【課題】修正すべきパターン箇所を容易に判別可能な情報を出力する機能を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】設計パターンデータの抽出は、欠陥一つ毎に、制御計算機１１０が欠陥座標を包含するＸ、Ｙそれぞれの所定範囲を算出し、次いで、第１の磁気ディスク装置１０９ａから読み出した設計パターンデータから、所定範囲内に原点が存在するクラスタまたはセルデータを抽出して出力ファイルを作成する。出力ファイルは、入力した設計パターンデータと同一フォーマット、または、汎用性の高いＯＡＳＩＳフォーマットデータに変換して第２の磁気ディスク装置１０９ｂに出力する。この欠陥の検出された箇所のみのパターンデータは、検査装置１００から外部装置に出力可能である。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】ブレードを撮像した画像におけるブレードの領域を検出することができる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像から、テンプレート画像に対して所定のフレーム数だけ離れた参照画像を抽出する。ＣＰＵ３４ｃは、テンプレート画像と参照画像との差分を抽出し、その差分に基づいてブレード領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】問題が発生した場合にその原因を把握して、検査装置の復旧を迅速に行う。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムである。前記検査装置は、全体的な動作状況、検査の進行状況等が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面の表示方法について改良を行う。
【解決手段】対象物の表面を表示する方法として、対象物の表面の実測３Ｄデータ（７）が求められる。次に、対象物の表面の所期３Ｄデータ（５）が実測３Ｄデータ（７）を基にして修正される。そして、対象物の表面の所期３Ｄデータ（５）と修正された所期３Ｄデータ（５）が３Ｄ表示用データとして使われる。 （もっと読む）

選別装置は、物品の流れを自由飛行状態で選別ゾーンへと送る供給システムを具備し、選別ゾーンのエジェクターは選択的に作動して上記流れから物品を排除し、カメラは選別ゾーンの上流のイメージ化ゾーンに配されてコンピューター処理されるイメージデータを生成し、該コンピューター処理により１つ或いは複数の選別基準に従って選別ゾーンで排除するべき物品が識別され、該コンピューターが処理データに基づいてエジェクターに指示を出す。また該コンピューターは、グラフィカルユーザーインターフェースに接続されていて、該インターフェースにイメージ化ゾーンの生産物の流れのイメージを表示すると共に、作動したエジェクターと生産物の流れとの交差エリアを示す。また、排除パラメーターを調整して交差エリアの境界を移動させることができる。 （もっと読む）

検査装置は、イメージ化ゾーンへ物品の流れを送る供給システムを備える。カメラは、上記ゾーンにおいて上記流れからコンピューター処理用のイメージデータを生成する。コンピューターは、イメージデータから複数エリア内の欠陥を識別し、該欠陥をランク付けするためのパターン認識システムを備える。該システムは複数の欠陥基準に従って動作するようにプログラムされている。コンピューターはまた、ＧＵＩに接続されて、上記イメージデータから識別されたエリアを、複数の欠陥基準のそれぞれにおいて、該エリア内で識別された欠陥のランクに従って配置されたサムネイルとしてＧＵＩ上に表示する。生成されたイメージデータからのエリアは、通常、それぞれの識別された欠陥の周りに、該欠陥を中心として定められる。これらエリア即ちサムネイルは重複可能である。 （もっと読む）

【課題】高感度の欠陥検出が可能となるように最適な撮像条件と閾値を簡単に決定する
ことができる欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】先ず、複数の撮像条件に基づいて、欠陥を含むパターンのシミュレーション画像と欠陥を含まないパターンのシミュレーション画像を生成し、次に、複数の撮像条件毎に両者の差分信号を計算し、最後に、複数の撮像条件毎に差分信号を表示装置に表示する。予想される複数の致命欠陥について、シミュレーション画像の差分信号を計算し、欠陥毎に差分信号を表示する。 （もっと読む）

【課題】デバイス画像を生成するための方法、システムおよびコンピュータ・プログラムを開示する。
【解決手段】方法は、デバイスの第一および第二画像を撮像するステップであって、該第一および第二画像はオーバーラップする部分を有する、撮像するステップと、オーバーラップする部分を予測して、第一および第二画像を近似的に整列するためのおおよそのシフト量を得るステップと、を含む。方法は、定義された相互相関アルゴリズムを使ってオーバーラップする部分を解析し、第一および第二画像を整列するための厳密なシフト量を計算するステップと、厳密なシフト量を使って第一および第二画像を一緒に結合するステップと、をさらに含む。一つの実施形態において、光学システムを使って画像が撮像され、第一および第二画像を撮像するために、ステージを使ってデバイスまたは光学システムのいずれかが移動され、予測するステップは、ステージの移動量を用いてオーバーラップする部分を予測するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】パターン形成前の検査段階において、基板コストの削減と歩留まりの向上を図ることができる基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】パターン形成前の基板検査において、設計データ３０３を利用して、検出された欠陥５０４がウェハ上の場所を示した検査マップ上のどの位置にあるを考慮して不良率５０６を計算する。また、不良率５０６に応じてパターンの位置を変更する情報を出力する。これにより、基板に欠陥があってもパターンに影響を与えなければ廃棄することなく、基板コストの削減を図ることができる。また、欠陥の位置を設計データ上で変更させることにより、不良率を下げて歩留まりの向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ユーザのパーティクル発生要因判定システムの利用に関するインセンティブを与えることができる課金方法を提供する。
【解決手段】ユーザがパーティクルマップを入力するユーザインターフェイス装置１１と、サーバ装置１３とを備えるパーティクル発生要因判定システム１０において、サーバ装置１３が、パーティクルマップに基づいて、複数のパーティクル発生要因の各々についての確度を算出し、ユーザインターフェイス装置１１が、算出された各確度や、該確度に対応する各パーティクル発生要因に関する発生要因関連情報２７の標題等を表示し、サーバ装置１３が、発生要因関連情報２７をユーザインターフェイス装置１１に提供するとともに、少なくとも提供される発生要因関連情報２７に対応するパーティクル発生要因の確度に基づいて決定された課金額を発生要因関連情報２７の提供に対して課金する。 （もっと読む）

【課題】試料上で注目領域に存在する目的物質を高い信頼度で同定する。
【解決手段】測定者は可視光による試料の表面観察画像を画面上で確認し、注目領域を選択指示する（Ｓ４）。すると、注目領域に含まれる測定点において測定された赤外吸収スペクトルに現れる吸収ピークが抽出され（Ｓ５）、吸収ピーク毎にそのピークが観測される測定点の２次元分布が取得される（Ｓ６）。そのあと、各ピークの２次元分布毎に注目領域との分布の相関係数が計算される（Ｓ７）。そして、注目領域内の各測定点における赤外吸収スペクトル中の各吸収ピークに対し相関係数に応じた重み付けを行った上で、該スペクトルと既知物質のスペクトルとのマッチングを実施して、各測定点に存在する物質を同定する（Ｓ８）。 （もっと読む）

本発明は、帯状材（４）の製造および／又は加工のための装置（２）の監視システム（１）に関する。この監視システム（１）は、少なくとも１つの計算ユニット（１ａ）を含み、かつ装置（２）内で帯状材（４）の破損を認識するための少なくとも１つの第１の分析ユニット（５）と装置の領域内で物理的な測定量および影響量を把握するための多数の他の分析ユニット（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ）とにより発生可能である信号を把握して共時的に可視化することによって装置（２）の状態監視およびプロセス監視を実行するように構成されている。更に、本発明は、このような監視システムを備えた装置およびこのような監視システムを用いる方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 検査員の熟練度に依存することが少なく、検査効率の良い目視検査装置及び目視検査方法と、そのような目視検査装置を備えた検査システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 検査対象パネルにテストパターンを表示させる手段を備えたディスプレイパネルの目視検査装置であって、テストパターン記憶手段と、自動検査装置が作成した自動検査結果情報を取得する手段と、自動検査装置が検査対象パネルに存在すると判断した欠陥についてのマーカーパターンを上記取得した自動検査結果情報に基づいて作成する手段と、作成したマーカーパターンをテストパターンに重畳させる手段と、マーカーパターンが重畳されたテストパターンを検査対象パネルに表示させる手段を備えている目視検査装置及び目視検査方法、並びにそのような目視検査装置を備えた検査システム並びに目視検査方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩセンサ等のセンサのラインレート以上のスキャン速度で検査した場合、ＴＤＩセンサのラインレートとスキャン速度が非同期となり画像がボケてしまうため、ＴＤＩセンサのラインレート以上のスキャン速度では使えないという課題についての配慮がされていなかった。
【解決手段】ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度を非同期で制御し、且つＴＤＩセンサの電荷蓄積による画像加算ずれの課題を解決するため、被検査物に細線照明を照射し、ＴＤＩセンサの任意の画素ラインのみに被検査物の散乱光を受光させる。また、ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度の速度比によって、検出画素サイズの縦横比を制御する。 （もっと読む）

【課題】金属板の表面に発生する微小疵を検出して、その有害度を検査員に容易に認識させることができる疵検出装置、疵検出方法及びプログラムを提供すること。
【解決手段】金属板Ｆ表面に発生する目視での検出が難しい微小疵を検出する疵検出装置１０を提供する。この疵検出装置１０は、搬送される金属板Ｆ表面を撮像して得られた正反射画像及び乱反射画像の少なくとも一方の画像に基づいて、微小疵の候補である疵候補を抽出する疵候補抽出部１１０と、複数の疵候補それぞれを、該疵候補に対応する正反射と乱反射輝度値との組み合わせに基づいて、複数のグループに分類する分類部１２０と、複数のグループそれぞれについての疵候補の合計数を、金属板表面における所定の大きさの単位領域毎に算出する合計数算出部１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタなどの大型表示デバイスを製造する場合に検査の信頼性を向上し欠陥製品の得意先への流出を防止すること。
【解決手段】表示デバイスの出荷前にマクロ検査機にて目視による最終的な品質検査を行う目視検査システムであって、
各マクロ検査機での検査結果情報を格納する検査結果格納手段と、
各検査結果情報を総合的に判定するための判定条件を格納する判定条件格納手段と、
判定条件格納手段に格納されている判定条件を参照しながら、検査結果格納手段から収集した各検査結果情報を総合的に判定して、判定結果を各マクロ検査機に表示させる検査結果判定手段とを備えることを特徴とする目視検査システム。 （もっと読む）

【課題】 対象物を検査するシステム構築時において効率的に検査環境を設定することができる画像処理システムを提供する。
【解決手段】 対象物を撮像した画像データを識別番号に対応付けて記憶し、識別番号の一部を構成する部分識別番号を入力して画像データを読み出す記憶装置１２と、画像データを用いて、予め設定された複数種類の画像処理を施すことが可能な画像処理部１３と、画像処理が施された処理後画像を用いて、当該処理後画像に含まれる対象物の検査を行う検査処理部１４とを備える。記憶装置１２に記憶された画像データの識別番号は、当該画像データの撮像状況を特定する部分識別情報、対象物を特定する部分識別情報又は検査結果を特定する部分識別情報が結合されてなり、部分識別情報を指定し、当該部分識別情報を含む識別情報に対応付けられた画像データを読み出す。 （もっと読む）

【課題】シートロールの形状検査方法、及び検査装置を提供する。
【解決手段】シートロール４０の形状検査方法はシートロール４０の円筒側面上にカメラ１１、１１’を位置させる段階、シートロール４０の円筒側面に沿ってカメラ１１、１１’を回転させながら円筒側面を撮影する段階、及び撮影により得た映像パターンを分析して巻取形状の欠陥有無を判断する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の技術と比較して、迅速に精度の高い検査を行う。
【解決手段】被検査物としてのタイヤ３４にレーザ光を照射した状態で撮影された画像３８にレーザ光照射領域３６が含まれ、かつ画像３８の基準領域４０からレーザ光照射領域３６の少なくとも一部分がはみ出ている場合には、撮影手段としてのカメラ２４で撮影された画像３８内の基準領域４０内にレーザ光照射領域３６が含まれるように、移動手段としての垂直駆動用モータ２８及び水平駆動用モータ３０を制御する。 （もっと読む）