【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】
賞味期限・消費期限などの日付の印字や製造番号・ロット番号などの印字は商業印刷で90％以上を占める黒色の印字色と可視光域の環境下での印字検査が行われており、依然として印字のもれやかすれなどの印字異常や不良を検知するには不十分である。また、出荷製品の包装の素材・色・形の多種多様化と製造工程の自動化機械の高速化も印字異常を検知しないまま見落としてしまう原因となっている。
【解決手段】
印字色に黒色以外の分光上の特性がある青、緑、赤、紫などのインクを用いて、印字色と包装色との間の反射率の差、透過率の差が最大の波長帯もしくはそれに準ずる波長帯やその他の効果的な波長帯を特定することにより、最適な明暗差・輝度差が得られる波長の照明を照射して印字異常の検知を確実にする。 （もっと読む）

【課題】熱延終了直後のコイル状に巻いた熱延鋼帯側面の欠陥を検知し、次工程である酸洗ラインへの通板可否を判定し、不可の場合は鋼帯をそのまま展開可能なラインで展開・検査を行う、熱延鋼帯の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】熱延終了直後のコイル状熱延鋼帯の側面を撮像する、コイル状熱延鋼帯の側面撮像ステップと、撮像した画像の画像処理を行い側面欠陥の検出ならびに欠陥発生位置の同定を行う側面欠陥の検出ステップと、次工程への通板可能かどうかの判定を行う通板可否判定ステップと、通板不可と判定すれば、判定対象コイル状熱延鋼帯および前記側面欠陥の検出ステップで得た欠陥情報を検査可能ラインへ搬送・伝送する検査可能ラインへの搬送・伝送ステップと、前記検査可能ラインで搬送されたコイル状熱延鋼帯を展開・検査する、展開・検査ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ端面の傷と周端縁の欠けを正確に検査可能な検査方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ30の被検査端面31に光Ｆを照射させて該被検査端面31からの反射光にて検査する反射光検査工程Ｒと、上記被検査端面31とは反対側の他端面12に光Ｆを照射させて上記光ファイバ（30）内に光を透過させて上記被検査端面31を透過光ＦＴにて検査する透過光検査工程Ｔとを備えている。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサを利用し、かつ被検体の表面欠陥を高精度に検出することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検体１２を搬送する搬送部１４と、搬送部１４にて搬送される被検体１２の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射部１６と、被検体１２に照射された明暗パターンを被検体１２の幅方向に移動させる動力伝達機構１８と、被検体１２の明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサ２０と、ラインセンサ２０にて撮像された信号に基づいて被検体１２の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置によって検出された汚れ欠陥から、作業員の選別によらず、その汚れ欠陥が良品であるか否を選別するカラーフィルタ汚れ欠陥の選別方法を提供する。
【解決手段】１）全画素領域を濃度差画像とする工程、２）濃度差画像を区分濃度差画像とする工程、３）各区分濃度差画像の濃度差積算判定Ｘ、濃度差積算判定Ｙ、濃度差密度判定Ｚを行う工程、４）判定Ｘ、判定Ｙ、判定Ｚの不良個数の合計から区分判定を行う工程、５）上記３）、４）を全区分濃度差画像に行う工程、６）区分判定による不良又は良の結果を配列する工程、７）上記配列で、判定ＳＸ、判定ＳＹ、判定ＳＺを行う工程、８）上記判定の合計からシート（カラーフィルタ）を不良（汚れ欠陥）又は良品と判定を行う工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の有無を正確に検出し、検査対象物が良品であるか否かを精度よく判定する。
【解決手段】微分演算部５０は、撮像装置２からの撮像画像に対して各画素の濃度に基づく微分演算を行い、各画素の微分絶対値を算出する。エッジ画素抽出部５１は、微分絶対値が規定値以上である画素をエッジ画素として抽出する。位置検出用ランド抽出部５２は、互いに隣接するエッジ画素の集合を位置検出用ランドとして抽出する。濃淡２値化演算部６０は、撮像画像の各画素に対して２値化を行って欠陥候補画素を抽出する。欠陥候補ランド抽出部６１は、互いに隣接する欠陥候補画素の集合を欠陥候補ランドとして抽出する。計測部６２は、欠陥候補ランドの画素数を計測する。判定部７は、欠陥候補ランドの画素数が規定画素数以上である場合、検査対象物が不良品であると判定する一方、欠陥候補ランドの画素数が画素数閾値未満である場合、検査対象物が良品であると判定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、検査対象物の面の状態を表わす画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部１４によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ１８によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部３２によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法。
【解決手段】 この方法は、基準画像を作り出すためのトレーニングプロセスを備える。トレーニングプロセスは、未知の品質の第１のウェーハの複数の画像を収集するステップを含み、第１のウェーハの複数の画像の各々が所定のコントラスト照明で収集され、および第１のウェーハの複数の画像の各々が複数の画素を備える。トレーニングプロセスはさらに、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々に対する複数の基準強度を決定するステップと、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々の複数の基準強度に対する複数の統計的パラメータを算出するステップと、算出された複数の統計的パラメータに基づいて第１のウェーハの複数の画像から複数の基準画像を選ぶステップとを含む。ウェーハを検査するためのこの方法は、第２のウェーハの画像を収集するステップであって、第２のウェーハが未知の品質であるステップと、複数の基準画像から第１の基準画像を選ぶステップと、第２のウェーハ上の欠陥の存在およびタイプの少なくとも１つをそれによって決定するために第１の基準画像と第２のウェーハの収集画像を比較するステップとを更に含む。
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本発明は、機械部品（１４）の非破壊検査のための自動化された方法に関し、画像センサ（２４）と、照明光源（２６）と、画像センサ（２４）、光源（２６）、および機械部品（１４）の相対的移動のための手段（１８、２２）とを含む、デジタル画像を取得するための機器（１０）を使用してデータベース内に記憶される基準画像と部品の表面の画像を比較するステップを含む。
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【課題】周囲とは外観が異なる欠陥を、精度良くかつ高速で検出できるようにする。
【解決手段】検査対象物の画像を１画素ずつ走査しながら、毎時の注目画素２０に対し、あらかじめ登録した設定情報に基づき所定数の比較対象画素２１〜２３を設定し、これらの比較対象画素２１〜２３を順に注目画素２０に組み合わせて、組み合わせ毎に、組み合わせられた画素間の濃度差を求めてその濃度差が許容範囲に入るかどうかを判定する。ここで濃度差が許容範囲に入るという判定結果を得た場合には、注目画素２０は欠陥を表す画素ではないとして、次の位置に注目画素２０を移す。他方、濃度差が許容範囲に入るという判定結果を得る前に全ての組み合わせに対する処理が終了した場合には、注目画素２０を欠陥を表す画素であると判定する。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を含む可能性がある検査対象であっても、高精度の検査を実現する。
【解決手段】画像検査装置は、検査対象を撮影するＣＣＤカメラ３と、検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部４０３と、輪郭抽出部４０３によって得られた２値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを１つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理部４０４と、ラベリング処理部４０４で抽出された連結した輪郭の数を数える計測部４０５と、計測部４０５で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定部４０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の屈曲した被検査面や湾曲した被検査面に対して適正な照明を与えるとともに、従来技術の問題点を抑制する欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１の被検査面に明・暗・明パターンを作り出すべく被検査面を覆うように照明する円弧状照射面を有する照明手段２と、前記被検査面における明・暗・明パターンの暗部領域を撮像する撮像手段３と、前記照明手段と前記撮像手段とを一体的に保持する保持手段５と、前記保持手段と前記被検査面との相対位置を変更設定する位置決め手段６と、前記撮像手段によって取得された撮影画像における前記暗部領域から、画像処理を用いて前記被検査面上の欠陥を検出する欠陥検出手段７４とを備える欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維にマトリックス樹脂を含浸させたプリプレグ表面の欠点検査方法。特に、一方向に引き揃えたプリプレグ表面に対して、高精度で信頼性高く検査できる光学的手段を用いた欠点検査方法を提供する。
【解決手段】欠点候補領域の矩形率、最大径角度、凹凸度を求め、ワレ欠点を検出後、ワレ欠点検出領域をマスクした画像から、1画素列毎に閾値を算出し、その閾値により2値化して毛羽欠点を検出する。 （もっと読む）

【課題】撮像時に表面の形状が不規則に変化した場合であっても、欠陥部分以外を欠陥として誤認識することがない技術を提供する。
【解決手段】（Ａ）：可撓性のあるシート状物品等を搬送しながら撮像すると、搬送時の変形によって画像に濃度むらが生じていることがある。そこで画像全体を２つの検査領域Ａ１，Ａ２に分け、検査領域Ａ１内で濃度の最頻値（１５０）を求め、この最頻値より低い濃度の画素を抽出して隣接する画素を結合する。結合画素を処理エリアＡＤとし、その中で濃度の最大値（１００）を求める。（Ｂ）：そして、最頻値と最大値との比（１５０／１００）で処理エリアＡＤ内の濃度を階調補正し、形状変化の影響を除去した上で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査対象である半導体基板上の欠陥を高速かつ容易に検出し、適切に分類する手法を提供すること、すなわち、同一原因に起因することが多い１つの欠陥を複数報告する煩雑さを無くし、一欠陥に対して一報告するべきという課題を解決し、かつその演算時間をより短くして出力することが可能な検査装置および検査方法を提供すること。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像した検査対象物の画像データを複数の領域に分割する領域分割手段と、前記撮像手段によって撮像した検査対象物の画像データから欠陥部分を検出する欠陥検出手段と、前記欠陥検出手段によって検出された欠陥部分が存在する前記領域を算出する欠陥領域算出手段と、前記欠陥領域算出手段によって算出された欠陥領域を出力する欠陥領域出力手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥の発生を抑えて、高精度な欠陥検出を行う。
【解決手段】本発明の欠陥検出装置１は、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１〜Ｐ８）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第１差分演算回路２３ａと、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１’〜Ｐ８’）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第２差分演算回路２３ｂと、上記算出された差分のうち、絶対値が最も小さい差分を欠陥検出用指標として選択する比較／選択回路２４と、該比較／選択回路２４が選択した欠陥検出用指標と、予め定めた閾値との大小関係から、上記検査対象物の上記被検査画素に対応する位置における欠陥の有無を判定する欠陥判定部１３とを備えているので、擬似欠陥の発生を抑えて高精度に欠陥検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の欠陥の検出精度を向上させること。
【解決手段】画像処理装置は、入力画像の一部である変換対象領域を、入力画像から順次選択する変換対象領域選択部と、複数の変換対象領域のそれぞれについて、変換対象領域を含む種類が異なる複数の周辺領域を抽出する周辺領域抽出部と、複数の変換対象領域毎に、複数の周辺領域のそれぞれについて、周辺領域の画像を用いて変換対象領域の画像を変換することにより、複数の変換画像を生成する画像変換部と、複数の周辺領域の種類毎に、複数の変換対象領域に対応する複数の変換画像を組み合わせることにより、複数の出力画像を生成する出力画像生成部とを備える。 （もっと読む）

【課題】物品の欠けを不良品とし異物の付着を良品として良否判定を行うにあたり、良否判定の誤認を防止し、無駄ばねを抑制する。
【解決手段】検査領域生成部１６は、検査対象である物品Ｇの濃淡画像について指定した着目領域から検査領域を生成する。方向値画像生成部１４は、検査領域に含まれる画素の濃度勾配に対応付けた方向値を各画素の画素値とする方向値画像を生成する。着目画素抽出部１７は、方向値画像のうち物品の欠けに相当する特定の方向値を持つ画素を着目画素として抽出する。演算部１８は、検査領域において方向値を持つすべての画素の画素数に対する着目画素の画素数の割合を算出する。判定部１９は、演算過程において求めた割合を正常範囲として規定した数値範囲と比較し前記割合が当該数値範囲を逸脱しているときに物品に欠けが存在すると判定する。 （もっと読む）

【課題】研磨傷などのように規則性のある模様の方向が分からない場合であってもその模様を消去して致命傷のみを抽出する。
【解決手段】画像取得手段３によって取得された画像の微小検査領域ＳＱ内で第一の検査方向Ｄ１に並ぶ画素の輝度情報を取得し、この第一の検査方向Ｄ１を変化させることによって当該第一の検査方向Ｄ１と直交する方向における輝度変化値が所定値よりも大きな方向を検出する。そして、この検出された方向と直交する方向における輝度に基づいて前記取得された輝度を平坦化させるようにしたので、研磨傷２１の方向と輝度情報を取得する第一の検査方向Ｄ１とが一致した場合に、その方向と直交する方向における輝度が最も大きく変化するため、研磨傷２１の方向を検出する。 （もっと読む）