【課題】溶接部の断面プロフィールから、溶接部上の表面欠陥の大きさや深さを従来よりも簡便に精度よく検出する。
【解決手段】溶接部の断面プロフィールを抽出し、断面プロフィールの変化度を求める。変化度の大きい最も外側の左右の急変部を左右の止端部とする。左右の止端部に挟まれた内側のビード部を、欠陥部に相当する急変部以外の断面プロフィールデータを使って第１の関数で近似する。左側の止端部より左外側の母材部を第２の関数で、右側止端部の右外側の母材部を第３の関数で近似する。第１と第２の関数の交点を左止端点、第１と第３の関数の交点を右止端点として求める。左右止端点を区分点とし、第１と第２、第３の関数で表される区分的近似曲線を基準線として、もとの断面プロフィールから差し引く。 （もっと読む）

【課題】３次元計測に基づく欠陥検出の高精度化および高速化を図る。
【解決手段】欠陥検出処理部１００は、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１を非欠陥点群データ１０１２と欠陥点群データ１０１３とに分類し、欠陥点群データ１０１３が除去された観測点群データ１０１１を使用することで参照点群データ１０１４との位置合わせを行い、その観測点群データ１０１１を参照点群データ１０１４と比較することにより、その観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点を判別し、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１から欠陥点群データ１０１３を検出する。 （もっと読む）

【課題】平面に沿って分布した特性をもつ解析対象データが特定の分布形状パターンに類似しているかどうかを評価する分布解析方法および装置であって、様々な要因によって解析対象データが変動したとしても、常に精度良く評価を行えるものを提供すること。
【解決手段】分布形状パターンを、解析対象データを定めた平面に対応する平面を格子状に複数の矩形領域に区画するとともに、各矩形領域毎に、解析対象データの特性値の相対的な大小関係を表すように或る数値範囲内で多値を取り得る濃度値を付与して定義する（Ｓ１０１）。分布形状パターンに類似し、かつ複数の解析対象データの間で生じる変動を反映した代表データを作成する（Ｓ１０２）。解析対象データが代表データに類似している度合いを表す類似度を求める（Ｓ１０３）。この類似度に応じて上記解析対象データが上記分布形状パターンに類似しているかどうかを評価する。 （もっと読む）

【課題】撮像画像を処理する画像処理装置において、画像検査に不慣れなユーザでも容易に迅速に検査設定できるようにする。
【解決手段】画像処理装置は、複数の検査プログラムが格納された記憶部と、ユーザ操作で所望の検査設定を行う検査設定部と、装置全体を制御する制御部とを備え、検査設定部は予め複数の設定項目を含むデータテーブルが設けられている。検査設定において、ユーザは検査目的の項目を選択する第１の決定ステップ（Ｓ２１１）と、対象物の画像の特徴を選択する第２の決定ステップ（Ｓ２１２）と、検査基準の項目を選択する第３の決定ステップ（Ｓ２１３、Ｓ２１５）とにより、各設定項目を決定すると、制御部はユーザの最終設定項目の検査基準に適合する検査プログラムを自動的に設定する（Ｓ２１４、Ｓ２１６）。これにより、検査プログラムの選定を直接行わなくてよいので、不慣れなユーザでも容易に迅速に検査設定することができる。 （もっと読む）

【課題】パターンの寸法測定に際して寸法測定範囲（ＲＯＩ）を自動的に設定する。
【解決手段】実パターンの輪郭ＥＲ１〜ＥＤＲの像と、実パターンの設計図形とのマッチングを実パターンの画像上で行い、設計図形の輪郭線ＥＤ１〜ＥＤ４に内接または外接する円ＣＬ１〜ＣＬ１０を設計図形に当てはめ、円ＣＬ１〜ＣＬ１０と輪郭線ＥＤ１〜ＥＤ４との接点を基準に寸法測定範囲（ＲＯＩ）ＲＡ〜ＲＨ，ＲＪ〜ＲＱ，ＲＳ，ＲＴを決定する。 （もっと読む）

【課題】表示装置の形状に拘束されることなく、表示装置と撮像装置との相対位置を簡易に算出することができ、この結果、表示装置の表示方向と撮像装置の撮像方向とが一致するように両者の相対位置を調整する作業も簡易に実行することを課題とする。
【解決手段】撮像装置によって同一の撮像方向から焦点が異なる複数の態様で表示装置の表示面を撮像して得られた複数の画像から、表示面に設定された複数の領域に対して焦点が適合している画像を複数の領域ごとに検索し、検索された複数の画像を用いて、実空間における複数の領域それぞれの位置を算出し、当該位置から表示装置における表示方向と撮像装置における撮像方向との相対位置を算出し、算出された表示方向と撮像方向との相対位置を用いて、前記表示方向と撮像方向が一致するように表示装置と撮像装置との相対位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の注目点の数が多くても、それより遥かに少ない合理的な数のランダムな注目点を選定して、測定画像とそのレファレンス画像とを位置合せする。
【解決手段】レファレンス画像におけるＭ個の注目体の分布範囲における第１の重心位置から最も遠距離にある１番目の注目体の位置をＰ１として、１番目から「ｋ−１」番目の各位置より最も遠距離の位置をＰｋとして、位置Ｐｋをｋ＝１からＮ（整数、Ｎ≪Ｍ）まで求められた各位置Ｐ１，・・・ＰＮ及び前記第１の重心位置を記憶する記憶手段４と、測定画像における第２の重心を求める重心位置算出手段５ａと、第１の重心位置と第２の重心位置を同じ位置にして双方の画像を重ねる合成手段５ｂと、重ねられたレファレンス画像の各位置Ｐ１、Ｐ２、・・ＰＮとそれらの各位置に対応する測定画像の各位置Ｑ１、Ｑ２、・・・ＱＮが重なるように回転させる回転角算出手段５ｃと、を備えた。 （もっと読む）

【目的】検査対象試料の画像を適切に補正した補正画像を生成する装置を提供することを目的とする。
【構成】補正パターン画像生成部２００は、任意座標の画像データに対して、第１の予測モデルに基づく連立方程式を生成する手段２１０と、連立方程式における係数を演算する手段２１２と、係数のｘ方向成分要素和とｙ方向成分要素和を演算する手段２１７と、両画像の位置ずれ量から第２の予測モデルに基づく連立方程式のｘ方向成分係数とｙ方向成分係数とを演算する手段２１８と、第１の予測モデルに基づく一方の方向成分の要素和と第２の予測モデルに基づく逆方向成分の係数とを合成する手段２２０と、合成された合成係数を第１の予測モデルに基づく連立方程式の係数として用いて、任意座標の補正パターン画像データを演算する手段２２２とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＤデータを用いて基板の外観検査を行うに当り、基板画像のゆがみにかかわらず、虚報率を低く抑える。
【解決手段】撮影された基板画像の観測データであって、基板画像の変形を反映した観測値Ａを求める基板観測手段１００と、ＣＡＤデータから作成された設計画像に関して、設計値ａを求める設計値算出手段２００と、Ａ／ａで与えられる変形パラメータを算出する変形パラメータ算出手段２０と、変形パラメータを設計値ａに作用させて設計画像を参照画像へと変形する参照画像作成手段３０と、基板画像と参照画像のそれぞれの画像内位置に関係づけられた基板属性と参照属性との一致度を、基板画像及び参照画像の相対的位置を変化させながら算出し、一致度が最大となる点で基板画像と参照画像とを重ね合わせる画像重畳手段４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】シミ欠陥を高精度に検出することができるシミ欠陥検出方法およびシミ欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】シミ欠陥強調フィルタを用いてシミ欠陥候補を検出し、シミ欠陥輝度フィルタを用いてシミ欠陥候補の輝度情報（コントラスト）を算出し、算出したシミ欠陥候補の位置情報および輝度情報に基づいてシミ欠陥を判定することで、シミ欠陥の検出精度が向上できる。そして、シミ欠陥検出処理工程（ステップＳ４）では、対象画素と輝度比較画素との輝度差の最小値を対象画素のシミ欠陥強調値とし、シミ欠陥評価処理工程（ステップＳ５）では、対象画素と輝度比較画素との輝度比の最大値を対象画素のシミ欠陥輝度値とすることで、シミ欠陥検出精度の向上を促進できるとともに、検査員の目視によるシミ欠陥検出と同様の検出結果を得ることができ、検査対象の表示品質を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】欠けの大きさを簡単、且つ高速で判定できる輪郭部の欠け検査方法およびその装置を目的とするものである。
【解決手段】 二値化された撮像画像の輪郭部周辺を、一定のピッチでマスキング領域が減少されるマスクによりマスキングし、一定のピッチ毎に得られる非マスキング領域画像における欠け画像の連続性をもつ座標値およびその面積中心に基いて、同じ欠け画像を有する非マスキング領域画像の枚数をカウントし、ピッチ間隔にカウント数を積算して欠けの大きさを判定する方法と、前記方法を撮像画像を二値化画像に変換する二値化手段21と、一定のピッチでマスキング領域を減少させてマスキングするマスク手段24と、欠け画像を有する非マスキング領域画像を抽出する抽出手段25と、非マスキング領域画像数をカウントするカウント手段27と、非マスキング領域画像のカウント数にピッチ間隔を積算して欠けの大きさを判定する判定手段28とにより行う装置である。 （もっと読む）

【課題】被検査対象の外観検査時間を短縮し、さらに、画像を保存するためのメモリ容量を低減する。
【解決手段】被検査対象の外観の合否を判定する外観検査装置１０１において、被検査対象５０または６０を撮像する複数のカメラ１６０ａ及び１６０ｂと、被検査対象の画像に基づいて、被検査対象の外観の合否を判定する検査処理部２３０と、複数のカメラと検査処理部との間に設けられ、かつ、合成画像出力モード及び非合成画像出力モードのいずれか一方を行うイメージ合成／非合成部２２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査システムおよび方法において、基板の各レイヤーでの欠陥検査で、それより下層レイヤー、すなわち前の製造工程で形成された欠陥が検出される場合でも、下層レイヤーの欠陥を簡素かつ容易に除去し、欠陥検査の効率、精度を向上することができるようにする。
【解決手段】欠陥検査システムは、被検体の欠陥抽出を行って、抽出された欠陥の欠陥情報および位置情報を検査結果として取得する検査部３０と、検査結果を、各検査実行時の直前の製造工程の工程順番情報とともに保存する結果保存部２０と、結果保存部２０に保存された欠陥の位置情報を比較して略同一位置の欠陥を重複欠陥群として検出し、同一被検体内の重複欠陥群において工程順番情報を比較して後工程側の重複欠陥をすべて削除し、検査結果を補正する結果比較部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、従来の検査方法を用いて、簡単に表面付着異物の欠点を判定し、表面付着異物は欠点として扱わないようにデータ処理する検査データ処理装置及び検査データ処理方法を提供することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理装置１であって、
光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして処理する欠点情報作成部６を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ユーザごとの判定条件を用いる事で歩留まり向上、製造コスト低下、生産性を大幅に改善することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査する欠点検査装置１０であって、シート状製品を構成する単層体及び／又は積層体であって、シート状製品表面の保護層が設けられていない状態で当該単層体及び／又は積層体の欠点を検出する欠点検出手段と、欠点検出手段で検出された欠点に関する情報である欠点情報を作成する欠点情報作成手段とを備え、欠点情報は、枚葉のシート状製品を製造するために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象の液体中に気泡が含まれている場合であっても、異物と気泡を区別して、良好な精度で異物を検出することが可能な異物検出装置及び異物検出方法を提供する。
【解決手段】異物検出装置（１）は、検査対象の液体が流れる測定管（２）に設けられた外部から視認可能な透過部（２４）を照明する光源部（３）の発光と同期して、透過部（２４）を流れる液体を撮影した検査画像を取得する撮像部（４）と、所定の閾値で２値化することによって検査画像を高輝度領域と低輝度領域に区分し、その低輝度領域を、異物候補領域として検出する異物候補領域検出手段（５４）と、異物候補領域の円形度を表す特徴量を少なくとも一つ抽出する特徴量抽出手段（５５）と、特徴量抽出手段（５５）で抽出された少なくとも一つの特徴量が所定の条件を満たす場合、異物候補領域は、異物の像であると判定する判定手段（５６）とを有する。 （もっと読む）

【課題】曲面を持つ光学部材であっても暗視野照明を用いて高い精度で異常部位を検出することができる光学部材検査装置を提供すること。
【解決手段】光学部材検査装置は、透過性ある被検物に対して光を入射させる光源部と、被検物を含む被検光学系と、光源部から照射された光の光路中であって光源部と被検光学系の間に配設される遮光絞りと、被検物が載置される載置手段と、被検光学系を介した光が入射する撮像光学系、および撮像光学系に対して被検物と共役な位置関係にある撮像手段と、被検物の光学中心と遮光絞りの中心が略同一直線上に位置するように、被検物および遮光絞りの相対位置を調整する位置調整手段と、を有し、位置調整手段により位置調整された状態において、各部材が所定の条件を満たす構成にした。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板を検査する際の、欠陥の誤検出の低減に関する。
【解決手段】被検査対象の電気回路デバイス上の少なくとも１つの領域の光学検査出力を提供する光学検査手段と、少なくとも１つの領域のアルゴリズム検査出力を提供するアルゴリズム検査手段であって、光学検査出力に基づいて、オペレータに対して、少なくとも１つの領域を視覚的に認識可能に表示するディスプレイと、検知されたオペレータの反応とアルゴリズム検査出力との間の不一致の指標を提供するためのディスプレイコントローラとを備える、電気回路デバイスのための光学検査システム。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に存在する加工部が欠陥の有無の判別に与える影響を排除して正確な検査を実施でき、かつ処理の高速化を図ることが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の円筒状の表面に対応する２次元画像内の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する表面検査装置において、２次元画像上に出現すべき加工部の像２０３ａ〜２０３ａ、２０４を、加工部毎に別々の基準画像２１１、２１２として保持するとともに、表面の軸線方向に相当する軸線相当方向における加工部の像の位置ｙ１、ｙ２、及び表面の周方向に相当する周相当方向に関して同一の加工部の像が存在すべき個数を基準画像２１１、２１２と対応付けて保持する。基準画像、該基準画像に対応付けられた位置及び個数に基づいて、２次元画像上で欠陥判別の対象から除外されるべき領域を特定し、その特定された領域外における画素の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】外観装置スペースの拡大や、余分な設備投資を必要としない板状体の板状体の検査方法、検査装置、およびクリーニングブレードを提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、
投光装置１５と、１つの撮像装置１３と、記憶装置および処理装置１６とを有する。投光装置１５と撮像装置１３とは対向して配置されており、これらの間の撮像範囲に透光性を有する板状体１２が配置される。投光装置１５により光が照射された状態の板状体１２を１つの撮像装置１３が撮像する。１つの撮像装置１３は板状体１２のエッジを含めるようにして撮像する。処理装置は、１つの撮像装置１３が撮像した画像と、記憶装置に予め記憶しておいた板状体１２の寸法の基準となるゲージの画像とを比較して板状体１２の寸法を検査するとともに、１つの撮像装置１３が撮像した画像中の影を板状体１２の欠陥として判定する。 （もっと読む）