本発明は、単一の格子（３）と画像化システム（４）との間で光路中に格子（３）から距離ｈを置いたところに配置された位相及び振幅物体（２）の光学検査のためのフーリエ変換デフレクトメトリシステム（１）及び方法に関する。格子（３）は、像平面内における直交軸線ｘ，ｙにそれぞれ空間周波数μ₀，ｖ₀をもつ、コントラストに基づく周期的パターンを形成し、画像化システム（４）は、対物レンズ（５）及び複数個の光電性素子を含む画像化センサ（６）を有する。本発明の方法によれば、最初に、対物レンズ（５）を介して画像化センサ（６）によって、位相及び振幅物体（２）により歪曲されたパターンの第１の像（６０１）を捕捉する。次に、空間周波数領域における第１の像（６０１）のフーリエ変換を計算し、フーリエ変換の少なくとも１つの一次又はこれよりも高い次数のスペクトル（７０２）を選択してこれを空間周波数領域内でシフトさせてこれを実質的にフーリエ変換の中心周波数のところに位置させ、少なくとも１つのシフトされたフーリエ変換の少なくとも１つの一次又はこれよりも高い次数のスペクトル（７０２）の逆フーリエ変換を実施して複素関数ｇ（ｘ，ｙ）＝Ｉ（ｘ，ｙ）ｅ^iφ(x,y)を得ることを特徴とし、上式において、Ｉ（ｘ，ｙ）は、強度であり、φ（ｘ，ｙ）は、次の公式、即ちφ（ｘ，ｙ）＝−２ππｈ（μ₀ｔａｎθ_x＋ｖ₀ｔａｎθ_yに従って、それぞれｘ軸及びｙ軸の方向における光偏向角θ_x，θ_yに関連づけられた位相である。 （もっと読む）

【課題】 文字列の長さに応じて柔軟に画像レイアウトを変更して画像検査システムの設定を行う。
【解決手段】
画像検査システムの製品検査に関する情報及び画像検査システムの設定を行うための設定用画像を表示する表示部８と、表示部８により表示される設定用画像に含まれる設定項目名を含む文字列リソースと、当該文字列が配置させるウィンドウ形状を表すウィンドウリソースとを含む記憶部１０〜１２と、ウィンドウリソースを参照して文字列リソースを配置し、画像検査システムの設定項目名及び当該設定項目名の入力欄を含む設定用画像を作成する表示制御部６と、画像検査システムの設定項目名の入力欄に設定情報を入力するためのユーザに操作される操作入力部９とを備える。表示制御部６が、設定用画像に含める文字列の長さに基づいてウィンドウリソースによって設定されているウィンドウ形状を変更して設定用画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】 画像検査システムにおける画像レイアウトを柔軟に変更する。
【解決手段】 撮像部１によって製品を撮像して得た画像データを用いて、当該製品の良否を検査する検査制御／処理部４と、検査制御／処理部４によって検査される製品の画像データ又は製品の検査結果を含む画像を表示する表示部８と、表示部８の表示領域を分割し、当該分割領域のサイズ及び位置を調整して複数の画像を表示させる表示制御部６とを備え、検査制御／処理部４によって画像データの処理を行っている最中に、表示制御部６によって、分割領域のサイズ及び位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】１つの検査処理の検査結果である検査結果データを容易に区別して出力する。
【解決手段】撮像部１によって撮像された画像データを、所定のタイミングに応じて、複数の画像メモリ３のいずれかに撮り込むよう制御し、画像メモリ３に記憶された画像を読み出して行われる所定の検査処理の１つの検査処理の検査結果である検査結果データの先頭であることを示すＴＡＣＴ信号を、検査結果データに対応させて出力することで実現する。 （もっと読む）

【課題】恒常的に所定以上の輝度を発生する白傷ばかりでなく、輝度が変動したり、徐々に輝度が大きくなったりする白傷の影響を受けることなく、精度の高い表面欠陥検査を行うことができるような表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置では、カメラ５により複数の回転位置において撮像取得された複数の検査画像において、所定輝度よりも明るい輝度を有する部分を、ホルダ２によるウェハＷの回転とともに回転移動する回転移動部分と、ウェハＷの回転に拘わらず相対的に静止される静止部分とに区分けし、当該静止部分を検査画像から除いて得られた画像から、散乱光を検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】確認作業の効率を高め、作業員の負担を軽減する。
【解決手段】自動外観検査において不良と判定された部品に関する判定結果を確認するための確認操作画面において、不良と判定された部品の画像を、不良の種毎に、その不良の検出に用いられた判定基準に対する計測値の逸脱度合いの大きいものから順に並べた画像リストを表示し、良／不良の境界位置の指定を受け付ける。また１つの画像リストに対する指定が行われると、「不良」の範囲に含まれた各部品について、「実不良」であると確定し、以下の画像リストから削除する。最終的にリストに残された部品について、作業者の見過ぎ確定操作がなされると、見過ぎであると確定する。 （もっと読む）

【課題】構造体の欠陥の有無を、構造体を破壊することなく簡便且つ正確に検知することができる欠陥検知方法及びシステムを提供する。
【解決手段】本発明に係る欠陥検知システム１０は、検知対象である構造体２の表面に形成した発光膜１の発光を検出することによって、欠陥の有無を検知する。発光膜１は、発光粒子１ａを含有している。欠陥が在る構造体２に歪みの変化が生じると、欠陥周辺に応力集中が起きて歪み、該表面の発光膜も歪む。その歪みエネルギーが発光粒子に伝播して発光するので、目視できない欠陥を、発光という形で構造体外部に示すことができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、被検査物の撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、その工程で得られた各画素の欠陥強調値に基づいて欠陥を検出する欠陥検出工程を有する。欠陥強調処理工程は、検査対象画素を順次選定する検査対象画素選定工程ＳＴ２１と、検査対象画素の周囲に所定距離離れて複数配置された比較対象画素を、複数の比較対象画素群に分けて設定する比較対象画素群設定工程ＳＴ２２と、比較対象画素群の各比較対象画素と検査対象画素の各輝度値の差である輝度差データを求め、その値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める最小輝度差算出工程ＳＴ２３と、比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層の効果的な使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成でき、例えばレンズの外観上の欠陥を撮像手段に精度良く撮像できて検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層と、該ルーバー層から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、を備えることを特徴とする。ルーバー層は、光透過帯と遮光帯が交互に配置されて面照明から入射する光の拡散を防止する第１ルーバー層と、該第１ルーバー層と直交する状態で配置され光透過帯と遮光帯が交互に配置されて面照明から入射する光の拡散を防止する第２ルーバー層とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査装置に習熟していない利用者でも容易に検査装置の検査精度と検査動作についての必要十分な診断が可能な診断装置を提供する。
【解決手段】被検査製品７を撮影した検査画像を生成する光学系２、３、５と、検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部１４と、検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部１７と、検査用判定結果に応じて被検査製品７を排出する排出装置６とを有する検査装置１の診断を行う診断装置１０において、診断時に光学系２、３、５と排出装置６を用いることなく画像計測部１４と検査結果判定部１７を稼動させて画像計測部１４と検査結果判定部１７の診断を行う検査精度診断部１０ａと、診断時に画像計測部１４と検査結果判定部１７を用いることなく排出装置６を稼動させて排出装置６の診断を行う検査動作診断部１０ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ１０の概要および欠陥を速やかに認識することが可能な観察装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る観察装置は、ウェハ１０を部分的に撮像可能な撮像部を備え、撮像部の撮像領域をウェハ１０の周方向に相対移動させながらウェハ１０（アペックス部１３）の部分を複数撮像して得られた、当該複数の撮像領域におけるウェハ１０の部分画像Ｃを用いてウェハ１０の表面観察を行う観察装置であって、撮像部により撮像されたウェハ１０の複数の部分画像Ｃをそれぞれ、撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから相対移動方向へ並べるように互いに連結して、ウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に視認できる連結画像Ｂにする画像連結部と、画像連結部により連結された連結画像Ｂを表示する画像表示部とを有している。 （もっと読む）

【解決手段】ウェハの少なくとも一部の画像を表示するためのさまざまなコンピュータ実行方法、キャリア媒体およびシステムが提供される。ウェハの少なくとも一部の画像を表示するコンピュータ実行方法は、ウェハの検査によって獲得される、実質的にウェハ全体の画像の異なる部分を個別に格納するステップを含む。画像の異なる部分はウェハ上の異なる領域に対応する。その方法は、ユーザによって要求された異なる部分のみをユーザ・インタフェース（ＵＩ）に表示するステップも含む。 （もっと読む）

【課題】ウェハに打ち込んだイオンの影響や、パターン接続の有無、パターンエッジの形状などの影響による検出画像誤差を生じることなく画像を検出する。
【解決手段】パターン検査方は、対象物基板を撮像してディジタル画像を得、このディジタル画像を用いて予め座標データで登録した領域、又は予め登録したパターンと一致するパターンをマスクして欠陥を検出し、この検出した欠陥を表示するようにした。又本発明によるパターン検査方法においては、対象物基板を撮像してディジタル画像を得、このディジタル画像を用いて欠陥を検出し、この検出した欠陥のうち登録した特徴に一致する欠陥の表示非表示を切替えるか他と識別可能なように表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】透明フィルム外観検査システムにおいて、簡単な構成により、透明フィルムや半透明フィルムにおける目視による発見が困難な欠陥に対し、その欠陥場所やその他情報を効率よく人に認識させることができるようにする。
【解決手段】外観検査システム１は、巻出し搬送される透明な帯状フィルム２の外観検査を行うシステムであり、フィルム２の巻出し搬送を行うフィルム搬送機構３と、フィルム搬送中にフィルム２の外観を撮像する撮像部４と、撮像した画像を処理してフィルム２の欠陥を検出する欠陥検出部５と、検出された欠陥データを記憶する欠陥データ記憶部６と、記憶された欠陥データを提示する欠陥提示部７と、を備える。欠陥提示部７は、巻出し搬送されるフィルム２の欠陥位置に対応して当該フィルム２の背面側に欠陥データを提示する。検査作業員は、リアルタイムで現物のフィルム上において、システム１が外観検査した結果を確認できる。 （もっと読む）

【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】処理負担の増加を招くことなく、正規かつ最終的な製品レベルの表示画面が検査されるナビゲーション装置およびその検査装置を提供する。
【解決手段】表示部３１に表示される表示画面には、肉眼では識別できない表示識別記号が表示される。表示識別記号は、表示部３１に表示される表示画面、および表示画面に含まれる表示部品にそれぞれ組み込まれている。ナビゲーション装置３０を検査するとき、カメラ１７で表示部３１に表示された表示画面を撮影し、識別記号抽出部１６において撮影された画像から表示識別記号を抽出する。抽出した表示識別記号は、判定部１５において、画面遷移記憶部１２に記憶され予め表示画面ごとに設定されている識別番号と照合される。照合した識別番号と表示識別番号が一致すれば表示画面の遷移は適切に実施されていると判定され、一致しないとき表示部３１に表示された表示画面は適切でないと判定される。 （もっと読む）

【課題】ウェハ裏面を検査し、検出した欠陥が、搬送手段の接触による汚染であるかの判定と、発生源の特定ができるような平面基板検査装置および平面基板の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送部２０等により保持されるウェハ１の保持面（例えば、ウェハ裏面１ｂ）の表面状態を検査する平面基板検査装置を、ウェハ裏面１ｂを照明する光ファイバー３，４およびコンデンサレンズ５，６と、照明されたウェハ裏面１ｂの像を結像する受光レンズ７と、結像された像を検出して被検査面情報として出力する撮像素子８および画像処理部９と、接触位置情報を記憶する接触位置情報記憶部１３と、被検査面情報と接触位置情報とを比較照合する比較照合部１２とから構成する。 （もっと読む）

【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 （もっと読む）

本願は、ルール一式を定義するデータを記憶するデータベースと、材料のウェブ上に複数の作業を行う複数の製造プロセスラインに関連付けられた複数の種々の解析マシンから局所異常情報を受け取るインターフェースとを含み、製造プロセスラインのそれぞれが異常を含むウェブ上の一連の領域に関する位置データを含む、変換制御システムを記載する。上記システムはまた、複数の製造プロセスラインに関する局所異常情報の位置データを登録して集合異常情報を生成するコンピュータを含む。上記システムは、いずれの異常が、複数の種々の製品用のウェブにおいて実際の欠陥を示すかを判定するために、ルールを集合異常情報に適用する変換制御エンジンを更に含む。 （もっと読む）

【課題】回路基板の端子位置の観察精度を向上する。
【解決手段】基材７に導電材９の配線パターンが形成され、端部に前記導電材９を露出した端子部３を有した回路基板１の前記端子部３の位置を認識する際に、前記端子部３の導電材９の根元部３Ｂだけを観察対象として画像処理手段１７で画像処理することで、前記端子部３の位置を認識することを特徴とする。 （もっと読む）