果を出力する出力手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 プリント回路基板を検査し、欠陥部分を自動的に修復すること。
【解決手段】 プリント回路基板を自動的に検査及び修復するための装置及び方法は、プリント回路基板を自動的に検査するとともに、修復を必要とする領域の機械読み取り可能な表示を提供する検査機能部を備える。自動修復機能部が、上記機械読み取り可能な表示を用いて、修復を必要とする領域の一部のプリント回路基板を修復する。自動修復再指示機能部は、最初の自動修復作業の後にプリント回路基板を自動的に再検査し、修復を必要とする領域の再指示された機械読み取り可能な表示を自動修復機能部に提供する。 （もっと読む）

【目的】 パターン形状によらずに光学画像と参照画像とを比較する、より信頼性の高い試料検査装置およびその方法を提供することを目的とする。
【構成】 本発明の一態様の試料検査装置１００は、参照画像１０を入力し、入力された参照画像１０の中から検査対象画素を含む第１の画素群と所定の閾値内の階調値を持つ第２の画素群を探索する同一近傍パターン探索回路３１０と、被検査試料の光学画像２０と参照画像２０とを入力し、前記検査対象画素の階調値と探索された前記第２の画素群の検査対象画素に対応する画素の階調値と、前記検査対象画素と前記第２の画素群の検査対象画素に対応する画素とに対応する前記光学画像２０の複数の画素の階調値とを基づいて、所定の確率値を取得する確率演算回路３２０と、かかる確率値を用いて光学画像２０の検査対象画素の欠陥の有無を判定する欠陥判定回路３３０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来プリント基板毎に特別注文により、設計されていた検査装置を用いていたのに対し、画像取り込み装置とデジタル画像処理ソフトウェアを用いて、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）を搭載するクリームはんだ印刷の未はんだを容易に検査できる方法の提供がプリント基板製造現場から求められている。
【解決手段】
デジタルカメラでクリームはんだの印刷状態範囲全体を撮影し、はんだすべき部位を残して他の場所をマスクし、かつ、所定面積以上の部位を選定して残すデジタル処理の後、２値化処理により得られるクリームはんだ印刷画像上のピクセル数から未はんだ部分の有無の判定を行う検査方法及びかかる方法を使用可能とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】自動検査装置によって検査された検査データを活用して目視による検査の効率性を向上させるようにした目視検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板２を目視検査する場合、自動検査装置１０によって検査されたプリント基板２の検査データを格納したデーターベース１７２から不良と判定された検査データを読み出し、この読み出された検査データのうち、不良と判定された部分の画像を第一の画面２４ａに表示するとともに、第一の表示手段２４に表示されたプリント基板２の画像に対応する基準画像を第二の画面２５ａに表示する。また、第一の画面２４ａにプリント基板２の不良箇所を表示する場合、不良箇所にマーキング２４ｂを付して表示を行うようにするとともに、現在、プリント基板全体におけるどの位置を目視検査しているのかを把握できるように全体画像と目視検査している矩形領域２３ａの画像をも表示する。 （もっと読む）

【課題】 粒界のある多結晶半導体ウエハでも、汚れを検出することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】 コンピュータ１０は、表面撮像装置２０および裏面撮像装置４０によって、各面の低角度画像および高角度画像を撮像する。撮像された低角度画像および高角度画像を、多結晶シリコンウエハ２の同じ位置の画素毎に明度差を算出し、算出された明度差が予め定める明度差より小さい位置の画素を、汚れを表す画素候補とする汚れ候補画像データを、各面について生成する。２つの面の汚れ候補画像データを、２つの面が対向する位置の画素毎に比較して、汚れを表す画素候補であるか否かを示すデータが不一致である対向する画素の位置に対応する位置の画素を、不一致画素とする不一致画像データを生成する。不一致画像データが示す画像の画素のうちで、不一致画素からなる領域が予め定める汚れ条件を満たすとき、汚れがあると判定する。 （もっと読む）

【課題】微細回路パターン上における異物と凹凸とを識別し、異物のみを検出することのできる微細回路検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係わる微細回路検査方法は、検査対象となる微細回路を撮像する撮像ステップと、この撮像ステップで撮像された前記微細回路の微分画像に検査領域を設定してラスター走査を行い、所定値以上の微分値を有する画素を欠陥候補点として選定する欠陥候補点選定ステップと、前記欠陥候補点を基準にして所定幅の検査用画素列を設定する画素列設定ステップと、前記欠陥候補点に対して微分値の変化する方向を表す微分方向値を設定する微分方向値設定ステップと、前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定する異物判定ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コンベヤ等の搬送手段により搬送されているペットボトルのネックリング部を少ない台数の撮像装置により撮像し得るようにした疵検査方法及び疵検査装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１により搬送されているペットボトル２のネックリング部３ａを平面視で略１２０度間隔で配置した３台の撮像装置４ａ，４ｂ，４ｃにより撮像し、画像処理装置により画像処理して疵を検出する。 （もっと読む）

【課題】 撮像用カメラの取り外し及び取り付けの工程を無くすことによるメンテナンスの効率化及び輝度変換テーブルを自動的に生成することによる撮像環境や撮像用カメラの階調変換特性の経時変化への対応が可能な画質検査装置を実現する。
【解決手段】 撮像素子、表示装置及び投影装置の欠陥を検出する画像検査装置において、検査対象物である撮像素子、表示装置、若しくは、投影装置の画像を撮像する撮像用カメラと、画像の輝度値を測定する輝度測定装置と、検査対象の交換時又は一定期間ごとの検査装置のメンテナンス時に輝度測定装置から輝度値を取り込んで輝度変換テーブルを生成し、検査時に検査対象物へ検査パターンを出力し、撮像用カメラからの画像データを取り込み、検査対象物に欠陥があるか否かの判断をする画像演算装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査画像に含まれるノイズレベルの検査画像に対する依存性が大きい場合にも、最適な欠陥検出条件で欠陥を検出可能な画像欠陥検査装置、欠陥検査分類、及び画像欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 ２つの検査画像の対応する部分画像のグレイレベル差から欠陥を検出するための欠陥検出条件のパラメータを変えて、複数の欠陥検出条件で検出した検出結果を求めておき、これら複数の検査結果のうちから選んで最適な検出結果を得る。 （もっと読む）

【課題】ウェーハなどの半導体検査装置において、テンプレートマッチングが失敗したとき、なぜ失敗したかが判る情報を提供する。
【解決手段】パターンマッチングのためのテンプレートと呼ぶ予め定められた第一の画像と、そのテンプレートより大きい第二の画像（即ち、被検体の画像）の中からオペレータが、テンプレートと同じ大きさの第三の画像１８０３領域を選択し、第一の画像と第三の画像とのテンプレートマッチングをテンプレートを半透明表示しながら行い、その類似度差分情報を表示する。 （もっと読む）

【課題】
軸を有した農産物におけるつる割れを正確に検出することができる農産物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】
農産物Ｎの軸Ｊ側表面に赤外領域に属する光を照射する照射手段Ｌ２と、該照射手段Ｌ２により光が照射された農産物Ｎを撮像する撮像手段３と、該撮像手段３で撮像した原画像から農産物の軸Ｊ部を粒子解析処理にて抽出する粒子解析処理手段１３と、該粒子解析処理手段１３で抽出された軸Ｊ部の輪郭形状を膨張させて膨張画像Ｊ’を得る膨張処理手段１５と、粒子解析処理手段１３にて得られた画像に対して膨張処理手段１５で得られた軸Ｊ部の膨張画像Ｊ’でマスク処理するマスク処理手段１６と、該マスク処理手段１６でマスク処理された画像に基づき、農産物のつる割れを検出するつる割れ判定手段１７とを具備したものである。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図り、多様な印刷形態の検査対象に対応することが可能である検査装置等を提供する。
【解決手段】検査対象（印刷物等）に、複数の絵柄が、反転された絵柄も混在して配置されている。検査装置１は絵柄を含む基準領域画像ａを指定し、基準領域画像ａと相関の高い類似領域画像ｂを抽出する。検査装置１は基準領域画像ａと類似領域画像ｂの差異の和、及び領域枠の外接差異を抽出してマスクを作成する。基準領域画像ａから当該マスク部を除外し基準領域画像ａｍを生成する。検査装置１は当該基準領域画像ａｍと相関の高い類似領域画像ｂｍを抽出する。検査装置１は基準領域画像ａｍと類似領域画像ｂｍとの差異から、欠陥（汚れ、欠け）を抽出する。本検査装置１は、密接配置された絵柄（回転移動した絵柄を含む）を有する検査対象の欠陥を、高精度で検査することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを高精度に判別することができ、パネル内面側の欠陥を正確に検出して作業者に通知することが可能な陰極線管の検査装置、及びこれを用いた陰極線管の製造方法を提供する。
【解決手段】 パネル４０の外面側で反射された反射光を受光することにより、パネル外面側を撮像するＣＣＤカメラ（第３の撮像部）１０ｃ、及びＣＣＤカメラ１０ｃの撮像結果を用いてパネル外面側の汚れを検出する汚れ検出手段５０ｂを設ける。そして、欠陥検出手段５０ｃにより、抽出手段５０ａでＣＣＤカメラ（第１及び第２の撮像部）１０ａ、１０ｂの撮像結果を用いて抽出されたパネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを含んだ当該パネル４０の欠点から、汚れ検出手段５０ｂで検出されたパネル外面側の汚れを除いて、パネル内面側の欠陥を検出させる。 （もっと読む）

【課題】長尺物に対して、搬送速度が可変しても、漏れなく画像の撮像を行えながら、重複して画像処理を行うことがないようにして、画像処理に要する負荷および時間を抑制できる長尺物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】長尺物を一定の時間間隔で撮像する撮像手段4と、長尺物2の移動距離を検出するための距離計測手段8と、画像処理手段6とを備える。画像処理手段6は、距離計測手段8からの検出結果に基づいて、画像処理を行う画像について撮像を開始した時から次の撮像を開始するまでに移動した長尺物の移動距離を算出し、この移動距離分を画像処理領域として特定し、この画像処理領域で画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】周期未定の周期性ノイズか又は繰返しパターンのある画像でこれら以外の部分のコントラストが低い場合における欠陥抽出を、従来の欠点を排除し、高速に実行することが可能な欠陥検査方法を提供すること
【解決手段】Ｘ方向およびＹ方向各々に対して得られた、検査対象画素ラインと近傍にある画素ラインまたは繰返しパターンの周期分離れた位置にある画素ラインとの濃度差分画素ラインから、Ｘ方向濃度差分画像とＹ方向濃度差分画像を得て、各画素に対する濃度差分値によって定義される欠陥強度と欠陥方向を使用して欠陥候補を抽出し、その結果に対して領域分割と分割領域に対する濃度統計量によって欠陥候補存在領域を絞り込み、欠陥の連続性判定により欠陥を抽出する。 （もっと読む）

【課題】 基板の外観検査を行う際に、種々の形態を有する欠陥を観察できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】 外観検査装置は、任意の位置から被検査基板の画像を取得可能なデジタルカメラ１７と、デジタルカメラ１７の画像を処理して表示手段３２に出力する制御ユニット２０を有している。制御ユニット２０は、デジタルカメラ１７で取得した画像から被検査基板の輪郭線を抽出してこれを多数の四角形に分割することで形状補正を行う。表示手段３２に出力する際には、多数の四角形を矩形状に割り当てて、被検査基板の縦横比と一致するように縦横比を調整する。 （もっと読む）