【課題】外観検査装置で不良と自動判定された不良箇所を目視検査する際に、作業者の負担の少ない、外観検査装置の確認画面表示方法を提供する。
【解決手段】移動ボタンを押すと、確認画面表示用カメラ６が検査対象物に移動すると共に、モニタに「移動中」の文字表示と検査対象物と同系色の画面表示、または移動前のキャプチャ画像を表示し、カメラの移動終了と共に、モニタ画面をカメラ６の映像に切替え、不良箇所を一時的に操作部１にキャプチャした画像をモニタに表示する。作業者は、全て静止画像により検査でき、移動中の画像を見ることなく検査でき、負担が軽減する。 （もっと読む）

【課題】高密度実装基板上の実装部品の実装状態の良否の検査を、より正確かつ容易に行うことを可能にする。
【解決手段】撮像データを取得する撮像データ取得部１２と、取得した撮像データから、対象とする複数個の実装部品に関する画像データをそれぞれ抽出する解析領域抽出部１４と、抽出した各画像データから、上記複数個の実装部品のそれぞれについての、上記異なる色の光ごとの画素値ヒストグラムを作成するヒストグラム作成部１５と、作成した各分布データの、上記複数個の実装部品のそれぞれの間での差異に応じて、上記複数個の実装部品を、同じ検査パラメータを利用する実装部品ごとに区分するヒストグラム解析部１６およびバリエーション分割処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】放射状に生じる直線状の欠陥を検出できる画像処理検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理検査装置の演算部１４３は、検査領域に対応する画像データを取得する取得部２０３と、画像データを直交座標系から極座標系のデータに変換する極座標変換部２０４と、半径方向の直線を強調するフィルタ処理を実行するフィルタ処理部２０６と、半径方向に表示される直線の平滑化を行なう平滑化処理部２０８と、２値化基準に基づいて平滑化された画像データの２値化処理を行なう２値化処理部２１０と、２値化処理された画像データから、抽出基準を満足する画像データを欠陥の候補として抽出する抽出部２１２と、極座標系のデータを直交座標系に変換する直交座標変換部２１４と、直交座標系のデータに基づいて欠陥の候補の特徴量を算出する算出部２１６と、判定基準と特徴量とに基づいて欠陥の候補が欠陥であるか否かを判定する欠陥判定部２１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査を効率的に、かつ確実に行えるようにする。
【解決手段】欠陥検査装置１は、搬送部２でアライメントした基板Ｗを端面検査部３に搬送させ、端面検査部３と平面検査部４に順番に搬送し、それぞれで端面検査、表面検査、裏面検査を行わせる。端面検査部３で得られた端面画像から基板Ｗのノッチ位置を検出し、ノッチ位置を基準とする座標系に変換する。表面検査又は裏面検査で取得した画像からは、基準位置に対する基板中心と、回転方向におけるノッチ位置を抽出する。端面画像と表面画像及び裏面画像をノッチ位置や基板の中心位置に基づいて３次元座標系の画像に変換し、３次元形状で表示部６に表示させる。 （もっと読む）

【課題】加工痕を含む加工面中の鋳巣や傷等の欠陥部を正確に判定できる加工面欠陥判定方法を提供する。
【解決手段】加工面の濃淡画像からその加工面の欠陥を判定する加工面欠陥判定方法において、上記濃淡画像を原画像として、この原画像に、所定の閾値で２値化処理をして２値化画像Ｂを得ると共に、所定値以上の輝度値の傾きを抽出する輝度傾き抽出処理をして輝度傾き抽出画像Ａを得る。そして、両画像Ａ，Ｂを重ね合わせて欠陥検出用画像Ｃを得、この画像Ｃにおける画像Ａ中の欠陥部画像Ａ１と画像Ｂ中の注目部位画像Ｂ１との、形態に係る相互関係が予め決められた８種類のパターンＩ〜VIII中の何れに該当するかを判定
する。そして、その結果に応じて上記加工面の欠陥部を検出し、その欠陥部のサイズ等を正確に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板２は、被検査基板２を揺動可能に支持する揺動ステージ３上に載置されている。デジタルカメラ７は、実体顕微鏡５に固着された状態では、被検査基板２上の微小な結果を撮像して実体顕微鏡画像を生成し、実体顕微鏡５から取り外された状態では、検査者の目視位置で被検査基板２上の欠陥を撮像してマクロ画像を生成する。実体顕微鏡画像およびマクロ画像は検査制御装置１に取り込まれ、欠陥情報と関連付けて表示される。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの欠陥を容易にかつ高精度で弁別する。
【解決手段】標準粒子が付着したウェーハのレーザ散乱測定を行い、標準粒子から測定される散乱光強度を用いて参照弁別線を設定した後、異物が付着したウェーハのレーザ散乱測定を行い、その欠陥（異物およびＣＯＰ）から測定される散乱光強度の近似線を設定する。その欠陥のうち、参照弁別線と近似線とに挟まれた領域の散乱光強度を示す一部の欠陥を選択し、レビューＳＥＭを用いて、その一部の欠陥が異物であるかＣＯＰであるかを判定する。その判定結果を基に、異物とＣＯＰの散乱光強度の境界値に弁別線を設定する。製品ウェーハ等で検出された欠陥の散乱強度を、その弁別線と比較することにより、容易にかつ精度良く、その製品ウェーハ等の欠陥を異物とＣＯＰとに弁別することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、取付部４１と、レーザ光源４２ａ，４２ｂと、受光手段としてのフォトダイオード４３ａ，４３ｂとから構成されるセンサ部４０を用いることで、２つの光源がそれぞれ所定角度に配置され、光ビームを被検査面へ照射し、所定の受光面積を有する２つの受光手段で被検査面からの反射光をそれぞれ受光するようになされる。これにより、回転する被検査物体、例えばカムシャフトのような真円ではない回転体の被検査面からの反射光も確実に検出でき、高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を行い、液晶基板における判定精度を向上させる。
【解決手段】液晶基板管理装置１は、液晶検査装置４から取得される欠陥情報と、液晶リペア装置５から取得される画像情報及びリペア情報を記録するデータベース６ａを有するデータ管理手段６を備え、液晶検査装置で取得した欠陥情報と、液晶リペア装置で取得した画像データを共通の記録手段に記録してデータベース化することにより、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を可能とし、液晶基板における判定精度を向上させ、欠陥のトレンド情報を管理可能とする。 （もっと読む）

【課題】炉内が高温であり炉壁が輻射光で発光している炉壁を、観察窓を通して炉外から連続観察が可能であり、かつコントラストのある炉壁画像を取得して炉壁の凹凸や亀裂を判別することができる高温炉壁撮像装置を提供する。
【解決手段】炉内が高温であり炉壁１が輻射光で発光している炉壁を遠隔から撮像するために観察窓２の外側に設置される高温炉壁撮像装置１０。輻射光３より強くかつ必要最小限の視野角と同等の広がり角を持つパルスレーザ光４を炉壁の観察部分（十分小さい一部）に向けて照射するパルスレーザ装置１２と、パルスレーザ光４の照射部分を遠隔から必要最小限の視野角で撮影する撮影装置１４と、撮影装置と炉壁の間に位置しパルスレーザ光４の照射時間に同期して開く高速シャッター１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】微小間隙溝保有物体の作製工程時間ロスをなくすことができる微小間隙溝保有物体の検査方法を提供すること。
【解決手段】複数の貫通穴６が形成され、該貫通穴６の少なくとも一部に間隙の小さいスリット溝５を有する微小間隙溝保有物体としてのハニカム構造体成形用金型１の検査方法であって、前記貫通穴６を構成する供給穴４の一端から光を照射して該貫通穴６内を通過させ、前記貫通穴６の他端のスリット溝５から前記光の透過量をカメラ１５で検出し、透過量の差によって前記貫通穴６の少なくとも前記スリット溝５に生じた異常部９の存在を検出する。 （もっと読む）

【課題】光学デバイスの有効範囲領域を精度よく判別できる光学デバイスの外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、検査対象の光学デバイス２を載置する載置台３と、載置台３に載置された光学デバイス２を裏面より斜めに照明する照明具４と、載置台３に載置された光学デバイス２を撮影するカメラ５と、カメラ５により撮影した撮影画像を表示するモニター６と、モニター６に表示された光学デバイス２の外形領域及び有効領域範囲を示す枠画像が、モニター６に適切な位置に表示されるように制御する表示制御装置７とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検出欠陥数の増大に伴い、データ処理／整理に多くの時間を要する。操作性を改良して、使い勝手を向上させ、原因究明の手がかりを早期に探索できる機能を備えた欠陥レビュー方法および装置を提供する。
【解決手段】検査装置とレビュー装置から出力されたデータを処理し、同じ検査条件あるいは検査条件を変えて複数回検査した結果の欠陥マップと、その画像一覧とを並べて表示し、かつ、両者の欠陥をリンクさせ、所望の欠陥が検出できているか、大量の画像データから確認・判定する事が出来る欠陥レビュー方法および装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ユーザごとの判定条件を用いる事で歩留まり向上、製造コスト低下、生産性を大幅に改善することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査する欠点検査装置１０であって、シート状製品を構成する単層体及び／又は積層体であって、シート状製品表面の保護層が設けられていない状態で当該単層体及び／又は積層体の欠点を検出する欠点検出手段と、欠点検出手段で検出された欠点に関する情報である欠点情報を作成する欠点情報作成手段とを備え、欠点情報は、枚葉のシート状製品を製造するために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤの表面の異種ゴムが加硫成形された部分を確実に識別することができるタイヤの表面検査方法および装置を供する。
【解決手段】ラインカメラ３によりタイヤ表面上に設定される被撮像ラインＬに向けて互いに反対側から光を照射する１対の第１投光器11ａ， 11ｂからなる第１照射手段11と、同第１照射手段11と異なる照射方向で被撮像ラインＬに向けて互いに反対側から光を照射する１対の第２投光器12ａ， 12ｂからなる第２照射手段12とを交互に作動して、タイヤ表面の被撮像ライン部分に交互に光を照射し、第１照射手段11と第２照射手段12の光の照射に同期してラインカメラ３によりタイヤ表面の被撮像ライン部分を撮像することを、タイヤ表面の被撮像ライン部分を順次変えて繰り返し行い、ラインカメラ３が撮像した画像を分析してタイヤＴの表面を検査するタイヤの表面検査方法および装置。 （もっと読む）

【課題】プリント基板を遠隔で目視検査する場合、効率よく検査でき、しかも、低コストでシステムを導入できるようにする。
【解決手段】プリント基板４を撮影する第二カメラ３１５を備えた装置本体３１と、当該装置本体３１と分離され、プリント基板４の画像取得を指示する入力部３２１やディスプレイ３２０を備えたレビュー機３２を備え、自動検査装置２で不良と判定されたプリント基板４を目視検査する目視検査装置３において、自動検査装置２で不良と判定されたプリント基板４の不良詳細情報をレビュー機３２に送信し、その一覧をディスプレイ３２０に表示させる。そして、不良箇所の画像をディスプレイ３２０に表示させて、目視による良否判定を受け付ける一方、その画像で判定できない場合は、その不良箇所における画像を新たに第二カメラ３１５で取得し、新たな画像に基づいて目視による良否の判定を受け付ける。 （もっと読む）

【課題】複数の外観検査装置を採用し、目視検査支援装置を導入して作業の集中化を図った場合に、検査コストを低減し、目視検査の品質を安定させ、待ち時間を削除することができるようにする。
【解決手段】基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査支援装置にそれぞれ通信手段を介して接続されて外観検査撮影画像を入力し、外観検査撮像画像に基づいて再生された検査部位を画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納し、各目視検査支援装置に備えたカメラを検査部位に通信手段を介して移動制御する。１つの目視検査支援装置から送信された検査部位についての外観検査撮影画像を動画として画像モニタ部の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】紫外線観察装置において、複数の材質で構成された基板の画像情報を効率よく観察することができるようにする。
【解決手段】複数の波長を有する紫外光を発生する光源２ａと、光源２ａで発生された紫外光で半導体ウエハ８に照射する照明レンズ２ｂと、照明光により半導体ウエハ８の像を取得する観察光学系と、半導体ウエハ８の像を光電変換して輝度データを取得する撮像部Ｃ_１、…、Ｃ_ｎと、波長分離部３ａと、波長分離部３ａにより分離された紫外光によって撮像部Ｃ_１、…、Ｃ_ｎで取得された複数の波長ごとの輝度データに対して、それぞれ異なる可視色の色度を割り付けて複数の単色画像に変換する彩色処理部と、彩色処理部で生成された複数の単色画像を合成して可視色画像を形成する画像合成部と、画像合成部で形成された可視色画像を表示する画像表示部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】色についての知識をそれ程必要とせず、手間がかからずに色補正をして、正確な欠陥査が行える表面検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物（半導体ウエハＷ）の表面に光を照射（照明部１２）して被撮影画像を観察する表面検査装置であって、前記被撮影画像の色調特性を標準画像の色調特性に合わせて表示する表示部２０（画面部２０ａ、２０ｂ）を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥分類において、ルールベース型の欠陥分類は、全てを手動で設定するのは困難であるという課題があった。
【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する評価過程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）