【課題】小型の装置構成で、高精度に、被検体（ワーク）の欠陥検査を行うことを可能にする。
【解決手段】複数のレンズがアレイ配列されてなるレンズアレイ１１と、該レンズアレイの複数のレンズのそれぞれにより略結像される被写体の縮小像（個眼像）の集合である複眼像を撮像する撮像素子１４とを備える撮像装置１０を使用する。処理装置２０は、該撮像装置１０により被写体を撮影して得られる複眼像を処理して被検体の欠陥を判定する。ここで、処理装置２０は、撮像装置１０により得られる複眼像を複数の個眼像に分離する画像キャプチャ部２１、分離された複数の個眼像それぞれを歪み補正する画像補正部２２、歪み補正された複数の個眼像に基づいて被検体の欠陥を判定する欠陥判定部２３からなる。 （もっと読む）

【課題】検査対象領域を撮像して取得した多値画像の明暗が変化した場合であっても、非検出対象物であるノイズを効果的に除去し、検出対象物であるブロブ（集合体）状の傷、汚れ等の欠陥の有無、大きさ、形状等を検査する画像検査装置、画像検査方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象領域の多値画像を取得し、取得した多値画像の濃度情報に基づいて基準濃度値を算出する。多値画像の各画素の濃度値と算出した基準濃度値との差分を画素ごとに算出し、基準濃度値の変化に追従して変化するように基準濃度値に対して相対的に閾値を設定して記憶する。算出した差分が閾値より大きい複数の画素を抽出し、抽出された複数の画素の輝度値の連結性に基づいて画素の集合体を特定し、特定された画素の集合体に対して、差分を用いた特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、特定された画素の集合体の欠陥を判別する。 （もっと読む）

【目的】コヒーレント光の干渉性をより排除することが可能な照明装置を提供する。
【構成】照明装置３００は、コヒーレント光を発生する光源１０３と、ランダムに配置された、波長以下の高さの複数の段差領域が形成され、光源からの光線を通過させて位相を変化させる回転位相板１４と、複数のレンズがアレイ状に配列され、回転位相板を通過した光線を通過させるインテグレータ２０と、を備え、複数の段差領域の最大サイズと回転位相板から蝿の目レンズの入射面までの光学倍率の積が、複数のレンズの配列ピッチ以下となる箇所と、複数のレンズの配列ピッチより大きくなる箇所とが混在するように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの全ての領域で欠陥検査が可能であり、欠陥検査が不可能な領域をなくすことができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥が検出される試料の画像を取得する画像取得手段１１０と、取得した試料の画像を複数の画像ブロックに分割する分割手段１４０と、複数のプロセッサエレメントが、画像ブロックから切り出された画像から２枚の差画像を生成し、この２枚の差画像を用いて試料の欠陥検出処理を行い、検出した欠陥の位置を含む欠陥情報を出力する第１の画像処理手段１５０と、第１の画像処理手段から出力された欠陥情報に従って、画像取得手段１１０で取得した試料の画像から画像を切り出す画像切り出し手段１３０と、複数のプロセッサエレメントが、画像切り出し手段で切り出された４枚の画像から２枚の差画像を生成し、この２枚の差画像を用いて試料の欠陥検出処理を並列に行う第２の画像処理手段１５１を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留りを効率的に、かつ高精度に算出する。
【解決手段】薄膜を一様に形成した半導体ウェハ２の画像データを取得し、品種ごとに形成された欠陥識別データ３８と製品パターン３９とを用いて、薄膜に形成された欠陥を抽出する。欠陥識別データ３８は、半導体装置の電気特性に影響を与える欠陥サイズの情報であり、製品パターン３８は、回路パターンが疎な領域をマスクしたパターンである。さらに、抽出した欠陥が存在するチップの数から歩留り率の予想値を算出し、その品種に必要とされる規定の歩留り数と比較して半導体ウェハ２の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】簡易迅速に潤滑油中の異物の性状、大きさを検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置４０Ａは、ディーゼルエンジン１０に供給される潤滑油３２の一部を新油３２Ａとして抜き出す新油分取ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を使用油３２Ｂとして抜き出す使用油分取ラインＬ１２と、新油分取ラインＬ１１および使用油分取ラインＬ１２から抜き出した新油３２Ａ、使用油３２Ｂ中に含まれる異物の外形を画像により検出する検出装置４１と、を有し、検出装置４１で得られた検出結果から使用油３２Ｂ中に含まれる異物を検出し、かつディーゼルエンジン１０の運転継続の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】カラーカメラを用いることなく低コストでスクリーン印刷後の半田検査を行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機における半田検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】モノクロカメラであるカメラ部７ａ、検査対象領域Ｒｇを垂直上方から照明する第１照明４１、検査対象領域Ｒｇをカメラ部７ａの撮像光軸７Ｊを取り囲む方向から照明する第２照明４２を備え、検査対象領域Ｒｇを第１照明４１により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａが映し出された第１の画像を得るとともに、検査対象領域Ｒｇを第２照明４２により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａ及び半田Ｓｄが映し出された第２の画像を得た後、第２の画像のランド２ａ及び半田Ｓｄの部分から第１の画像のランド２ａの部分を差し引いて半田Ｓｄのみが映し出された画像を得る。 （もっと読む）

【課題】液体の性質や容器表面の情報に左右されることなく効率的に液中異物の有無を検出することができる液中異物検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体を連続的に搬送し、所定の検査位置にて単一の被検査体に対して光を照射するとともに隔離配置された第１及び第２撮像手段により被検査体を同時に撮像し、第１撮像手段によって撮像された第１画像と第２撮像手段によって撮像された第２画像とからそれぞれ所定画素以上のシルエット像の有無を検出し、第１及び前記第２画像に同一のシルエット像が検出された場合には、予め定められた第１及び第２撮像手段の各位置と第１及び第２画像のシルエット像位置に基づいてシルエット像の３次元位置を三角法により測定してシルエット位置情報を得るとともに、シルエット位置情報と容器表面の３次元位置が予め記憶された容器位置情報とを比較してシルエット像が容器表面に位置するか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】物体の表面欠陥を容易に検知することができる表面欠陥検知方法を提供する。
【解決手段】表面欠陥検知装置１を用いて物体１０の表面欠陥を検知する場合、まず、撮像部２により、物体１０の表面１０ａの画像を取得する。続いて、画像解析部３により、当該画像の明度のヒストグラムを生成し、このヒストグラムにおける第１及び第２階調の間の中央値を二値化レベルに設定する。そして、画像解析部３により、設定した二値化レベルで画像１１に二値化処理を施す。これにより、表面欠陥を目視でも判別可能な物体１０の表面１０ａの画像が取得されることとなる。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの製造において、異物などの欠陥とその周辺の膜厚の微小な変化による欠陥を正確に検出できる検査方法を提供するものである。
【解決手段】反射防止透明フィルムの欠陥検査方法であって、被検体の表面を撮像および画像処理し、検出した欠陥の箇所の座標および欠陥画素数と、欠陥部を中心とした欠陥画像を保存し、次に、保存した前記欠陥画像を欠陥部を中心に外周方向にｎ画素分の画素に対して濃度を取得すること、また更には、欠陥画像に対し、欠陥周辺の濃度を取得、処理して欠陥サイズを判定ことを特徴とする反射防止透明フィルムの欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】画像処理による擬似的な解像度の向上を実現し、検査対象であるワークに存在する欠陥を高精度に検出可能な欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】ワークＷにおける欠陥の有無を画像処理によって検査する欠陥検査工程Ｓ１であって、基準位置にてワークＷを撮像し、基準画像を作成するステップＳ１１と、基準位置からＸ方向、Ｙ方向、又はＸＹ方向に１／Ｎ（Ｎは２以上の整数）画素ずつずれた位置にてそれぞれワークＷを撮像し、基準画像に対して画素をずらした複数のシフト画像を作成するステップＳ１２と、基準画像、及び複数のシフト画像の各画素の位置に応じて、基準画像の各画素の間に、複数のシフト画像の各画素を補完するように配置して、基準画像のＮ^２倍の解像度を有する判定画像を作成するステップＳ１３と、判定画像に基づいて、ワークＷにおける欠陥の有無を判定するステップＳ１４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂製キャップに収容された部品の位置や形状を明確に把握することができるような樹脂製キャップ内部品の検査装置および樹脂製キャップ内部品の検査方法を提供する。
【解決手段】 照明手段３２がカメラ３１の撮像方向とは異なる方向から樹脂製キャップ２０の外面に光を照射し、カメラ３１が樹脂製キャップ２０の開口部２０１側から樹脂製キャップ２０内部の画像をカラーで取り込むので、アルミシール２２からの反射光をカメラ３１が取り込むのを回避でき、明確な画像を得ることができる。そして、画像処理手段３３が、カメラ３１により明確に取り込まれたカラー画像を２値化して内蓋２１の外形および注ぎ穴２１１の形状を検出するので、樹脂製キャップ２０に収容された部品の位置や形状を明確に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板（被検査物１０６）の表面に光を照射する投光装置１０１と、この電極パターンを撮像する撮像装置１０２と、電極パターンを撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、撮像装置１０２で撮像した電極パターンの画像と予め登録した電極パターンの原画像とを比較して電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、電極パターンで反射した反射光の輝度と、ガラス板で反射した反射光の輝度との差が所定以上になるように投光装置の光量が設定されている。 （もっと読む）

【課題】ユーザの意図を反映可能な分類条件設定機能を有する二分木構造を用いて欠陥を分類する装置の提供。
【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物を撮像した画像を画像処理によって自動検知するひび割れ検知装置を提供する。
【解決手段】ひび割れ検知装置１００は、最大の画素値をひび割れ特徴量として選定するひび割れ特徴量抽出部２０１と、ひび割れ特徴量からなる画素値を有する処理対象画像に対してニューラルネットの動作式を用いてニューラル収束演算を実行し、ひび割れ候補画素中の判定対象画素に対して所定の近傍範囲内にある画素についてひび割れと判定する近傍連結判定部３０１と、ひび割れ候補画素の特徴量を合計した値に基づいてひび割れを判定する特徴量判定部３０２と、ひび割れ候補画素中の前記判定対象画素に対して隣接する画素のユークリッド距離に基づいてひび割れと判定する飛び地判定部３０３と、近傍連結判定部３０１、特徴量判定部３０２及び飛び地判定部３０３にて判定された結果の論理積を行う論理積演算部３０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カラーＬＣＤパネル等の複数の色の絵素を備える表示パネルに表示された画像をカメラで撮像し、表示パネルの欠陥を検出する技術に関し、欠陥が複数の色の絵素を含む場合においても、含まれる色の割合に応じて適切な基準で判断することができる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】
表示パネルを撮像し、画像データとして取得する撮像部と、前記画像データから欠陥部位候補を抽出する欠陥部位検出部と、前記欠陥部位候補についての対象物である絵素の色を特定する色特定部と、前記色によって異なる補正係数を前記コントラスト値に乗じて欠陥度を算出し、前記欠陥度が判定値より大きい場合に欠陥と判定する良否判定部とを備える欠陥検出装置において、前記良否判定部は、１つの欠陥部位候補が複数種類の色の絵素を含んでいる場合に、前記色毎のコントラスト値に前記色によって異なる補正係数を乗じた後に合計し欠陥度を算出する。 （もっと読む）

【課題】画像処理技術を用いて検査対象物の輪郭線上の欠陥を検出するにあたり、検出結果に対する、前記検査対象物の許容される膨張、収縮、或いは変形の影響を抑制し、かつ、計算処理量を少なくすることで、高精度かつ効率的な欠陥検出方法、プログラム、及び装置を提供する。
【解決手段】検査対象物の原画像に対して適用する微分処理により、エッジ強度画像とエッジ角度画像を生成し、前記エッジ角度画像に対して、さらに微分処理を適用することにより、角度変化強度画像を生成し、前記エッジ強度画像と前記角度変化強度画像に共通する特徴に基づいて前記検査対象物の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥を低減する一方で、転写後に欠陥を生じさせるおそれのあるパターンを予め拾い出して検査する検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたマスクの光学画像データを得る。設計パターンデータから光学画像に対応する参照画像データを作成する。設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、パターンの重要度情報に基づいた多値の解像度で示される画素値を有する領域画像データを作成する。領域画像データの各画素の画素値によって定まる複数の閾値または複数の欠陥判定処理方法の１つを用いて、領域画像データが示す領域内の光学画像データと参照画像データとを比較して画素毎に欠陥判定する。設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、ＭＥＥＦが所定値以上の箇所の画像データを作成する。 （もっと読む）

【課題】多成分の波長の強度データを画素毎に有する画像データの分析を高精度且つ高速に行う。
【解決手段】分析ユニット３０の線形識別部４２において、画像データの強度データを特徴量として、計算量が少なく識別に係る処理を高速に行うことができる線形ＳＶＭを用いて画素毎に予め識別が行われ、次に、線形ＳＶＭによる識別の結果強度データがオブジェクトデータであると識別された画素のみに対して、非線形識別部４３において、識別時の計算量が多く高精度な識別能力を有する非線形ＳＶＭによる識別が行われる。したがって、全ての画素について線形ＳＶＭのみにより識別を行う場合と比較して高精度の識別を行うことができ、また、全ての画素について非線形ＳＶＭにより識別を行う場合と比較して高速に識別を行うことができる。したがって、画像データの分析を高精度且つ高速に行うことが可能となる。 （もっと読む）