【課題】管状体の内表面に発生しうる凹凸疵及び模様系の疵を同時に検出すること。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出装置は、管状体の軸方向に沿って移動しながら管状体の内表面に対して環状のレーザ光を照射して環状ビーム画像を複数生成する管状体撮像装置と、生成された環状ビーム画像に対して画像処理を行い、管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、各環状ビーム画像における環状のレーザ光の照射部分の重心位置を算出する環状ビームセンター算出部と、環状ビーム画像の座標系を変換して光切断画像を複数生成する座標変換部と、各光切断画像から生成された縞画像フレームに基づき管状体の内表面の凹凸状態を表す深さ画像及び管状体の内表面でのレーザ光の輝度分布を表す輝度画像を算出する画像算出部と、算出された深さ画像及び輝度画像に基づき内表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易迅速に潤滑油中の異物の性状、大きさを検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置４０Ａは、ディーゼルエンジン１０に供給される潤滑油３２の一部を新油３２Ａとして抜き出す新油分取ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を使用油３２Ｂとして抜き出す使用油分取ラインＬ１２と、新油分取ラインＬ１１および使用油分取ラインＬ１２から抜き出した新油３２Ａ、使用油３２Ｂ中に含まれる異物の外形を画像により検出する検出装置４１と、を有し、検出装置４１で得られた検出結果から使用油３２Ｂ中に含まれる異物を検出し、かつディーゼルエンジン１０の運転継続の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】広範囲領域でのスポット溶接の有無、およびスポット溶接位置の検査を可能とするスポット溶接検査方法および装置を提供する。
【解決手段】スポット溶接を施した溶接母材に対して斜光を照射する第１の投光機と、上方から溶接母材の画像を取得する撮像機と、第１の投光機および撮像機を搭載し、溶接母材に対する位置調整可能な走査装置と、撮像機からの画像情報を処理する処理装置から構成され、処理装置は、撮像機から得られた３階層レベルの輝度の第１の画像から、中間輝度レベルと中間輝度レベル以外の輝度の２階層レベルの輝度で構成された第２の画像を得、中間輝度レベル以外の輝度の部分をスポット溶接のエッジ部分とする第１の手段、第１の手段によるエッジ部分からスポット溶接の中心位置を決定する第２の手段を備える。 （もっと読む）

【課題】熱硬化型接着剤が硬化した樹脂部を検査対象とする場合において、樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる電子部品の実装状態検査方法を提供する。
【解決手段】基板３の電極３ａ上に端子４ａを有するチップ型電子部品４を半田粒子入りの熱硬化型接着剤を介して搭載した後、この基板３を加熱することにより半田粒子を溶融させて端子４ａと電極３ａとを接合する半田部１５ａを形成するとともに、熱硬化型接着剤を硬化させて樹脂部１５ｂを形成した状態の実装済基板において、基板３に実装されたチップ型電子部品４を撮像して画像データを取得し、この画像データに基づき基板３上におけるチップ型電子部品４の装着状態を検査するとともに樹脂部１５ｂのチップ型電子部品４の周囲における分布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の検出、並びに欠陥タイプ及び欠陥原因の分類を行う。
【解決手段】検出された欠陥の画像に関する欠陥マスク画像を受け取るステップと、複数のランドマークマスク画像を受け取るステップ（３０４）と、第１のランドマークマスク画像を用いて、上記検出された欠陥と上記第１のソースラインとの間のソース欠陥接続性計測を算出するステップ（５００）と、第２のランドマークマスク画像を用いて、上記検出された欠陥と上記第１のゲートラインとの間のゲート欠陥接続性計測を算出するステップ（５０２）と、上記ソース欠陥接続性計測及び上記ゲート欠陥接続性計測が共に０でない場合に、上記ソース欠陥接続性計測及び上記ゲート欠陥接続性計測に基づいて、上記検出された欠陥に関する欠陥タイプを識別するステップと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板（被検査物１０６）の表面に光を照射する投光装置１０１と、この電極パターンを撮像する撮像装置１０２と、電極パターンを撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、撮像装置１０２で撮像した電極パターンの画像と予め登録した電極パターンの原画像とを比較して電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、電極パターンで反射した反射光の輝度と、ガラス板で反射した反射光の輝度との差が所定以上になるように投光装置の光量が設定されている。 （もっと読む）

【課題】
試料全面を短時間で走査し，試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】
光源から発射されたパルスレーザをパルス分割し、パルス分割したパルスレーザを回転しながら一方向に移動している試料の表面に照射し、パルス分割されたパルスレーザが照射された試料からの反射光を検出し、反射光を検出した信号を処理して試料上の欠陥を検出し、検出した欠陥に関する情報を表示画面に出力する欠陥検査方法において、パルス分割したパルスレーザの光強度の重心位置をモニタし、モニタしたパルス分割されたパルスレーザの光強度の重心位置を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】欠陥群のパターン依存性を定量化する。
【解決手段】パターンが形成されたウェハに発生した欠陥を検出し、検出した欠陥の発生位置を出力する検査装置１が使用する欠陥位置を指し示すための座標系と、パターンの設計データにおいて使用される座標系と、の間の位置関係を複数設定する（ステップＳ３、Ｓ４）。そして、設定された位置関係の夫々を用いて検査装置１が出力した欠陥位置と設計データとを位置合わせし、設計データから欠陥位置が位置合わせされた部位の局所パターンを位置関係毎に抽出する（ステップＳ６）。そして、抽出した局所パターンを図形的特徴の一致度に基づいて分類し、分類パターン数を位置関係毎に算出する（ステップＳ７）。そして、算出した位置関係毎の分類パターン数を用いて欠陥群のパターン依存度を算出する（ステップＳ９）。 （もっと読む）

【課題】サンプリング単位を従来よりも小さくした場合、欠陥がサンプリング単位を跨る場合が増える。その結果、分類精度が悪化してしまう。
【解決手段】基板を検査する検査装置において、光を基板へ照射する光学系と、前記基板からの光を検出する複数の検出器と、前記複数の検出器ごとの検出結果を閾値処理する第１の処理部と、前記検出器ごとの閾値処理結果の論理和を取る第２の処理部と、前記論理和結果についてラベリング処理を行う第３の処理部と、前記ラベリング処理結果から領域情報を算出する第４の処理部と、前記ラベリング処理結果から指向性情報を算出する第５の処理部と、前記領域情報と前記指向性情報とを使用して欠陥の種類を特定する第６の処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】輪郭線近傍の欠陥であっても高い精度で存在を検出することができ、高い精度で良品判定を行うことができる画像処理装置、画像処理方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】取得した各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出し、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の平均値を算出する。算出した平均値を中心として、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の相互相関分布領域を算出する。判定対象物に関する第二の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出し、算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、算出してある各第一の多値画像の画素ごとのエッジ強度の相互相関分布領域に含まれているか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】基板の反りに起因する検査対象部の位置ずれを簡易に測定して補正することができる基板外観検査装置および基板外観検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板外観検査装置１は、基板に反りが生じていない場合に撮影手段（カメラ１１）の視野内の基準となる位置に基準パターンが位置するように設定された相対位置において、撮影手段により、基板の反りに起因する基準パターンの位置ずれ量を測定するための基準位置ずれ量測定用画像を取得し、当該画像内における基準パターンの位置と基準となる位置との距離を基準位置ずれ量として測定する基準位置ずれ量測定手段（基準位置ずれ量測定部２６）と、基準位置ずれ量および基準パターンの基板上の位置に基づいて基板の反り起因する検査対象部の位置ずれ量を推定し、相対位置を当該位置ずれ量分補正する相対位置補正手段（補正座標算出手段２７）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板内の全ての欠陥に対して複数の閾値によって欠陥画像を処理して欠陥の種類の判別と良否判定を行う事により、顕微鏡による確認作業負荷を削減する事を可能とし、作業効率を向上させる検査システムを提供する。
【解決手段】基板の欠陥不良を検出する検査システムであって、基板の製造工程内あるいは製造後に予め自動欠陥検査装置によって検出された欠陥の欠陥検出情報に基づいて、前記基板を搬送する手段と、前記基板を照明する手段と、前記欠陥を撮像する手段と、前記撮像した欠陥の画像を処理する画像処理手段と、を備え、かつ、前記処理された欠陥画像を複数の閾値で２値化する機能と、前記２値化された欠陥の位置座標から同一欠陥を判別する機能と、前記同一欠陥と判別された欠陥の欠陥種類判別と良否判定する機能と、を備えたことを特徴とする検査システム。 （もっと読む）

【課題】噴射装置から噴射される流体の噴射方向を精度良く測定することができる噴霧測定方法及び噴霧測定装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、実空間上で噴口３２から燃料を噴射した際に面状光２０上に形成される噴霧断面画像４０を取得し、噴霧断面画像４０上で抽出した噴霧断面像４０ａに対応する重心算出領域Ｄを可変設定するとともに、可変設定された重心算出領域Ｄ内の各画素の輝度を重みとして当該重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇを算出し、重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇと中心位置Ｐｃとが設定誤差範囲内で一致するときノズル３１から重心位置Ｐｇに向かう方向を噴霧方向として特定する。これにより、インジェクタ３０から噴射される燃料の噴射方向を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 診断対象を変質させない非破壊検査で診断できて、現場で簡便に実施でき、かつ劣化度を高精度に定量的に評価できるようにする。
【解決手段】 原画像のデータを処理し、防水シートの劣化に伴って現れる要素として定められた画像の複数種類の特徴量抽出する。この抽出した各種類の特徴量を、重回帰分析によって解析し、防水シートの破断時の伸び率の保持率である残存品質を求める。画像処理では、クラック領域と非クラック領域とに２値化処理によって領域分割する。前記複数種類の特徴量として、クラックの大きさに係る特徴量である、クラック領域の占める面積比率、距離変換で得る平均幅を用い、さらに局所的最大値による特徴量、および隣接ピクセルを比較することによって得られる特徴量を用いる。 （もっと読む）

【課題】 端子取付部の画像を撮影して端子圧着不良の検出を行うに当たって、画像の位置調整の処理を簡単化する。
【解決手段】 端子付き電線４を移動させたまま端子部の画像データをカメラ２で撮影し、取得した画像データについて、所定の枠内において、電線を横切る方向に、複数回平行に走査して各ライン毎に輝度の重心点を求め、各重心点に基づいて第１の座標軸を決定する。また、前記画像データ全体について、電線を横切る方向に、複数回平行に走査してライン毎に、隣接する画素間の輝度の差を積算して、積算値の変化パターンを生成し、該変化パターンを前記第１の座標軸方向に移動させながら、基準パターンと比較し、最も一致する位置に基づいて、前記第１の座標軸と直交する第２の座標軸を決定する。そして、両座標軸を基準として前記画像データの位置を調整し、端子圧着状態の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】帯状体の表面に発生しうる周期欠陥の検出精度の向上を図ることが可能な周期欠陥検出装置、周期欠陥検出方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】決定された初期設定位置ごとに複数の追跡点を設定する追跡点設定部と、設定された追跡点をそれぞれ移動させる追跡点移動部と、移動前の追跡点を含む予め規定された大きさの第１領域の画像と、移動後の追跡点を含む第２領域の画像とに基づく類似度を評価値として追跡点ごとに算出する追跡点評価部と、評価値に基づいて周期欠陥が含まれる第２領域を検出する欠陥検出部とを備え、追跡点設定部は、追跡点評価部が追跡点ごとの評価値を算出すると評価値に対応する移動後の追跡点を複数複製して追跡点を再設定し、欠陥検出部は、追跡点設定部、追跡点移動部、および追跡点評価部にける一連の処理が予め規定された回数繰り返された場合に評価値に基づく検出を行う周期欠陥検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】被覆が剥離された被覆電線端部の良否をより一層的確に検査することのできる被覆電線検査装置を提供する。
【解決手段】被覆が剥離された被覆電線Ｒの端部の状態を検査する被覆電線検査装置Ｂであって、前記被覆電線Ｒを搬送する搬送ユニットと、被覆が剥離された前記被覆電線Ｒの芯線Ｓを撮像する撮像手段３ａ、３ｂと、該撮像手段３ａ、３ｂにより撮像された画像に基づいて前記剥離の良否を判定する判定手段６と、該判定手段６による判定が不良であった場合に、前記剥離の良否を目視で判定すべく、前記被覆電線Ｒを前記搬送ユニットにより前記撮像手段３ａ、３ｂ側に搬送させて、該撮像手段３ａ、３ｂにより再度撮像される前記芯線Ｓの画像を表示する表示手段７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置において、高精度化，ウェーハの大口径化や、検査の高機能化（マルチセンサなど）により処理すべきデータは年々、増加し、装置容積に占める信号処理部分の比率が増している。また、高機能化により、装置立ち上げ時の評価検査作業も増えている。その一方で、装置容積、コストの面から小型化が求められている。本発明の目的は、必要最低限の規模で一般検査が可能な装置構成を提供することである。
【解決手段】検出器単位で処理機能を分離することにより、一般検査時に不要な信号処理部を取り外し可能にする。また、パラメータ決定作業に使用される評価機能を備えた信号処理部も接続可能にする。 （もっと読む）

【課題】製品の表面にある特異部分の分布に関する特徴を検出すること。
【解決手段】特異部分分布特徴検出装置１００は、製品の表面を撮影して表面画像を取得する画像取得部２と、その表面画像から複数の特異画素を含む処理対象画像を生成する処理対象画像生成部１０と、その処理対象画像上に設定した直交ＸＹ座標系における特異画素の座標を取得する特異画素座標取得部１１と、それら複数の特異画素の座標のうちの二つの座標のピッチと位相差との組み合わせを反復特性として導き出す反復特性導出部１２と、ピッチＧと位相差Ｒとを座標軸とする直交ＧＲ座標系を用いて、その組み合わせの直交ＧＲ座標系上の一座標への変換を実行し、その変換回数を座標毎に計数して計数結果を出力する座標系変換部１３と、その計数結果の解析に基づいて複数の特異画素が形成する反復的特徴を検出する反復的特徴検出部１４と、を備える。 （もっと読む）