【課題】電線・ケーブルの表面印刷を、電線・ケーブルの条長や押出速度の制限なく全長確認することができ、印刷不具合箇所の見逃しを抑制可能な電線・ケーブルの表面印刷検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】電線・ケーブル２の表面印刷３の不具合を検査する電線・ケーブルの表面印刷検査方法であって、走行中の電線・ケーブル２の表面印刷３をカメラ４で順次撮影すると共に、カメラ４で撮影した画像を記憶しておき、記憶した画像を複数並べた複合画像１０を生成すると共に、その複合画像１０を順次モニターに表示することで、表面印刷３の不具合の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】板状基板の外周部分を撮影して得られた撮影画像上の点の前記板状基板の周方向を横切る方向の位置を把握し易い板状基板のエッジ検査装置を提供することである。
【解決手段】予め設定された原点に向けて延びる撮影軸Ａｘｂを有し、板状基板１０の外周部分１０Ｅにおける所定面１２Ａを撮影視野範囲に含み、該所定面を前記板状基板１０の周方向に順次撮影して画像信号を出力する撮影部１３０ｂ（１３１ｂ）を備え、前記画像信号から生成される撮影画像データにて表される撮影画像上の点及び前記撮影軸Ａｘｂに対応した基準点それぞれの前記周方向を横切る方向における位置ｔAに基づいて、前記撮影画像上の当該点に対応する擬似的な撮影角度αAを表す擬似撮影角度情報を生成し、撮影画像及び前記擬似撮影角度情報に基づいた撮影角度に関するユーザインタフェース情報を前記表示ユニットに表示させるようにした。 （もっと読む）

【課題】トンネル壁面の展開画像を取得するシステムについて、得られた立体視可能な展開画像が現実の壁面の状態を正確に反映できるようにし、その反映の度合いを簡単に判定できるようにする。
【解決手段】システム１０は、トンネルを走行する車両１１と、車両１１に搭載されたビデオカメラ１２と、各ビデオカメラ１２が撮像した画像データを処理可能な画像処理部１３とからなる。画像処理部１３は、画像データの各コマ上の第１および第２ラインから短冊形の第１および第２視差画像をサンプリングし、両ラインの中間から短冊形の直視画像をサンプリングする。各画像を横方向に配列してカメラ１２ごとに第１および第２視差連続画像、直視連続画像を合成する。各連続画像を縦方向に配列して、第１および第２視差展開画像、直視展開画像を合成する。第１および第２視差展開画像を赤または青の着色画像として出力して立体視可能とする。これとフルカラー画像として出力した直視展開画像を比較可能とする。 （もっと読む）

【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、ＬＳＩテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタの設定には、オペレータの目視によるスキャン画像の確認と空間フィルタの調整の繰り返し作業が必要とされる。また、設定状態がオペレータに依存する。
【解決手段】散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）を同時に観察すると共に、散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）の各強度プロファイルを同時に監視する。１本の空間フィルタだけを回折光の像の視野範囲でスキャンし、空間フィルタを挿入しない場合の強度プロファイルに対する状態変化を検出する。検出された状態変化に基づいて空間フィルタの設定条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】画像検査システムにおける画像レイアウトを柔軟に変更する。
【解決手段】撮像部１によって製品を撮像して得た画像データを用いて、当該製品の良否を検査する検査制御／処理部４と、検査制御／処理部４によって検査される製品の画像データ又は製品の検査結果を含む画像を表示する表示部８と、表示部８の表示領域を分割し、当該分割領域のサイズ及び位置を調整して複数の画像を表示させる表示制御部６とを備え、検査制御／処理部４によって画像データの処理を行っている最中に、表示制御部６によって、分割領域のサイズ及び位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】検査光の光源として発光ダイオードを用いた場合でも、パーティクルを精度良く検出することができるパーティクル検出用光学装置を提供すること。
【解決手段】パーティクル検出用光学装置２は、基板４の基板表面４ａに検査用光源部３１から検査光Ｌを照射し、基板表面４ａのパーティクルＰによって散乱された検査光Ｌの散乱光を撮像部２９により撮像し、得られた画像データに基づいて基板４上のパーティクルＰを検出する。検査用光源部３１は光源としての発光ダイオード４１と、発光ダイオード４１から射出された検査光Ｌを平面検査領域２４に向けて出射すると共に、平面検査領域２４に沿って走査する走査ミラー４３２と、検査光Ｌが収束光の状態で平面検査領域２４に照射される状態とする凸レンズ４４と、基板表面４ａによって反射された検査光Ｌの反射光を当該基板表面４ａの側に反射する反射鏡（反射部材）２６を備えている。 （もっと読む）

【課題】配管内の撮影を効率的に行い、メンテナンス作業を効率化する配管内部検査システムを実現すること。
【解決手段】 カプセル型撮影装置がプラントにおける流体が流れる配管内を移動して配管内を撮影することにより、前記配管の内部を検査する配管内部検査システムにおいて、前記配管の所定の位置に設置され、無線信号を出力するフィールド機器または撮影補助装置の少なくともいずれかを備え、前記カプセル型撮影装置は、前記フィールド機器または前記撮影補助装置からの無線信号を受信する無線通信手段と、前記フィールド機器または前記撮影補助装置からの無線信号が所定の強度よりも大きい場合にのみ前記配管内を撮影する撮影手段を備え、前記フィールド機器または前記撮影補助装置の少なくともいずれかの撮影可能範囲のみ前記配管内を撮影することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】壁体に生じている空隙部の状態を、視覚を通じて十分に把握できるようにした、壁体の診断方法および壁体診断報告書を提供する。
【解決手段】躯体２および躯体２の表面に設けた仕上げ材３からなる建築物の壁体１に生じた空隙部６，７の状態を、カメラユニット１１を用いて診断する壁体１の診断方法であって、空隙部６，７が生じた壁体１の要診断箇所に、仕上げ材３を貫通し躯体２に達する診断用穴８を穿孔する穿孔工程と、診断用穴８にカメラユニット１１の鏡筒１５を挿入し、診断用穴８における空隙部６，７を撮像する撮像工程と、撮像工程の撮像結果に基づいて、空隙部６，７の状態を診断する診断工程と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】自動車のボディやその部品などの光沢塗装が施されるなどして表面反射の強い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の疵、塗装の剥がれや凹みなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置、表面検査プログラムおよび表面検査方法の提供。
【解決手段】曲面状壁１ｂを有する計測空間１を構成し、計測空間１内の計測対象物Ａに対して照明装置２−１，２−２，２−３の光源光を均一に減光して照明し、照明された計測対象物Ａの全照明画像の撮影を行うとともに、パターン光投影装置３によりパターン光を計測対象物Ａに直接当たらないように曲面状壁１ｂに投影して反射させ、カメラ装置４によりこの反射パターン光が投影された計測対象物Ａの反射パターン画像の撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】ウェハ１０の回転精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ウェハ１０を保持して回転可能なウェハホルダ２８と、ウェハホルダ２８に保持されて回転するウェハ１０のアペックス部１３を連続的に撮像する撮像部３５と、ウェハホルダ２８の回転軸と垂直な方向へ２次元的にウェハホルダ２８を相対移動させるＸＹステージ２１と、ウェハ１０の中心Ｃ１とウェハホルダ２８の回転中心Ｃ２との間のオフセットＤを測定するためのステージアライメント用センサ３０と、ステージアライメント用センサ３０を用いて測定したオフセットＤに応じて、撮像部３５がウェハ１０のアペックス部１３を連続的に撮像できるようにＸＹステージ２１の作動を制御する制御部４５とを備え、制御部４５は、ウェハホルダ２８の回転中心Ｃ２の移動軌跡Ｔが円弧状となるようにＸＹステージ２１の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置において、高精度化，ウェーハの大口径化や、検査の高機能化（マルチセンサなど）により処理すべきデータは年々、増加し、装置容積に占める信号処理部分の比率が増している。また、高機能化により、装置立ち上げ時の評価検査作業も増えている。その一方で、装置容積、コストの面から小型化が求められている。本発明の目的は、必要最低限の規模で一般検査が可能な装置構成を提供することである。
【解決手段】検出器単位で処理機能を分離することにより、一般検査時に不要な信号処理部を取り外し可能にする。また、パラメータ決定作業に使用される評価機能を備えた信号処理部も接続可能にする。 （もっと読む）

【課題】正確に、かつ短時間に空間フィルタの設定を行なうことができ、検出感度の低下防止も可能な表面欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】それぞれ異なるパターンピッチを有する複数の領域からの光像が混在した回折光像710aを表示し、選択した領域のパターンピッチ702aと算出された回折光ピッチ702bが表示される。回折光ピッチ702bに合わせたピッチのゲージ710b、701cが回折光像710aに重畳して表示させる。ゲージ710b、710cは回折光像710cのピッチに合わせられるように作業者が移動でき、ゲージ710b、710cを合わせたピッチの画像が抽出され、別の表示領域に表示される。異なるパターンピッチを有する複数の領域のそれぞれに対して実行し、それぞれのパターンピッチとそれに対応する画像を表示する。表示した画像等に従い、選択した回折光を除去可能なように空間フィルタの間隔を設定できる。 （もっと読む）

【課題】複数の電極ピンを有する部品を対象にした検査領域の設定データの作成処理を高速化する。
【解決手段】処理対象の部品２０１を含む領域内の基準画像を表示して、部品本体に対応する領域３０を指定する操作を受け付ける。ユーザはこの指定操作を行った後に、部品本体の一辺に配置された電極ピンのうちの一番端およびその隣の２つに対応する領域、ならびにこれらの電極ピンが接続されているランドに対応する領域を、指定枠３３，３４により指定する。これらの指定に応じて、指定された領域間の関係に基づき、部品２０１における電極ピンや配置に関する規則が特定され、さらに、特定された規則や領域３０に基づいて、各電極ピンに対する検査のための検査領域が設定される。 （もっと読む）

【課題】ジェットエンジンにおける観察中のブレードの位置の把握が容易になる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像とテンプレート画像とを比較する。さらに、ＣＰＵ３４ｃは、ブレード画像の中から、画像比較の結果に基づいて一部のブレード画像を選択する。モニタ２２は、選択されたブレード画像を表示すると共に、当該ブレード画像に対応するブレードの位置を示す情報を表示する。 （もっと読む）

【課題】画像と判定結果とを重ね合わせた画像を保存して画面に表示する描画処理の処理負荷を軽減し、結果的に描画時間の遅れによる作業性の低下を抑制する。
【解決手段】良否判定部３は、撮像装置１で撮像した検査対象物の画像データを用いて外観の良否判定を行う。結果画像生成部４は、良否判定の結果を示す画像データである結果画像データを生成する。登録画像生成部５は、結果画像データを検査対象物の画像データと重ね合わせた登録画像データを生成する。画像記憶部６は登録画像データを保存し、表示処理部７は登録画像データをモニタ装置８の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】機械加工が施されたワークの表面の傷の有無を検出し、かつ、その位置、大きさを推定できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】シリンダブロック５に切削加工されたボア３の内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、切削加工と直交する方向に所定長さ延びる１次元デジタル輝度画像を前記デジタル輝度画像から抽出し、１次元パワースペクトル処理部６３と、１次元パワースペクトルデータの周波数ｆに対応するピッチごとに信号強度を示すピッチデータに変換するツール目ピッチ変換部６４と、ピッチデータを並列に並べて評価用画像を生成する評価用画像生成部５５と、前記評価用画像に基づいて傷の有無を検出する評価部５７とを有し、前記１次元パワースペクトル処理部は、１次元方向の長さＬを可変しながら１次元パワースペクトルデータを算出し、前記ツール目ピッチ変換部は、複数のピッチデータを合成して１つのピッチデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面の表示方法について改良を行う。
【解決手段】対象物の表面を表示する方法として、対象物の表面の実測３Ｄデータ（７）が求められる。次に、対象物の表面の所期３Ｄデータ（５）が実測３Ｄデータ（７）を基にして修正される。そして、対象物の表面の所期３Ｄデータ（５）と修正された所期３Ｄデータ（５）が３Ｄ表示用データとして使われる。 （もっと読む）

【課題】デバイス画像を生成するための方法、システムおよびコンピュータ・プログラムを開示する。
【解決手段】方法は、デバイスの第一および第二画像を撮像するステップであって、該第一および第二画像はオーバーラップする部分を有する、撮像するステップと、オーバーラップする部分を予測して、第一および第二画像を近似的に整列するためのおおよそのシフト量を得るステップと、を含む。方法は、定義された相互相関アルゴリズムを使ってオーバーラップする部分を解析し、第一および第二画像を整列するための厳密なシフト量を計算するステップと、厳密なシフト量を使って第一および第二画像を一緒に結合するステップと、をさらに含む。一つの実施形態において、光学システムを使って画像が撮像され、第一および第二画像を撮像するために、ステージを使ってデバイスまたは光学システムのいずれかが移動され、予測するステップは、ステージの移動量を用いてオーバーラップする部分を予測するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】成形機で製造されたガラス製品を、徐冷炉に入る前のホットエンドで傷、泡、異物などの欠陥を精度良く検査できるようにする。
【解決手段】成形機で成形され、搬送されているガラス製品を徐冷炉の手前で撮像する赤外線カメラと、その撮像した画像を処理する処理手段を有し、処理手段が、前記画像の輪郭の内側に検査領域を設定し、該検査領域内において所定の明るさ閾値から外れる画素数を求め、その画素数が所定の画素数閾値を超えた場合に不良品であると判定するようにすることで、前記課題を解決する。 （もっと読む）