【課題】 デルタ配列され周期性を有するパターンのピッチ検査を簡便に行う方法を提案する。
【解決手段】 マスク１に形成された開口部についての画像のパターンＳ１，Ｓ２，…のｘ方向のピッチを検査については、先ず、パターンＳ１，Ｓ２，…をｘｙ座標系に倣うようにした状態でパターン中心座標を算出し、この中心座標のｙ座標値の小さい順に［１］，［２］，［３］，…とラベリングする。そして、ピッチ線に対応する行Ｌ１とＬ２とＬ３の近傍に中心があるパターンのラベルを選択し、Ｌ１に属するラベル［１］〜［４］、Ｌ２に属する［５］〜［８］、Ｌ３に属する［９］〜［１２］とを検出する。そして、隣り合う２つの行Ｌ１とＬ２に属するラベル［１］〜［８］に対してそのパターン中心座標のｘ座標値の大きさの順にラベル［１］〜［８］を並べ替え、その並べ替えたラベルの番号の順にピッチ検査を行うようにして、斜めに隣り合うパターンのｘ方向のピッチを検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】 板状体側面の切断角度、切断面の平面度に関わらず、正確な外観検査が可能となる板状体の欠陥検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】１つの投光装置１５については、ＸＹ軸を含む平面内における、電子写真用ブレード１２の測定点を含む側面部（観察面１２ａ）に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角度θ１が２５度を超え４５度以下に、他の１つの投光装置１５については、前期観察面に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角θ２が８０度を超え１１０度以下に設定されている。また、１つの投光装置１５については、電子写真用ブレード１２の測定点を含む水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸上方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度未満に、他の１つの投光装置１５については、前記水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸下方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度未満に設定されている。 （もっと読む）

【課題】撮像光学系が大型化することなく、また、撮像装置やテーブルを上下、左右に複雑に動かすこともなく、多種多様な容器を効率良く検査する。
【解決手段】外形検査装置は、びんを支持するテーブル１、テーブル１上のびんへ光を照射する面光源７、びんを中間に挟んで面光源７と対向位置させる撮像装置６０、撮像装置６０の視野範囲にびんの検査部位が入るようにテーブル１を昇降動作させる昇降機構２から成る。撮像装置６０は、上下３段に配置される５個の撮像光学系６１Ａ〜６１Ｅを有する。最上段の撮像光学系６１Ａに対して２段目および３段目は左右一対の撮像光学系６１Ｂ，６１Ｃ、６１Ｄ，６１Ｅにより構成される。２段目の各撮像光学系６１Ｂ，６１Ｃの水平方向の視野範囲は、内端部において最上段の撮像光学系６１Ａの視野範囲と重なりかつ外端部において３段目の撮像光学系６１Ｄ，６１Ｅの視野範囲と重なる。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の分布形状及び位置を特定可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】 基板上のペーストを画像として撮影し、第１の画像データを得る工程（Ｓ１１）、基板の重心位置を算出する工程（Ｓ１２）、ノイズ除去（Ｓ１３）、第１の画像データを２値化する工程（Ｓ１４）、２値化された第２の画像データの塊の面積、最大及び最小のフィレ径、及び重心を算出する工程（Ｓ１５）、面積最大の塊を抽出（Ｓ１６）、この塊が第１の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１７）、この塊のフィレ径比が第２の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１８）、最大の塊の重心位置を算出する工程（Ｓ１９）、最大の塊の重心位置と基板の重心位置との距離が第３の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ２０）、及び最大の塊の重心位置を後続の工程に送出する工程（Ｓ２１）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】画像において互いに隣接する２つの部分の境界を特定するために用いられるパラメータを自動生成可能な技術を提供する。
【解決手段】教師画像のそれぞれに対し、第１部分の色を採取するための第１領域と第２部分の色を採取するための第２領域からなる色採取領域を複数パターン設定し、色採取領域のそれぞれのパターンについて、第１領域内の各画素の色を対象点として、第２領域内の各画素の色を除外点として、それぞれ色空間にマッピングし、色採取領域のそれぞれのパターンについて、色空間における対象点分布と除外点分布との分離度を算出し、分離度が最大となる色採取領域のパターンを選択し、色空間を分割する色範囲であって、そこに含まれる選択されたパターンにおける対象点の数と除外点の数の差が最大となるような色範囲を求め、求められた色範囲を基板検査処理で用いられる色条件として設定する。 （もっと読む）

【課題】錠剤表面形状やカメラレンズの画角によって生じる画像中の錠剤領域の輝度ムラを補正可能とし、検査精度の向上を実現する。
【解決手段】良品画像を取得し（Ｓ１００）、各錠剤の輝度平均値から第１基準データを生成し（Ｓ１１０）、この第１基準データに基づいて、錠剤領域を特定するための第１レベルを生成する（Ｓ１２０）。第１レベルによる２値化処理・領域特定処理を行い（Ｓ１３０，Ｓ１４０）、錠剤領域の輝度ムラから第２基準データを生成し（Ｓ１５０）、第２基準データに基づいて、錠剤領域単位で輝度ムラを補正する第２レベルを生成する（Ｓ１６０）。検査時には、検査画像を取得し、第１レベルによる２値化処理を行い、ポケット部に収容された錠剤の領域である錠剤領域を特定し、当該特定した錠剤領域毎に、第２レベルによる２値化処理を行って、各錠剤を検査する。 （もっと読む）

【課題】 再学習を促す通知を出力できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】 外観検査装置１００は、アルゴリズムの作成指令の入力を受けるステップ（Ｓ３１０）と、アルゴリズム作成処理を実行するステップ（Ｓ４００）と、ＲＯＣ評価値の閾値とＲＯＣ解析の条件の入力を受けるステップ（Ｓ３２０）と、作成したアルゴリズムを用いて検査を実施するステップ（Ｓ３３０）と、ＲＯＣ解析を行なう条件を満たす場合に（Ｓ３４０にてＹＥＳ）、ＲＯＣ解析を実行するステップ（Ｓ６００）と、ＲＯＣ評価値が予め定められた条件を満足する場合に（Ｓ３６０にてＹＥＳ）、再学習を促す情報を出力するステップ（Ｓ３７０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査における各処理を実行する処理部の負担を軽減することができる長尺体の欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物１を撮像部４で撮像して得られる画像データに基づいて、画像処理回路５で欠陥を検出する。撮像部位に対して幅方向に位置する被検査物１のエッジ位置をエッジ検出部７で検出し、検出したエッジ位置と基準エッジ位置とのずれ量、即ち蛇行量を蛇行量算出回路８で求める。画像処理回路５で欠陥が検出されたときは、検出された欠陥について基準エッジ位置を基準とした座標を欠陥座標算出回路６で求める。座標補正回路９は、求めた座標を前記蛇行量に基づいて補正して補正座標を出力する。 （もっと読む）

【課題】高速で、高精度にガラス瓶の検査を行うことができるガラス瓶検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス瓶１２を瓶軸１２Ｘ回りに回転させる回転駆動部と、外部の光源より前記ガラス瓶に照射された撮像用光をラインセンサ２４，４４により受光し、前記瓶軸１２Ｘに垂直な方向を視点とする前記ガラス瓶１２の画像を撮像する撮像部と、前記画像に基づいて前記ガラス瓶１２の形状を測定する測定部とを備え、この測定部は、前記画像に基づいて瓶口周縁部１２Ａの少なくとも４カ所の高さを検出し、その内の３カ所の高さに基づいて残り一カ所の高さを計算し、この計算値と残り一カ所の高さの実測値とに基づいて瓶口周縁部の形状不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】 マスクパターンの撮像データに対して簡便な方法により、高精度の位置補正を行う方法を実現し、高信頼性のパターン欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】 この画像補整方法は、パターンが形成されている試料に光を照射し、その光学像を撮像した被検査パターン画像と、この被検査パターン画像に対応する検査基準パターン画像とを比較検査するパターン検査方法で用いる画像補正方法において、前記被検査パターン画像、及び検査基準パターン画像に対して２次元線形予測モデルを用いた入出力関係を記述する連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、前記入出力関係を記述した連立方程式を最小二乗法で推定して前記連立方程式のパラメータを求める連立方程式解法ステップと、前記パラメータの重心位置を求めるステップと、前記重心位置の値を用いて線形結合補間処理を行うことにより補正画像を生成するステップとからなっている。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の表面の欠陥を検査する際に，輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥と輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥とを同時に検出することのできる計算負荷の低い欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体表面の画像データの各画素の輝度を正規化した後に正規化基準値を用いて重み付けするようにしたので輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥を消失させずに輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥を検出することが可能となる。また，被検査体表面の画像データの輝度を正規化及び重み付けした値を各画素に対する有害度として定めた後，各画素を中心とする所定サイズの領域内の有害度を積分した値を各画素に対する有害度積分値として定めて，この有害度積分値を二値化処理するようにしたので，単一欠陥としての検出が困難な分断された欠陥や，集合して存在する欠陥を１つの欠陥として低い計算負荷で検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 紡糸口金に穿設された吐出孔を通過する通過光を奥行き方向に沿って複数箇所で撮像して得た画像データ群から、正確かつ確実に孔内異物を判別する孔内異物の検出する。
【解決手段】 吐出孔の一方側から照射しされて該吐出孔を通過した光を吐出孔Ｈの奥行き方向に沿って被写界深度が異なる複数箇所において電荷結合素子カメラ（ＣＣＤカメラ）で光学的に画像を拡大してそれぞれ撮像し複数の画像データ群を取得し、取得した前記画像データ群に含まれる画素群の明暗の諧調を画像処理装置にそれぞれ記憶すると共に、予め設定した判別基準値を基にして各画像データに含まれる画素群を「明」と「暗」との何れかの値にそれぞれ振り分ける二値化処理を行い、二値化処理された各画像データから画像処理によって吐出孔の奥行き方向に沿って存在する孔内異物の存在を判別することを特徴とする孔内異物の検出方法とその検出プログラムである。 （もっと読む）

【課題】装置構成の低コスト化と省エネルギー化を図り、複数の撮像条件の撮像を１度の副走査で行えると共に、複数の被観察物に対して同時に表面検査が行えるようにする。
【解決手段】回転する感光体ドラム１２に対して光源１１から間欠的に光を照射し、その正反射光部である輝線１２ａからの反射光を第１の撮像素子１４が撮像して得られる情報を照射タイミング調整部１６に送り、光源１１の照射タイミングを調整する。その際、観察条件変更部１５は、感光体ドラム１２の回転振れや表面形状変換による反射方向の輝線１２ａの変動に対して、一定の検出感度を実現するために、定常的に副走査方向に光源１１や撮像素子を周期的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 可動部を有する設備又は装置の動作中に、異常の有無を検知する監視制御装置、及び監視制御方法を提供する。
【解決手段】 可動部を有する設備又は装置を撮影する撮像部１１０と、可動部を有する設備又は装置の正常動作状態を表す指標を予め保存しておくデータ記憶部１３０と、撮像部１１０から取得した画像データに基づいて、可動部の位置情報を取得し、その位置情報が所定の条件を満たしているか否かを判定し、所定の条件を満たしている場合について、その所定の条件を満たしていると判定した場合の画像データと、上記の指標に基づいて異常の有無を判定する判定部１２０を有するように監視制御装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスにおいて、色の違いによって検査対象物を判別する検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】カラー画像を撮像可能な撮像手段によって検査対象物のカラー画像を撮像し、ＲＧＢ色空間の色情報を取得する。ＲＧＢ色空間の色成分または他の色空間の色成分のグレースケール画像を作成し、パターン認識の手法によって検査対象物を検出する。あるいは作成したグレースケール画像から二値画像を作成し、二値画像に対してパターン認識を行い検査対象物を検出する。検出した検査対象物が占める画素の色データと、予め用意しておいた良品の検査対象物の色データとを比較し、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する。また、ネットワークを通じて他の製造工程にこの判定結果を反映させ、製品の品質を高いものにする。 （もっと読む）

【課題】 厚鋼板や、薄鋼板の移動表面の凹凸キズと汚れとの識別能力を向上させた表面検査装置、表面検査の方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動する被検査物１の表面の凹凸キズと汚れを識別検出する光切断法を用いた表面検査装置であって、
前記被検査物表面の鉛直方向に対し、所定の角度で傾斜させて前記被検査物表面の移動方向と直交する幅方向にスリット光を照射する照明手段２と、スリット光の反射光を鉛直方向から受光する検出カメラ３と、被検査物１の移動方向の速度を検出し、移動方向の単位長さ信号を生成する移動速度検出手段４と、検出カメラ３からの信号及び移動速度検出手段４からの信号とを入力して、スリット光の凹凸画像のプロファイルの特徴を捉えて、凹凸キズと汚れとを識別する画像処理装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査状況を把握可能な検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供し、もって、検査状況が適切でない場合に、迅速な対応を可能とする。
【解決手段】検査を実行し（Ｓ１００）、不良判定された場合（Ｓ１１０：ＹＥＳ）、不良発生日時及び不良項目からなる不良履歴に関連付けて、画像データ、シート位置追従量、及び、判定値を記憶する（Ｓ１３０〜Ｓ１５０）。そして、不良発生情報中の不良項目が作業者によって選択されると、通常時は検査対象の画像が表示される画面左側に、不良判定されたときのＰＴＰフィルムの画像を表示する。さらに、不良発生情報の表示欄の下方に、不良判定されたときのシート位置追従量を表示すると共に、判定に用いられれた判定値を表示する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥と疑わしき部分のみの画素サイズを小さくすることによって、検査時間の増大を招くことなく、検査精度の向上をはかる。
【解決手段】 被検査試料のパターン欠陥を検査する試料検査装置において、被測定試料のパターンに対応した所定の画素サイズの測定パターンデータを測定パターンデータ生成部１３〜１６により生成し、設計パターンに基づいて参照パターンデータ生成部２３，２４により参照パターンデータを生成し、測定パターンデータと参照パターンデータとを比較判定部２５により比較し、これらの差がしきい値を超えたら欠陥と判定し、欠陥と判定された場合、又は欠陥と誤検出され易いパターンと判定された場合に、該パターン部分について画素のサイズをより小さくした測定パターンデータを再生成し、再生成した測定パターンデータと参照パターンデータとを比較判定する。 （もっと読む）

【課題】籾摺り処理を行う前の生籾の状態で、斑点着色等の被害粒を非破壊的に検出可能な生籾被害粒の非破壊判定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】籾の一側面に光を照射し、前記籾を透過した透過光から得られる透過光画像を得て、前記透過光画像の平均輝度値及び／又は検出画素数を算出し、前記透過光画像の平均輝度値及び／又は検出画素数を予め設定された閾値と比較して被害粒か否かを判定する方法であるため、生籾の状態で内部の斑点着色粒等の被害粒を非破壊的に判定することが可能である。また、収穫直後或いは流通前に品質判定を行うことにより高品質米を確保することができ、商品の差別化を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における外観不良を検査するに際し、錠剤の色識別精度の向上を図ることのできる外観検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３、及び画像処理装置２４等を備えている。そして、外観検査装置２１によって、照明装置２２から照射される光の反射光をカメラ２３により撮像し錠剤の色異常を検出する色識別検査が行われる。色識別検査に際しては、撮像されたカラー画像データのうち錠剤に相当する部分の複数の画素の中から輝度の高い順に所定数の画素を抽出し、当該所定数の画素の輝度の平均値を求め、当該輝度の平均値と所定の輝度基準値との差が許容範囲内か否かを判定することで、錠剤の色異常を検出可能にしている。 （もっと読む）