【課題】１次元イメージセンサカメラ利用の検査装置において全検査ウィンドウの均一条件下自動検査を実現する。
【解決手段】
１次元イメージセンサカメラで基板を撮像し、基板上の部品の実装位置とサイズと実装方向に従って部品領域を設定し、部品領域を周囲に自動拡大して検査ウィンドウを作成する際の拡大率を教示し、基準基板全面画像の検査ウィンドウ内画素値と、検体基板全面画像の対応する検査ウィンドウ内画素値とを、全検査ウィンドウについて均一の画素密度で差分画像処理し、均一の良否判定基準で品質を判定することにより、簡単な教示で過検出を最少化した実装基板の自動検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度な欠陥解析を行う。
【解決手段】回路パターンが形成されたウェーハの欠陥解析領域を複数の格子に分割する領域分割部１２と、前記格子毎に前記回路パターンの設計データに基づくパターン特徴量を抽出するパターン特徴量抽出部１３と、前記パターン特徴量に基づいて前記複数の格子を複数のグループに分類する領域分類部１４と、前記欠陥解析領域において検出された欠陥情報と前記欠陥解析領域とを照合する欠陥座標照合部１５と、前記グループ毎の欠陥サイズ分布を算出する欠陥サイズ分布算出部１６と、前記グループ毎の前記欠陥サイズ分布と所定の推定分布との差分を算出する分布比較部１７と、前記差分が所定の閾値以下のグループに対応する前記欠陥情報を出力する領域抽出部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半田の印刷不良を効果的に抑制し、生産品質及び歩留まりの向上を図る。
【解決手段】半田印刷検査装置１は、記憶媒体１１、理想半田情報生成手段１２、画像処理手段１３を備える。記憶媒体１１には、設計データ等が記憶されており、理想半田情報生成手段１２は、設計データ等上の理想半田領域から「理想半田位置情報」及び「理想半田サイズ」を生成する。画像処理手段１３は、ＣＣＤカメラ４によって撮像された撮像データからプリント基板Ｋ上の半田７の実半田領域を抽出し、実半田領域から「実半田位置情報」を生成する。また、「理想半田位置情報」と「実半田位置情報」との「位置ずれ量」を生成するとともに、「理想半田サイズ」に対する「位置ずれ量」の程度を示す「印刷ずれ率」を生成し、「印刷ずれ率」に基づいて印刷位置に関する補正値を演算し、補正値信号を半田印刷機１５に出力する。 （もっと読む）

【課題】 画像特徴量の数の増加に関係なく欠陥の分類性能が向上する欠陥分類装置および方法並びにプログラムを提供すること
【解決手段】 外観検査装置１５から取得した検査対象品の画像データから画像特徴量を抽出する画像処理部２６と、画像処理部で抽出された検査対象品の画像特徴量に対して主成分分析或や部分最小２乗法を行なって寄与率を求め、寄与率が高い画像特徴量を抽出し、抽出した画像特徴量から欠陥種別を決定する多変量解析処理部２８と、を備える。同種の欠陥の場合、寄与率が高くなる画像特徴量も同じになるため、抽出された画像特徴量の組み合わせから欠陥分類が行なえる。 （もっと読む）

【課題】コアのスロットに挿入されたスロット紙の挿入状態を簡易な方法で検査するためのスロット紙検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明のスロット紙検査方法は，少なくとも１辺が折り曲げられたスロット紙１を，その折り曲げ部５が外側を向くように湾曲させてコア２のスロット３に挿入した挿入状態の良否を検査する検査方法であって，コア２の端面８上におけるスロット紙１の本体部４と折り曲げ部５とがなすＶ字部分Ｖａ，Ｖｂを，コア２の端面８と平行な複数の走査線に沿って走査して，各走査線とスロット紙１との交点位置を把握し，その交点位置の配置に応じて，該Ｖ字部分Ｖａ，Ｖｂの良否を判断するものである。 （もっと読む）

【課題】ウエハの端面領域の欠陥を検出する検査装置において、欠陥の種類の分類や致命性を判定できる手法がなかった。
【解決手段】本発明では、異なる角度からの照明系を用い、各照明系に用いる光源の波長の帯域を別にする。このことにより、撮像される反射光、散乱光はいずれの照明によるものかを弁別できる。また、各方向の照明による反射光、散乱光の強度の特性は欠陥の種類により異なる。これらの特性をもとに、欠陥の種類を分類することができる。また、検出サイズや欠陥の存在箇所の情報をこれと組み合わせることにより致命性判定も可能となる。 （もっと読む）

【課題】少ない教師サンプルを用いて抽出程度の変化に対する分類性能のロバスト性を確保すること。
【解決手段】画像より欠陥領域を抽出する欠陥領域抽出手段１０１と、前記欠陥領域が抽出されるべき正解カテゴリを入力する操作手段１０４と、正解カテゴリが入力された領域に対し、新たな抽出パラメータを設定する抽出パラメータ設定手段１０８と、前記新たな抽出パラメータを基に欠陥領域を再抽出する欠陥領域抽出手段１０１と、再抽出結果を基に前記欠陥領域に対して抽出程度が異なる複数の教師データを作成する教師データ作成手段１０５と、前記教師データを基に分類を行う分類手段１０７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異種容器や不具合を有する容器などの異常容器をより高い精度で判別することができる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、容器１２を斜め上方から撮像する第１カメラ２０と、第１カメラ２０によって撮像された画像において認識される容器の口部の位置に基づいて該容器が正常容器であるか異常容器であるかを判定する処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ印刷の３次元自動検査において検査領域の自動的な設定を実現する。
【解決手段】斜めの撮像角度で基板を撮像する１次元カラーイメージセンサカメラと、直上方向からからクリームはんだ上面を照明する第１色相光光源と、横方向からクリームはんだ側面を照明する第２色相光光源とが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に素基板あるいははんだ印刷基板を移動することによって基板全面画像を獲得し、銅箔パッド領域あるいは基板面領域あるいはクリームはんだ印刷領域を、基板画像の画素値によって自動的に選択し、検査領域を自動的に設定することにより、誰でもクリームはんだ印刷基板の３次元画像検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、欠陥の散乱光像を明確に捉えることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥検査装置１においては、ステージ３によって支持されたガラス基板Ｓの内部に透過照明装置５によって光が照射され、ガラス基板Ｓの内部がカメラ６によって撮像される。このとき、ガラス基板Ｓの内部に照射される光の照射方向が変化するように制御装置８によって透過照明装置５が制御される。これにより、内部欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、内部欠陥による散乱光を強くすることができ、その内部欠陥の散乱光像を明確に捉えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】外観検査において感度を高く設定すると虚報も多く検出してしまうため、高感度で検査することができないという問題があった。そのため、全体の欠陥捕捉率を高く維持しながら虚報を抑制することにより実質感度を向上する技術が必要であった。
【解決手段】
検出欠陥の画像をもとに画像特徴量を算出し、検出欠陥の位置座標をもとに座標特徴量を算出し、画像特徴量と座標特徴量のいずれかに対するしきい値処理からなる決定木に従って虚報判定を行う構成とする
【効果】上記画像特徴量と座標特徴量を利用し、決定木に従って虚報判定を行うことにより、実欠陥と虚報の識別を精度よく行うことができるため、虚報を抑制しつつ高感度に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】海苔が傾斜姿勢で撮像手段に搬送された場合であってもシンプルな判別処理によって欠けの有無検査が行える海苔の外観検査方法及びその装置を提供することを技術的課題とするものである。
【解決手段】各海苔画像を搬送方向（撮像画素Ｐの配列方向）に対して同方向になるように画像回転処理を行った後に、該海苔画像について、四辺の外辺接線となる水平接線及び垂直接線から任意画素内側に検査領域線を設定し、該検査領域線で囲まれた検査領域内に欠けがあるか否かを判別するようにしたので、海苔の欠け判別は、海苔周縁部分の凹凸形状の影響を受けずに海苔の全周縁部分に亘って的確に行え、また、前記検査領域線は、撮像画素Ｐの配列方向に沿った単純な垂直基準線及び水平基準線によって構成することができる。このため、シンプルな判別処理によってよって広い検出範囲の海苔の欠け判別が行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】外観検査を高精度で行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】各照射装置１０に対してホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像し、各撮像データからホースＨの各幅方向位置と照射線Ｌの高さ方向位置とを対応させた高さ方向位置データをそれぞれ抽出し、各高さ方向位置データを基準データによって減算処理するとともに、減算処理された各高さ方向位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する上で、減算処理対象の高さ方向位置データ及びその高さ方向位置データと撮像順が近い所定回数分の減算処理前の高さ方向位置データをホースＨの各幅方向位置ごとに平均化して基準データを作成する。これにより、ホースＨがうねりを伴っている場合でも、高さ方向位置データからうねり分がキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図りつつ、設定を簡素化することができるシュリンクラベル装着状態検査方法を提供する。
【解決手段】カメラで撮像したボトル画像を取り込み（Ｓ１）、このボトル画像に示されたキャップ像の外縁像又はボトル像の外縁像からボトル中心を算出する（Ｓ２）。ボトル中心を中心としたリング状の画像を直線状に極座標展開して展開画像を取得し（Ｓ３）、展開画像において設定範囲を設定する（Ｓ４）。シュリンクラベル像の全周分の端面像が設定範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ５）、全周分の端面像が設定範囲内にある場合は良品と判断して当該判定処理を終了する。全周分の端面像の一部が設定範囲から外れる場合には装着不良と判断してＮＧ処理を実行する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板外観検査において、不良見落としの確率を低くするとともに、虚報を低減する。
【解決手段】撮像手段1110、データ読出手段1120、対象領域抽出手段1310、領域辞書作成手段1340、領域位置合わせ手段1330、検査領域設定手段1350、密度辞書作成手段1360及び検査手段1370を備えて構成される。対象領域抽出手段は、CADデータ1510及び色基本データ1520から計算された対象領域の色と、撮像手段が取得した撮像画像データ1112の色との比較を行って、パッド画像データ1412を抽出する。領域位置合わせ手段は、撮像画像データとCADデータの位置合わせを行って、合わせ画像データ1432を作成する。密度辞書作成手段は、隣り合う対象領域の間隔が閾値以下の場合は高密度領域と判定し、閾値よりも大きい場合は低密度領域と判定する。検査領域設定手段は、高密度領域における非検査領域を、低密度領域における非検査領域よりも小さく設定して、検査画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】吸着孔を有する載置面とこの載置面に載置された基板とが同時に撮影された画像から、正確に基板画像のみを抜き出すこと
【解決手段】区画線により区画された模様を有する載置面１６ａとともに、載置面上に配置された基板Ｓが撮影された原画像から、基板に対応する画像部分である基板画像を抽出する基板画像抽出装置１０であって、基板の非存在下で撮影された載置面のみの画像であって、区画線の色を載置面の色に変換し、かつ、区画線以外の領域の色を透明化した画像を背景画像として記憶する背景画像記憶部４４と、背景画像原画像とを重ね合わせて重畳画像を生成する重畳部３４と、重畳画像において、載置面及び模様の双方と色が異なる領域の外縁を定める点を基板輪郭候補点として抜き出し、さらに、基板輪郭候補点の中から重畳画像と原画像とで同色の点を基板輪郭点として抜き出す解析部３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】ダイ比較方式を用いた光学式半導体欠陥検査方法及び検査装置に関して、より微細な欠陥や回路パターンに対して致命性の高い検出を、より高い感度で検出する検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】（１）光源、照明光学系、（２）散乱光検出用の複数の欠陥検出光学系及び光検出器、（３）基板ホルダと走査用ステージ、（４）隣接ダイ画像との位置ずれ情報を求める手段、及び該位置ずれ情報を全ての欠陥検出画像処理ユニットに伝送する手段、（５）位置ずれ情報を、各検出光学系の設計及び調整条件に合うように補正をする手段と、補正された位置ずれ情報をもとにダイ間差画像を算出する手段、（６）ダイ間差画像をもとに欠陥判定/検出処理を実施する欠陥検出画像処理ユニット、（７）位置ずれ情報に影響のある各検出光学系の設計及び調整条件を、手動もしくは半自動で算出して設定する手段。 （もっと読む）