【課題】パターン形状に起因するパターンの加工不良を正確かつ容易に検証できるパターン検証方法を提供すること。
【解決手段】基板上に生成されるパターン形状４３からパターン形状４３の輪郭４４を抽出する輪郭抽出ステップと、輪郭４４上にパターン形状４３の検証位置となる評価点ｐ１〜ｐ７を所定の間隔で設定する評価点設定ステップと、評価点ｐ１〜ｐ７における輪郭４４上の曲率を算出する曲率算出ステップと、曲率が予め設定された所定の閾値を満たすか否かに基づいて、パターン形状４３を検証する検証ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】検査パターンと参照パターンとの比較を行う欠陥検査法に関し、検査対象パターンの微小な変動による擬似欠陥の発生を防ぎ、微小な欠陥を感度良く検出する。
【解決手段】検査パターンの画像を取得する工程と、前記画像から前記検査パターンの輪郭を検出する工程と、検出された輪郭を境界として前記画像を検査領域と非検査領域とに分割する工程と、前記画像の濃度分布を求めるための画像処理を前記検査領域に対してのみ施し、得られた前記濃度分布に基づいて前記検査パターンの欠陥検出を行う工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子回路の外観検査前の設定作業を効率化する。
【解決手段】検査条件設定装置（検査装置１）は、半導体、液晶回路、またはプリント基板などの電子回路を複数搭載する被検査物の外観検査をＣＡＤデータ（４１）と被検査物画像（４３）との対比によって行う前に、当該外観検査の条件を予め設定する。当該装置は、粗画像生成手段（ＳＴ２１）と、輪郭抽出手段（ＳＴ２２）と、認識手段（ＳＴ２３）と、を備える。粗画像生成手段は、上記対比を行うために上記ＣＡＤデータから生成する模範画像よりも、粗い画素密度の粗画像（４５）を、上記ＣＡＤデータから生成する。輪郭抽出手段は、上記粗画像から、ひとまとまりの個片（６１、６２等）の輪郭を各々抽出する。認識手段は、上記輪郭から、上記個片のパターンの一致を判定し、１または複数のパターンの個片を認識し、同一パターンのグループごとに上記個片を分類する。 （もっと読む）

【課題】回転運動と並進運動を同時にしている撮像対象物の外周の展開画像を得ること。また、撮像対象物の回転速度が不安定であったり、不明であったりする場合にも歪の少ない展開画像を得ること。
【解決手段】本発明に係る撮像装置は、撮像対象物１００に回転運動と並進運動を同時に行わせる搬送部１０と、撮像対象物１００が撮影範囲２１内で少なくとも１回転するように設置されたエリアセンサ２０と、エリアセンサ２０により時系列に沿って撮影された複数の画像の少なくとも一部分を繋ぎ合わせて、撮像対象物１００の外周の展開画像を作成する画像処理部３０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カメラ画像からワークの種類および姿勢を認識するときの処理時間を短縮する。
【解決手段】ワークＷｉは外面Ｆごとに方向性を有する識別可能なマークＣが付与され、ロボット１０は前記マークＣおよび前記ワークＷｉを撮像する撮像手段１２と前記マークＣが撮像されたマークマスタ画像Ｍを格納する第１マスタ画像格納手段４２と、前記ワークＷｉが撮像された前記ワークＷｉの姿勢ごとのワークマスタ画像Ｎを格納する第２マスタ画像格納手段４３とを有し、上記画像を取り込む画像入力工程Ｓ３と、前記マーク画像Ｐと前記マークマスタ画像Ｍとを比較する第１画像比較工程Ｓ４と、その結果から前記ワークＷｉの姿勢を判定する姿勢判定工程Ｓ５と、判定結果の姿勢に対応する前記ワークマスタ画像Ｎと前記ワーク画像Ｒとを比較する第２画像比較工程Ｓ６と、その結果から前記ワークＷｉの種類を判定する種類判定工程Ｓ７とを有するワーク識別方法。 （もっと読む）

【課題】対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせしたのち、測定点と基準点との空間位置座標から適正に表面欠陥を判定する技術を提供する。
【解決手段】測定対象物の測定点と測定対象物の基準表面形状に対応する基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて前記測定点と前記基準点とを位置合わせした後の測定点データと基準点データとに基づいて測定対象物の表面欠陥を評価する。表面欠陥評価において、基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群の分布密度に基づいて当該誤対応測定点群によって規定される表面領域を表面欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】対象物における微小な高さを測定するに際し、測定に要する時間を短くし、ケース内のＩＣの検査を可能にし、繰り返し測定精度を高め、測定装置の構成を簡易なものとする。
【解決手段】光軸に関して対称的に配設された１対の異なる色のフィルターＦ１，Ｆ２が設けられたフィルター付マスクＭと撮像用レンズＬとを備えた撮像用光学系を有する撮像装置で対象物をその基準表面に対して合焦させて撮像し、得られた画像について画像解析を行い、画像における対象物の凸部または凹部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔を算出する。一方で、この異なる色で分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数を予め求めておき、この換算計数と実際に撮像により得られた重心位置の間隔とから凸部の高さまたは凹部の深さを求める。 （もっと読む）

【課題】本発明はプラズマディスプレイ等のガラス基板に塗布された蛍光体に紫外線を照射し、蛍光体から発光させた光をカメラ等により撮像することで蛍光体の塗布品質を検査する装置において、ラインセンサカメラを用い、カメラと紫外線照明を移動させながら撮像する蛍光体検査装置にて、プラズマディスプレイのＲ、Ｇ、Ｂ塗布領域間の隔壁に乗上げた蛍光体を容易に検出することを目的とした蛍光体検査装置で有る。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、蛍光体塗布領域のエッジ部を検出することにより、隔壁位置を抽出し、隔壁頂部の輝度を積算することで、隔壁上部に乗り上げた微量の蛍光体発光剖分を強調し、隔壁の乗り上げ輝度画像を作成し、隔壁上部に乗り上げた蛍光体塗布欠陥の検出を容易にすることである。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板に印刷された半田ペーストについての三次元計測値をもとに、この基板に印刷された半田ペーストの形状の特徴を示す情報を得るための方法とそのための装置を提供する。
【解決手段】まず、プリント回路基板のパッド上やランド上に印刷された半田ペーストそれぞれの三次元形状に関するデータを生成し、このデータに基づいて印刷された半田ペーストそれぞれについての三次元形状を表す特徴量を抽出する。抽出された特徴量に基づいて印刷された半田ペーストを分類し、その分類毎に印刷された半田ペーストの数またはその検出対象全数に対する割合を算出する。算出された分類毎の印刷された半田ペーストの数またはその割合にもとづいて、半田ペーストの印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板に発生した圧痕を検査するにおいて、圧痕検査が必要な検査領域の設定が迅速且つ正確であることは勿論、圧痕の異常有無も迅速で且つ正確に検査することができる圧痕検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧痕検査装置は、圧痕が発生した基板を固定するためのワークステージと、前記ワークステージの上側に位置し、前記基板の後面を観察するための顕微鏡と、前記顕微鏡を通して観察された基板の後面を撮像できるように、前記顕微鏡に連結設置されたカメラと、前記カメラから前記撮像された画像データを入力され、前記画像データ中において圧痕検査が必要な検査領域を設定する検査領域選択部と、前記検査領域内で所定形状の枠を有する各検出領域ごとに輝度分布情報を検出し、前記検出された輝度分布情報によって圧痕指数を検出する圧痕検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】欠陥の有無による受光強度の差が微小であり環境光が変動する場合でも欠陥を検出し、局所的に受光強度が変動しても誤認することなく欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】透明フィルム１を検査対象として照明装置２から検査対象の表面に光を照射するとともに、検査対象の表面の各部位からの反射光をラインセンサカメラ３により受光して濃淡画像を生成する。画像分割部１３は濃淡画像を複数の分割画像に分割し、最頻値抽出部１４は分割画像内において濃淡値の最頻値を求める。欠陥候補抽出部１５は最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する。欠陥領域統合部１６は連結領域を統合する。検査領域設定部１８は欠陥領域について重心を基準とする検査領域を設定し、欠陥判定部２０は検査領域内で基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素として抽出する。 （もっと読む）

【課題】ゴルフボール表面のディンプルとパターンマッチングさせる登録モデルデータの数を少なくして、パターンマッチングの処理時間を削減する。
【解決手段】ゴルフボールの表面を撮影して得られた２次元画像において、ディンプル３の形状を検出する際のパターンマッチングに用いる登録モデルデータ１５として、ディンプル３端部の２点のそれぞれの近傍の画像データ３１ｍ，３２ｍを用いるとともに、上記画像データ３１ｍ，３２ｍの中心位置の位置データ３１，３２から、当該ディンプル３の中心位置Ｃを算出し、上記中心位置Ｃを通る複数の直線ｋ1，ｋ2，ｋ3，……に沿った濃淡変化をそれぞれ検出して、上記ディンプル３の端部の位置を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定可能な内面条件を広く確保し、より高精度な測定結果が得られる内面測定装置を提供する。
【解決手段】スリット光を照射された被測定物の内面を撮像する撮像手段５を備えた内面測定装置１。撮像光軸を前記スリット光照射内面に偏向するための撮像プリズム４が配置され、スリット光照射内面でのスリット光の反射光量が全測定範囲において撮像手段５の最小感度光量以上でかつ飽和光量内となるようにスリット光の照射方向と撮像プリズム４の配置位置とが調整され、スリット光の照射角度と撮像光軸の撮像角度とに応じて、撮像面５１ａが撮像光軸に対して傾けられている。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク12の面に対し、照明装置112，114,116,118からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ102,104によって撮像する。照明光は、光ファイバーなどのライトガイドを使用して照射パターン形状を整形し、ディスク12のテクスチャの接線方向に沿って照射する。カメラ102,104から得られる画像を解析し、ディスクの中心位置と半径を求めて自動的に各検査面のウインドウを形成する。また、検査画像からエッジ部分における反射形状を認識し、当該反射形状に基づき、塵埃と塵埃以外の要因によるものとを判別して塵埃の検出と測定を行う。 （もっと読む）

【課題】移動式処理機により生成される処理物の品質向上に寄与することができる移動式検査機を提供する。
【解決手段】被処理物の発生現場にて移動式処理機の被処理物又は処理物を検査する移動式検査機であって、下部車体上に設けた動力装置及びホッパと、ホッパの下方位置から延在するコンベヤ４０と、ホッパに受け入れた被検査物の検査データを検出する検出部５００と、検出部５００よりも下流側の位置で被検査物をコンベヤ４０上から除去する選別装置６０と、検出部５００で検出された検査データを基に算出された被検査物の特徴量を記憶部５９２から読み出した設定値と比較し、コンベヤ４０上の被検査物の品質の良否を判定する判定部５６４と、判定部５６４から入力された品質不良の被検査物の情報を基に選別装置６０を制御する選別装置コントローラ５８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板画像に基板の特徴が詳細な外観として表れていなくても顕微鏡などを必要とせずに基板画像上に検査領域を設定する。
【解決手段】画像処理部２２は、撮像部５１から出力される２次元画像情報ｋｋに基づく検査用画像情報ｐｐと、検査領域を定義する設計情報を含み製造工程／品種情報取得部１２から出力される検査用製造工程／品種情報ｍｍとに基づいて、基板画像上に検査領域を設定する。その過程で画像処理部２２は、設計情報に基づいて基板を表す設計画像を生成し、検査用画像情報ｐｐにより表される基板画像との照合を行う。 （もっと読む）

【課題】散発的な点を除いた自然な形で薄板の表面欠陥をグループ化できるようにする。
【解決手段】薄板コイルのプロセスラインや検査ラインに設置された自動疵検査装置で測定された疵データ（座標データを含む）を入力する疵データ入力部１０１と、疵データ入力部１０１によって入力された疵データに基づいて、例えばＫ-ｍｅａｎｓ法を用いて、薄板コイルの疵の分布形態を表わす初期クラスタを生成する初期クラスタ生成部１０３ａと、初期クラスタ生成部１０３ａによって生成された初期クラスタから散発的な分布をなすデータを分離して、集中的な分布をなすデータを含むクラスタを生成する分離部１０３ｃと、分離部１０３ｃによって生成された集中的な分布をなすデータを含むクラスタ同士を結合する結合部１０３ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】速度にムラのある搬送機構とラインカメラを用いて、周期パターンの欠陥を検出する。
【解決手段】赤、緑、青の蛍光体が塗布されているガラス基板に所定の波長の光源から光を照射する手段と、照射された光にてガラス基板に塗布された赤、緑、青の蛍光体が発光する光に応じた波長帯域の干渉フィルタを具備したラインセンサカメラにより蛍光体からの発光を取り込む手段と、ガラス基板を搬送する機構の搬送スピードに同期して上記ラインセンサカメラの露光時間を自動制御する手段と、搬送速度を変更しても一定の蛍光体発光を取り込んでデータをブロック化する手段と、検出したエッジ位置から差分処理する範囲及びピッチを自動変更する手段とを備えて、輝度ムラや位置ずれに応じた差分検出を行う。。 （もっと読む）

【課題】タイヤやタイヤ構成部材の表面の欠陥を高精度に検査することを可能とする。
【解決手段】タイヤ又はタイヤ構成部材の表面の検査における前記表面の撮像画像から欠陥領域を抽出するためのタイヤ検査用特徴抽出プログラムを作成するタイヤ検査用の特徴抽出プログラム作成装置１０は、前記タイヤ検査用特徴抽出プログラムを構成する複数種類の画像処理用フィルタを記憶するフィルタ記憶部１４と、前記タイヤ又は前記タイヤ構成部材の表面に発生し得る欠陥が撮像された原画像を記憶した原画像記憶部１６と、前記撮像画像を前記特徴抽出プログラムにより処理した際の目標となる目標画像を記憶する目標画像記憶部１８と、前記原画像と前記目標画像とに基づいて、遺伝的プログラミングにより前記複数種類の画像処理用フィルタの中から適応度が最大となる画像処理用フィルタの組み合わせを決定する遺伝的プログラミング部１２と、を備えている。 （もっと読む）