【課題】
パルスレーザ光源から発射されるパルスレーザのパルス発振周波数よりも高いサンプリングレートで試料にダメージを与えることなく検査することを可能にする。
【解決手段】
パルス光源から発射されたパルス光の１パルス分の光を複数のパルスに分割し、この分割されたパルス光を試料に照射し、照射により試料から発生した散乱光を集光して検出し、試料からの散乱光を集光して検出して得た情報を用いて試料上の欠陥を検出する欠陥検出方法において、１パルス分の光を複数のパルス光に分割することを、分割した各パルス光のピーク値がほぼ一定になるように制御して分割するようにした。 （もっと読む）

【課題】
放射線の多い環境において光学カメラを用いて検査を行う際、放射線ノイズによる画質の低下がない良好な映像を得る。
【解決手段】
目視検査装置を、光学カメラを有する撮影手段と、撮影手段で検査対象物を撮影して得た映像であって該映像の各フレームに対してほぼ独立な信号(ノイズ)を含む映像を取り込む映像取得手段と、映像取得手段で取り込んだ映像を構成する時相の異なる複数枚のフレームに対して局所的に位置合わせを行う局所位置合わせ手段と、局所位置合わせ手段で位置合わせを行った複数枚のフレームに対してフレーム合成を行ってフレーム合成前のフレームよりもＳＮ比が高い合成フレームを生成するフレーム合成手段と、フレーム合成手段で生成された合成フレームから構成される映像を表示または記録する映像出力手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】観察者の検査にかかる自由度を向上させることができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】観察対象の基板Ｗを保持する基板ホルダ２１を有する基板保持装置２と、基板ホルダ２１の移動方向および移動量を操作するコントローラ３とを備えた外観検査装置１であって、コントローラ３は、互いに直交する３つの軸からなり、コントローラに固定された第１座標系に対する並進または回転に基づいて定められ、基板ホルダ２１が並進または回転を行なう移動方向と、基板ホルダ２１の移動方向における移動量とを含む信号を基板保持装置２に送信する信号送信部３４を備え、基板保持装置２は、信号送信部３４によって送信された信号を受信する第１信号受信２４部と、第１信号受信部２４が受信した信号をもとに、互いに直交する３つの軸からなる第２座標系を基準として基板ホルダ２１を駆動制御する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】リードを鮮明に識別することにより、検査の精度を向上した基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品の半田付け状態を検査する基板検査装置１において、内面が反射面１２とされた反射部材１１の基板側周囲部１５に複数個設置され、反射面１２側に白色光を出射する白色ＬＥＤ１３と、基板面７１を撮影するＣＣＤカメラ３０と、白色ＬＥＤ１３を発光させて、ＣＣＤカメラ３０による基板面７１の撮影を行い、ＣＣＤカメラ３０で撮影された画像中に所定の領域を設定し、設定された所定の領域中に含まれる白色領域を求め、所定の領域中に含まれる白色領域に基づいて、リード７２の状態を判定するＣＰＵ５１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】処理装置によって基板上に成膜する処理を含む製造プロセスによって製造される又は製造された製造品について、上記基板上に異常が生じたか否かを検査するマクロ検査方法であって、マクロレベルの異常を客観的に検出することができるものを提供すること。
【解決手段】或る処理装置による処理を受けた後の製造品を撮像して検査対象マクロ画像を取得する一方、その製造品がその処理装置による処理を受ける以前に、その処理装置による処理を受けた同種の製造品を撮像して得られたマクロ画像の中から、比較の基準となる比較基準マクロ画像を用意する（Ｓ１０１，Ｓ１０２）。検査対象マクロ画像と比較基準マクロ画像との間で、互いに類似している程度を定量的に表す類似度を算出する（Ｓ１０３）。類似度が予め決められた管理範囲から外れたかどうかを判断する（Ｓ１０４）。 （もっと読む）

【課題】検出光学系で検出された検査光の照度分布に適合するようにしきい値の設定が可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】検出光学系で検出された光の照度分布を取り込み、取り込んだデータを基に、検出光学系の画素毎にしきい値を算出する。次に、検査結果データから、しきい値係数の変更による検査結果の再計算を可能とし、アシストツール画面(ＧＵＩ)上に表示させ、検出欠陥の観察も可能とする。また、複数個のしきい値係数の算出ができ、アシストツール画面(ＧＵＩ)上にそれぞれのしきい値係数で再算出した結果を表示させることができる。したがって、ＴＤＩセンサに取り込まれる光の照度分布に適合したしきい値を設定することができる。つまり、光学部品の劣化や装置固有の照射系、検出系の特性に適合したしきい値を設定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
試料全面を短時間で走査し，試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】
光源から発射されたパルスレーザをパルス分割し、パルス分割したパルスレーザを回転しながら一方向に移動している試料の表面に照射し、パルス分割されたパルスレーザが照射された試料からの反射光を検出し、反射光を検出した信号を処理して試料上の欠陥を検出し、検出した欠陥に関する情報を表示画面に出力する欠陥検査方法において、パルス分割したパルスレーザの光強度の重心位置をモニタし、モニタしたパルス分割されたパルスレーザの光強度の重心位置を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】ユーザの意図を反映可能な分類条件設定機能を有する二分木構造を用いて欠陥を分類する装置の提供。
【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の欠陥の有無を簡単に認識できる検査装置を提供する。
【解決手段】内視鏡装置３は、第１の条件に基づいて、画像から検査対象物の第１の特徴部を検出する特徴検出部と、第１の特徴部に基づいて、検査対象物の第１の欠陥部を検出する欠陥検出部と、第１の欠陥部を示す情報を、画像と共に表示する表示部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ブレード上の欠陥の有無、量及び大きさを簡単に認識できるとともに、複数のブレード上に存在する複数の欠陥を簡単に認識することができる内視鏡装置を提供する。
【解決手段】内視鏡装置３は、１の条件に基づいて、画像から複数の被写体のうち少なくとも２つの被写体の第１の特徴部を検出する特徴検出部と、少なくとも２つの被写体の第１の特徴部に基づいて、第１の被写体の第１の特徴部と第２の被写体の第１の特徴部とを判別する特徴判別部と、第１の被写体の第１の特徴部、及び第２の被写体の第１の特徴部に基づいて、第１の被写体の第１の欠陥部、及び第２の被写体の第１の欠陥部を検出する欠陥検出部と、第１の被写体の第１の欠陥部を示す情報、及び第２の被写体の第１の欠陥部を示す情報を、画像と共に表示する表示部とを有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂成分に依存して入射角度などを変更する必要がなく、鋼板地肌を精度良く検査すること。
【解決手段】樹脂被膜付き鋼板の表面検査方法は、所定の偏光角度で直線偏光されたシート状の光を被膜のブリュースター角度と所定の角度以上異なる入射角度で鋼板に照射する工程と、偏光角度０度の直線偏光を、入射光の正反射角度に対して所定の角度ずらした受光角度で撮像する工程とを含む。これにより、被膜からの反射が抑制され、被膜自体の異常を観察せず、鋼板の地肌を観察することができ、高精度な検査が可能になる。また、樹脂成分に依存して入射角度および受光角度を変更する必要がなく、鋼板地肌を精度良く検査することができる。 （もっと読む）

【課題】幅の広い鋼板を検査する際に高分解能な縞画像を撮像して、微小な表面欠陥を検出すること。
【解決手段】本発明に係る表面欠陥検査装置は、変調された線状のレーザ光を互いに重畳しないように照射する複数のレーザ照射装置と、鋼板によって反射された線状のレーザ光を撮像し、前記鋼板の光切断像を生成する複数の遅延積分型撮像装置とを有する鋼板撮像装置により生成された光切断像から構成される縞画像を利用して、鋼板の表面の凹凸状態を表す複数の形状画像と、鋼板の表面での粗度の相違を表す複数の輝度画像と、を生成する画像生成部と、搬送ラインにおける鋼板の搬送速度に応じて、生成された形状画像及び輝度画像を伸縮させて当該鋼板の搬送速度によらない一定の画像サイズへと変更する画像伸縮処理部と、伸縮後の形状画像を利用して、鋼板の表面に存在する表面欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】めっき製造工程におけるめっき品質を傾向管理することによって、安定した検査を行うめっき検査装置を提供する。
【解決手段】板状金属製品に照明光を照射する照明手段と、板状金属製品を撮像して画像情報を得る撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給、排出する供給排出部と、めっき基準品の画像情報を処理して検査情報を得、検査情報と板状金属製品の画像情報を比較することによってめっき状態を判定して検査結果を得て、装置全体の動作制御を行う処理制御部と、板状金属製品の画像情報および検査結果と、めっき基準品の画像情報および検査情報とを記憶する記憶手段と、めっき基準品の画像情報を参照して、板状金属製品の検査結果および画像情報の傾向を比較するめっき状態管理手段と、を備えたことを特徴とするめっき検査装置。 （もっと読む）

【課題】この発明は、長尺状の被検査部の外面全周に異常が有るか否かを正確且つ確実に判定することができ、検査精度の向上を図ることができる被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】搬送路２上の検査区間Ｃに搬送されるエナメル線Ａの外面全周を、拡散反射板３が拡散及び反射する光源４からの光で均一に照光する。エナメル線Ａの上側周面Ａａと、反射部６に映り込ませた左右周面Ａｂ，Ａｃとを撮像カメラ５で撮像する際、光透過部７により反射部６が反射する左右周面Ａｂ，Ａｃの光路長Ｌ２を、上側周面Ａａの光路長Ｌ１と同一又は近似する長さに調整する。これにより、エナメル線Ａの上側周面Ａａ及び左右周面Ａｂ，Ａｃの画像を撮像カメラ５により鮮明に撮像することができ、その画像情報に基づいて、エナメル線Ａの外面全周に異常が有るか否かを外観判定装置９で確実且つ正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】舗装道路のひび割れ検出は、現場を撮影した画像を検査所に持ち帰り、分析機器を使って分析・評価しているが、全長が何百キロメータ以上にも及ぶ道路のひび割れ検出には処理画像の量が膨大で人的作業に適さず、評価も技術者の経験による主観的判断によっているため、客観的かつ定量的に行うことが不可能である。
【解決手段】本発明に係る舗装路面のクラックの抽出と損傷レベルの評価方法は、遺伝的プログラミングによる並列型画像フィルタ自動生成システムにサイズ依存型交叉を導入して複数の実舗装画像からクラック(1)の抽出が困難と思われる箇所をフィルタ構築の訓練データに選定採用することで様々なタイプの画像からクラックの抽出用画像フィルタ(4)を自動的に構築する。そして、評価対象舗装領域の画像全体を格子状に分割した個々のブロック(6)に該抽出用画像フィルタ(4)を適用して評価する。 （もっと読む）

【課題】連続的に移動する検査対象を静止させることなく、光沢を除去して、より精度の高い画像処理を行うことのできる画像処理方法および画像処理システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置は、所定位置に配置された撮像部を用いて、当該撮像部に対して一定の相対位置に配置された照明光源で当該撮像部の視野を照明した状態で、予め定められた方向に移動する検査対象を複数回撮像し、撮像部による一連の撮像により取得される複数の画像のうち２つの画像間で検査対象の少なくとも一部を示す領域を順次探索することで、検査対象を基準として、複数の画像を位置合わせし、当該位置合わせされた複数の画像から合成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 構造物、とくに、アーチダムや、火力発電所、高層ビルなどの巨大構造物のコンクリートの劣化状態を安全に、かつ、精度よく、検出することができる構造物のコンクリート劣化検出システムを提供する。
【解決手段】 超望遠ズームレンズを２備えたビデオカメラ３と、ビデオカメラの向きを上下方向に変化させる上下方向カメラ駆動装置５と、ビデオカメラの向きを左右方向に変化させる左右方向カメラ移動手段６と、構造物のコンクリート面までの距離を測定する距離計４と、画像データを保存するメモリ手段８とを備え、距離計４で距離を計測しつつ、ビデオカメラ３の向きを上下方向に変化させて、構造物の１ラインを撮影し、左右方向に隣り合った構造物の１ラインを、撮影領域がオーバーラップするように、撮影する動作を繰り返して、画像データを生成し、さらに、副走査方向に隣り合った上下方向の画像データを貼り合わせ、ディスプレイ１６に表示する画像処理手段１５とを備えた構造物のコンクリート劣化検出システム。 （もっと読む）