【課題】シール部材を設けた口金がライナーに組み付けられたタンクについて、簡単な構成で、シール部材の配置を検査することである。
【解決手段】タンク検査装置７０は、ライナー３０を軸方向周りに回転することができる回転台７２と、その回転軸に対する口金１０の偏心を測定する偏心測定装置７４とを含む。口金１０が組み付けられたライナー３０を回転台に載せ、口金１０の外周に偏心測定装置７４をセットし、ライナー３０をその中心軸周りに回転させる。偏心測定装置７４によって検出される偏心量が予め定めた許容範囲Ａを超えるときは、シール部材が口金の溝からはみ出していると判断される。また、ライナーと口金との間の組み付け部分を構造的に見ることができる場合には、ライナーと口金の間の隙間を検出することで、シール部材が口金の溝からはみ出していることを間接的に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および検査装置が備える位置検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネルモジュール１１に位置検出のためのアライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる制御部７と、アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて、その表示用パネルの位置を検出する画像処理部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】適正な検出条件の設定を容易に決定することが出来る欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置が、検査対象物を撮像して画像データを生成する撮像手段と、撮像手段の生成した画像データと第１の検出条件とに基づいて第１の欠陥の検出処理を実行し、第１の欠陥の検出処理により検出した欠陥の中心位置を検出する第１の欠陥検出手段と、第１の欠陥検出手段の検出した欠陥の中心位置を中心とする予め決められた大きさの画像である欠陥包含領域画像を撮像手段の生成した画像データから抽出する画像抽出手段と、画像抽出手段が抽出した欠陥包含領域画像と第２の検出条件とに基づいて第２の欠陥の検出処理を実行する第２の欠陥検出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】アライメントエラーによる検査エラーを引き起こすことなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査方法、欠陥検査装置、及びパターン抽出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一形態の欠陥検査方法は、パターニングがされた検査対象の欠陥検査を行う欠陥検査方法であり、前記検査対象（３０）のパターンデータまたは画像からアライメントを行うことが可能な形状を有するパターン（５０）を抽出し、このパターンを用いて前記検査対象の局所領域のアライメントを行う。 （もっと読む）

【課題】莢果の品質を適切に判別する。
【解決手段】莢果判別構造では、莢果２２を透過した透過光によって撮像された莢果２２の撮像画像を二値化処理する。さらに、二値化処理された莢果２２の二値化画像において、莢果２２の画素数に対する豆２６の画素数の比率を計算して、莢２４への豆２６の収容状態を判別する。しかも、莢果２２の画素数に対する豆２６の画素数の比率と所定数の閾値との大小関係に基づき、莢果２２が複数の等級の何れであるかを判別する。このため、莢２４への豆２６の収容状態についての莢果２２の品質を適切かつ明瞭に判別できる。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンの電気的な短絡と断線の位置を短時間で特定可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の回路パターン検査装置は、ガラス基板３上に列状に配設された導電パターン２に検査信号を供給する給電部１２と、その信号を検出するためのセンサ１３と、導電パターン２を含むガラス基板３上の短絡、突起、断線、欠落等を検出するカメラ５０とから概略構成されており、カメラ５０で撮像した測定画像データ上の不良箇所の座標データと、センサ１３で検出されたセンサ出力信号が正常ではない導電パターンの位置情報とを比較して、特定の導電パターン上の不良位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】安価な装置でワークの検査を迅速に、かつ精度良く行うことができるワークの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、ワークＷの表面画像を取得するカメラ３を備えている。カメラ３は、ワークＷ表面に形成された回路等の被検査部Ｗ３と、ワークＷの位置調整用のアライメントマークＷ１，Ｗ２とが形成されている。カメラ３は、被検査部Ｗ３の画像を取得する際に、アライメントマークＷ１，Ｗ２の画像も取得する。装置本体４は、アライメントマークＷ１，Ｗ２の画像データからワークＷの位置ずれを検出し、欠陥の発見された位置のデータに対して必要な補正を加える。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板の気泡起因の突起欠陥と、異物起因の突起欠陥と、表面のうねり(ラフネス)を、正確に判別して、欠陥検査を行う。
【解決手段】検査対象基板とほぼ垂直な方向から光束を照射し、その照射光によって発生した反射光の強弱を光学センサで受光する工程と、この光学センサで検出した信号に基づいて画素ごとの階調分布を算出し、階調の極大値の座標を算出する工程と、前記検出した信号に基づいて画素ごとの２値化処理した画像を作成し、欠陥候補部の形状を認識し、この形状の重心の座標を算出する工程と、前記極大値の座標と前記重心の座標の位置関係によって欠陥の種類を判別する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産環境の変動に応じて動的に検査ロジックを設定することにより検査精度を向上させる検査制御装置を実現する。
【解決手段】良不良の判別結果を示す最終検査結果を生成するのに検査モジュール２０が用いるメイン検査ロジックＬ１を、複数の検査ロジックの中から選択する検査ロジック選択部３４と、メイン検査ロジックＬ１の最終検査結果と、メイン検査ロジックＬ１と異なる検査ロジックを用いてワークの良不良を判別したときの評価用検査結果とに基づいて、各検査ロジックの検査精度を評価する検査ロジック評価部３３とを備え、検査ロジック選択部３４は、検査ロジック評価部３３の評価結果に基づいて、メイン検査ロジックＬ１を選択する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方式で画像比較を容易に実行可能な拡大画像装置および拡大観察方法を提供する。
【解決手段】第１の画像表示領域１１に表示された指定点１１Ａと、第２の画像表示領域に表示された指定点１２Ａを一致させるとともに第１の画像表示領域１１に表示された指定点１１Ｂに対して第２の画像表示領域に表示された指定点１２Ｂとを一致させるように第２の画像表示領域に表示された画像Ｐ２の位置および倍率を変更して、第１の画像表示領域に表示された画像Ｐ１と第２の画像表示領域に表示された画像Ｐ２の位置および倍率を変更した画像とを重ね合わせ処理して合成画像を重ね合わせ表示領域１３に表示する。 （もっと読む）

【課題】液体試料に存在する異物の水平方向の位置を検出することが可能な異物検出装置及び異物検出方法を提供すること。
【解決手段】試料又は試薬を含む液体試料中に存在する異物を検出する異物検出装置２０。液体試料に鉛直方向に沿って光を照射する光源２１と、光源から照射され、液体試料からの反射光或いは透過光によって液体試料を撮像するＣＣＤカメラ２２と、ＣＣＤカメラが撮像した画像情報に基づいて液体試料の水平面内の輝度分布を求め、求めた輝度分布に基づいて液体試料中に存在する異物Ｓfの水平方向の存在位置を特定する画像処理装置２３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ各部の検査画像の撮像にあたり、ウェハのソリに対処しつつフォーカス補正を容易に行え、検査時間を大幅に短縮できる外観検査方法および外観検査装置の提供。
【解決手段】ウェハをアライメントする際（Ｐ１）に用いられるアライメントパターンについてのマーク合焦位置を測定し（Ｐ２）、このマーク合焦位置を基にウェハのソリ形状を求め、このソリ形状からウェハの被検査面の各部における各部合焦位置を算出するので（Ｐ３）、ウェハの被検査面の各部ごとにフォーカス調整（合焦）することが不要となる。すなわち、ウェハの各部ごとに合焦する手間が掛かることなく、ウェハ各部における合焦位置を得ることができるので、孔が明いていたり裏面側への接触が不可とされたウェハのソリに対処しつつフォーカス補正を容易に行うことができ、ウェハの外観検査に要する時間を大幅に短縮できる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、炭素繊維布帛の欠点を簡便、かつ、高精度で、信頼性高く検査できる炭素繊維布帛の検査装置および検査方法を提案すること。
【解決手段】
本発明の炭素繊維布帛の検査装置は、炭素繊維布帛を移動させる送出装置と巻取装置と、それらの間に設置する、少なくとも次の（ａ）〜（ｈ）の手段を備えることを特徴とする炭素繊維布帛の布帛欠点の位置および種類を検出する検査装置である。
（ａ）照明手段
（ｂ）画像取得手段
（ｃ）遮光手段
（ｄ）撮像した取得画像を数値化した布帛情報に処理する画像処理手段
（ｅ）炭素繊維布帛形態を数値化した布帛情報を予め基準情報として登録しておく記憶手段
（ｆ）布帛情報と基準情報とを比較して、布帛欠点の在否、および、欠点の位置ならびに種類を判別する判別手段
（ｇ）出力手段
（ｈ）炭素繊維布帛の移動量または前記画像取得手段の移動量を検出する移動量検出手段 （もっと読む）

【課題】簡便かつ正確なブラックマトリクス形成用樹脂組成物中の異物の検査方法を提供する。
【解決手段】基板にブラックマトリクス形成用樹脂組成物が塗布された試料の表面にエネルギー線を照射走査する走査工程と、前記試料の表面から反射された反射光を検出する反射光検出工程と、この反射光検出工程により検出された画像をデジタル情報に変換する変換工程と、この変換工程により得られた画像の前記基板上におけるｘ−ｙ座標を割り当てる座標軸作成工程と、この座標軸作成工程と前記反射光検出工程から得られる画像に基づいて異物を検出する異物検出工程と、この異物検出工程に基づいて、異物を特定する異物特定工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】異物が付着している製品の所要部分の幅を異物の影響を排除して、正確に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】異物が付着した製品の測定対象部位の画像を撮影し、多数本（好ましくは７本以上）の平行な測定線上の明度差から各測定線上における測定対象部位の幅値を求め、これら多数の幅値のうち上位１／３以上の個数を除いて平均値を算出する。異物の付着部分の幅値は除外されるので、正確な測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクション処理（信号ノイズの低減）を行う場合でも、画像から選択した直線部の傾きやコントラストの不均一に影響されず、正確に重ね合わせずれ量を求める。
【解決手段】 基板１１の異なる層に形成された第１マークと第２マークの画像を取り込む手段２６と、第１マークの第１直線部から生成した第１信号波形と、第２マークの第２直線部から生成した第２信号波形とを用いて、第１マークと第２マークとの重ね合わせずれ量を求める手段２７とを備える。そして、少なくとも一方の信号波形を生成する際に、直線部の異なる複数の箇所で、それぞれ、該直線部を測定方向に横切ったときの明暗変化を抽出し、該明暗変化のコントラストを互いに揃えた後、該明暗変化を測定方向と垂直な方向に積算する。 （もっと読む）

【課題】多面取り基板の分割後検査は、最終検査として自動化が必要であったが、収納容器に収納された複数の基板が基板収納箇所内でフリー状態にあって、それぞれが位置ずれを起こすために、基板１枚ずつを精確に固定して検査する従来検査装置では検査ができないという課題があった。
【解決手段】１次元センサで収納容器の全景画像を撮像し、基板収納箇所内での基板の位置ずれ範囲よりも大きな補正範囲を有する補正マークを各収納箇所に設定し、基板のＩＤ番号に従って順次検査するようにしたので、上記課題が解決し分割後基板の一括自動検査が実現する。 （もっと読む）

【課題】帯状体表面の欠陥を、蛇行しているときにも検出できること、及び欠陥の大きさ、種類、形状も認識できること。
【解決手段】ガイドロール(4)(5)に巻装されて走行する磁気テープ(3)に対向して配設されるラインＣＣＤカメラ(6ａ、6ｂ、6ｃ、6ｄ、6ｅ)と、磁気テープ(3)を照射する光照射手段(9)と、磁気テープ(3)の走行速度を検出するパルス発生器(11)と、ラインＣＣＤカメラの撮像した画像を処理する画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)とを具備し、画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)は少なくとも磁気テープ(3)の一方の縁部と表面上の欠陥を認識させ、パルス発生器(11)の出力に基づく磁気テープ(3)の走行方向における欠陥の位置と、縁部から欠陥までの距離とを演算するようにした。 （もっと読む）

【課題】検出感度や異物座標検出誤差の機差が小さく、異物等の欠陥の高い位置座標精度が得られるウェハ表面欠陥検査装置およびその方法を提供することである。
【解決手段】第１の光源からの射出ビームを回転するウェハの表面上に照明してビームスポットを形成してウェハ表面上の異物等の欠陥による散乱光を複数方向で検出して信号として出力し、第２の光源からの白色光または広帯域の光を用いてウェハ面の上下動を検出してその情報に基づいてウェハ面上のビームスポット位置を補正してウェハ面上下動に伴う座標誤差を抑制するとともに、第1の光源における光の射出方向および射出位置を補正して第1の光源の変動による座標誤差を抑制することで検出する異物等の欠陥の座標精度を向上する。さらに照明ビームスポット径を補正し、検出感度や異物座標検出誤差の機差を抑制する。 （もっと読む）

【課題】被検査面に互いに曲率の異なる箇所が含まれる場合にも、被検査面全体に対し、正反射光像に基づく検査を実行できるようにする。
【解決手段】カメラ１と、カメラ１の光軸に沿う照明光を出射可能な照明装置２とを固定配備し、検査対象のワークＷを６軸ロボット３の先端アーム３５に装着して検査を実施する。検査に先立つ準備モードでは、ワークＷの被検査面を複数の撮像対象領域に分けて撮像するように、ワークＷの位置および姿勢が定められ、さらに生成された画像に対する検査対象領域が定められる。このとき、被検査面に含まれるいずれの箇所も、必ず１または２以上の画像の検査対象領域内に現れるとともに、いずれの画像の検査対象領域も正反射光像領域内に含まれるように設定する。 （もっと読む）