【課題】作業者が管状物の展開画像を立体的に認識することが可能な管内壁面画像展開システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る管内壁面画像展開システム５０によれば、画像データＳｖｐに対し視点の異なる２つの第１サンプリング位置Ｐａ、第２サンプリング位置Ｐｂで第１画像データＳＰａ、第２画像データＳＰｂをサンプリングし２つの第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを作成する。そして、同一位置の第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを左右に並べて表示することで、作業者は第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを一つの立体的な展開画像として認識することができる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ基板の欠陥検査において、欠陥を分類するための効率的で、信頼性のある方法及びシステムを提供する。
【解決手段】複数のシリコンウェーハからの走査データを解析する方法であり、各ウェーハのグラフィック表現であるウェーハマップに重ねて少なくとも１つの欠陥タイプを指示する複数のデータ点から成る、対応する母集団からのデータ点を表すシンボルを表示する。ここで、プロットされるシンボルは、各ウェーハマップに対応するウェーハ上に存在する少なくとも１つの欠陥タイプのグラフィック描写を与えることができるように、データ点が関連付けられる場所のウェーハマップ上にプロットされる。また、ウェーハマップを積み重ねられて表示され、その積み重ね順序はウェーハの既知の特徴や走査データが得られた処理に予め決められた順序で表示される。 （もっと読む）

【課題】外周縁の断面形状が表裏で異なるボタンの表裏を確実に判別することのできるボタンの表裏判別方法およびボタンの表裏判別装置を提供する。
【解決手段】ボタンの表裏判別方法は、載置面上に載置されるボタン上方から斜光Ｌａを照射した際に、ボタン直下の載置面上に斜光Ｌａの照射方向に向かって形成される影の長さに基づいて、ボタンＢの外周縁の断面形状の相違を判別することにより、ボタンＢの表裏を判別する。ボタンの表裏判別装置１は、斜光Ｌａを照射する斜光照明装置７と、斜光Ｌａを受光するイメージセンサ３と、斜光Ｌａを照射して形成されるボタンＢの斜影長さをイメージセンサ３で検出し、検出したボタンＢの影の長さに基づいてボタンＢの表裏を判別する制御手段５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】照明光学系２により標準異物ウエハ１１０の表面に照明光を照射しつつ、その照射光により標準異物ウエハ１１０の表面を走査し、検出光学系３の検出器３１〜３４により標準異物ウエハ１１０の表面からの散乱光を検出し、その散乱光の検出結果と予め定めた基準値とを用いて検出器３１〜３４の光電子増倍管３３１〜３３４の検出感度を補正するための補正パラメータＣｏｍｐを算出し、その補正パラメータＣｏｍｐを経時劣化パラメータＰ、光学的特性パラメータＯｐｔ、及びセンサ特性パラメータＬｒに分離して管理する。 （もっと読む）

【課題】照明系と検出系、温度・気圧と言った環境をモニタリングする情報収集機能、モニタリング結果と設計値、理論計算値もしくはシミュレーション結果により導出した理想値を比較しモニタリング結果と理想値を近づけるように装置を較正するフィードバック機能を有する装置状態管理機能、を含むことで、装置状態及び装置感度を一定に保つ手段を提供する。
【解決手段】制御部８００を記録部８０１、比較部８０２、感度予測部８０３、フィードバック制御部８０４、を含む構成とする。比較部８０２において、記録部８０１から送信されたモニタリング結果とデータベース８０５に格納された理想値を対比する。理想値とモニタリング結果との差分が所定の閾値を越えた場合には、フィードバック制御部８０４が照明系と検出系の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】自動外観検査で不良と判定される部品の良否を確認する作業を効率良く行うとともに、その作業の精度を確保できるようにする。
【解決手段】自動外観検査で不良と判定された同一部品種の部品を、それぞれの画像から抽出された特徴量による特徴空間に配置してクラスタリング処理を実行し、設定された集合Ｃ１，Ｃ２毎に良・不良を確定する。この確定処理では、処理対象の集合全体を含むように確認対象範囲を設定し、この範囲の境界部に対応する部品の画像を表示して、作業者による良否判定の入力を受け付ける。ここで表示された全ての部品が良品と判定されると、確認対象範囲内の全ての部品を良品として確定する。一方、表示された部品の中に不良品と判定されたものがある場合には、確認対象範囲を縮小し、更新された確認対象範囲の境界部に対応する部品の画像を表示して、同様に判定入力を受け付ける。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、検査対象物の外観面の状態を表わした画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、回転対称形状の金属部材である検査対象物を回転させる。ライン照明１４によって線状スリット光を照射して、反射光をエリアカメラ１８によって撮像する。画像処理部３２によって、検査対象物の所定の回転量毎に撮像された複数の撮像画像の各々から、線状スリット光の反射光を表わす部分の周辺の所定領域を切り出して、切り出された所定領域の画像データを並べて合成して、検査対象物の外観面の状態を表わす外観面画像を生成する。欠陥検出部３４によって、外観面画像から、輝度値が所定値以上となる部分を欠陥候補として検出する。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法。
【解決手段】 この方法は、基準画像を作り出すためのトレーニングプロセスを備える。トレーニングプロセスは、未知の品質の第１のウェーハの複数の画像を収集するステップを含み、第１のウェーハの複数の画像の各々が所定のコントラスト照明で収集され、および第１のウェーハの複数の画像の各々が複数の画素を備える。トレーニングプロセスはさらに、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々に対する複数の基準強度を決定するステップと、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々の複数の基準強度に対する複数の統計的パラメータを算出するステップと、算出された複数の統計的パラメータに基づいて第１のウェーハの複数の画像から複数の基準画像を選ぶステップとを含む。ウェーハを検査するためのこの方法は、第２のウェーハの画像を収集するステップであって、第２のウェーハが未知の品質であるステップと、複数の基準画像から第１の基準画像を選ぶステップと、第２のウェーハ上の欠陥の存在およびタイプの少なくとも１つをそれによって決定するために第１の基準画像と第２のウェーハの収集画像を比較するステップとを更に含む。
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本発明は、車両ウィンドウガラス（１）を通して車両周囲を捕捉するカメラ装置に関する。この装置には、画像を記録する画像センサ（４）を備えたカメラ（２）が設けられており、画像センサ（４）のセンサ面（１０）により、車両周囲から発せられた第１の光放射（６）を捕捉することができる。さらに第２の光放射（７）を送出する放射源（３）が設けられている。この場合、送出された第２の光放射（７）の少なくとも一部分が画像センサ（４）のセンサ面（１０）によって捕捉され、このセンサ面（１０）により捕捉された第２の光放射（７）の一部分は、車両ウィンドウガラス（１）のウィンドウガラス状態に依存している。さらにセンサ面（１０）の少なくとも１つの部分領域（８，９）によって、第１の光放射（６）も第２の光放射（７）も共通に捕捉される。
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【課題】明欠陥と暗欠陥とが混在する場合にも被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、欠陥を検出する欠陥検出工程とを有している。欠陥強調処理工程ＳＴ２は、明欠陥と暗欠陥の一方の欠陥成分にマスク処理を行う欠陥マスク処理工程ＳＴ２１と検査対象画素を選定する検査対象画素選定工程ＳＴ２２と、検査対象画素の周囲に比較対象画素を設定する比較対象画素群設定工程ＳＴ２３と、検査対象画素と比較対象画素との輝度差データを求め、最小輝度差を求める最小輝度差算出工程と、各比較対象画素群に対して算出された最小輝度差の値が最大値を欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】目視観察用のモニター装置を用いて、大型基板上の欠陥部位を観察するに当たり、当該部位が該モニター画面上のどこにあるのか容易に認識できる手段及びこの手段を備える目視検査システムを提供する。
【解決手段】自動欠陥検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、目視検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、蓄積された前記パターンの欠陥に関する情報を目視検査支援システムに備わるモニター装置で閲覧する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの撮像映像を目視検査装置に備わるモニター装置に表示する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの欠陥部位を、前記欠陥情報データベースに蓄積された情報に基づいて、レーザポインタにより照射する手段と、を備えることを特徴とする目視検査システム。 （もっと読む）

【課題】 同一の欠陥について複数のカメラで異なるタイミングで検出されることがある検査システムにおいて、表示・出力する欠陥情報を適切に絞り込むこができるようにする
【解決手段】 紙１の搬送方向に沿って、前後に配置された複数のカメラ装置１０で撮像された画像データを取得すると共に、各カメラ装置からの画像データ単位で画像認識処理を行い、欠陥の有無を判断する検出ラック部２１と、検出ラック部で欠陥を検出した場合に、欠陥処理部２２を経て作成された検出された欠陥情報を表示装置３０に表示するデータ処理部２３とを備える。データ処理部は、異なるカメラ装置で撮像された同一の欠陥についての欠陥情報を比較し、決定ルールに従って決定された異なるカメラ装置のうちの１つのカメラ装置で撮像された画像データに基づき抽出した欠陥情報を代表欠陥情報として決定し、表示する機能を備えた。 （もっと読む）

【課題】パーツの評価に必要な写真を効率良く撮れる、パーツ評価のための装置と方法を提供すること。
【解決手段】パーツ評価装置１０は、カメラ１４、評価されるパーツ１２に対してカメラを所定の位置に保持するカメラ保持部材１６、及びカメラ保持部材に対して固定位置に設けられる指標表面１８を含むことができる。カメラは、指標表面とパーツ両方の写真を同時に撮影できるように配置され、よって写真を用いて指標表面の画像とパーツの画像とを比較することによりパーツを評価することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像対象物が移動している場合であっても、ダイナミックレンジを拡大した合成画像を適切に生成可能な画像処理装置を提供する。
【解決手段】合成画像を生成するための露光条件と同じ露光条件で、基準とすべきワーク（基準ワーク）を複数回撮像し、それぞれの撮像によって取得された複数の入力画像ＩＭＧ３から、指定された領域が参照画像ＲＥＦとして登録される。稼動モードでは、複数の露光条件でワーク２を複数回撮像することで複数の入力画像ＩＭＧ１を取得し、それぞれの入力画像ＩＭＧ１に対して参照画像ＲＥＦに基づくサーチ処理が実行され。それぞれ特定された位置に基づいて、複数の入力画像ＩＭＧ１から所定の大きさをもつ部分画像ＩＭＧ２がそれぞれ抽出され、抽出された複数の部分画像ＩＭＧ２に対して画像合成処理が実行されることで、合成画像ＯＵＴＩＭＧが生成される。 （もっと読む）

【課題】 同一の欠陥についての情報を容易に比較・監視するできること
【解決手段】 ロール紙の搬送方向に沿って、前後に配置された複数のカメラ装置で撮像された画像データを取得すると共に、各カメラ装置からの画像データ単位で画像認識処理を行い、欠陥の有無を判断する判断手段と、判断手段で欠陥を検出した場合に、その欠陥を含む画像を切り出すとともに、その切り出した画像と、検出した欠陥の位置を特定する位置情報と、を関連付けた欠陥情報を作成する欠陥情報作成手段と、その欠陥情報を表示装置に出力する処理手段とを備える。処理手段は、位置情報に基づき異なるカメラ装置で撮像された同一の欠陥についての欠陥情報を抽出し、その抽出した欠陥について切り出した画像（欠陥画像）を同一の表示画面（図に示す欠陥時系列表示画面）に同時に出力する機能を備えた。 （もっと読む）

【課題】
従来の照射光学系では、照射光学系の状態確認用にカメラを搭載しているが、明るさや光軸のモニタとして使用されているに留まり、装置の異常や定期メンテナンスなどの調整時に使用されていた。本発明では、複数のカメラで照射光学系の状態をモニタリングし、装置にフィードバックすることで、環境の変動に影響を受けない安定した照射光学系、および検査装置を提供することができる。また、部品交換などのメンテナンス時間の短縮を可能とすることを目的とする。
【解決手段】
複数台の撮像装置を設置し、それらの画像を解析することができる計算処理部を有し、計算結果より照射光学系にフィードバックすることができる調整機構を搭載していることを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】一対の画像を比べて異なる部分を出力画像面上で位置ずれとして認識できるようにする画像処理において、画像サイズが異なる場合のずれ検出を可能にする。
【解決手段】ヒストグラム生成部１０２は、入力された一対の画像から外接矩形サイズ取得部１０１で取得した、画像内の文字とみなせる画素連結成分に外接する矩形のサイズ（幅・高さ）のヒストグラムを各画像で生成する。サイズ差算出部１０３は、前記ヒストグラムから最頻値を取得し、取得した最頻値の差を一対の画像間の変倍率として算出する。位置ずれ検知部１０４は、算出された一対の画像間の変倍率を用いて画像を変倍し、一対の画像間のサイズ差を無くし、変倍後の一対の画像を比較することにより両画像の位置ずれを検知する。位置ずれ表示用画像出力部１０５は、位置ずれ検知データを処理対象の画像面上に表す位置ずれ表示用画像を生成し、出力する。 （もっと読む）

【課題】装置全体をコンパクト化して、取り扱いを容易化するとともに、構成の簡素化と動作の安定化並びにローコスト化が図れる押し込み型管内検査カメラ装置を提供する。
【解決手段】環状の巻枠部１１ａおよび円形の開口部１１ｂを有する有底筒状の本体フレーム１１と、映像信号の伝送線路および電源供給線路を内包し、巻枠部１１ａの内周部に巻装されて、開口部１１ｂから出し入れされる、弾発性を有するハードケーブル１２と、巻枠部１１ａの内周部に巻装されたハードケーブル１２を本体フレーム１１の開口部１１ｂから巻枠部外部に導出するケーブルフックを構成するケーブルガイド１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアの検査において、ナノインプリント時の欠陥か、表面に付着した異物あるいは傷かを区別して検査する。
【解決手段】ナノインプリント時の欠陥の検査は複数の波長を含む第１の光源からの光をハーフミラー７、対物レンズ８を介してディスク基板１に照射し、反射光を対物レンズ８、ハーフミラー７を介して分光器９に入射させることによってスキャットロメトリー法により検査する。ディスク表面の異物あるいは傷をレーザ光１０を斜め方向から照射し、第１の仰角と第２の仰角に配置した検出装置１１、１２によって検出する。スキャットロメトリー法による欠陥の座標が異物あるいは傷の座標と一致すれば、ナノプリント時の欠陥ではないと判断し、一致しなければナノプリント時の欠陥と判断する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に係るパラメータを容易に設定できる画像処理システムおよび当該パラメータの設定を支援する方法を提供する。
【解決手段】設定された計測領域３４２に対して、評価点（エレメント）が生成され、その各々についての欠陥度が算出される。さらに、算出された欠陥度に基づいて、Ｘ軸に沿った欠陥度のプロファイルおよびＹ軸に沿った欠陥度のプロファイルが算出される。これらの算出されたＸ軸およびＹ軸のそれぞれに沿った欠陥度のプロファイルが、計測領域３４２の近接した位置に、計測領域３４２のそれぞれＸ軸およびＹ軸に対応付けて表示される。プロファイル領域３４４には、判定条件設定エリア３９０において設定される欠陥度判定値を示す判定値ライン３４４Ｃが表示され、プロファイル領域３４６には、欠陥度判定値を示す判定値ライン３４６Ｃが表示される。 （もっと読む）