【課題】簡易な光量補正ロジックを追加することで、正確な光量補正を行い、濃度を正確に算出できるようにしたレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】周波数変調方式のレーザ式ガス分析計において、同期検波回路の検出信号から測定対象ガスについての受光光量実測値および測定対象ガスのガス濃度指示値を取得し、ガス濃度指示値とオフセット吸収係数とを用いて測定対象ガスの受光光量理論値を算出し、受光光量理論値から受光光量実測値を引いて算出した光量変動分と、同期検波回路の検出信号から取得したスパンを用いて測定対象ガスの濃度真値を算出するようなレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

【課題】光利用効率が高く、複雑な製造プロセスが不要な半導体短パルス発生装置、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置及び計測装置を提供すること。
【解決手段】光パルスを発生する光パルス発生部２と、光パルス発生部２で発生した光パルスに対し、可飽和吸収に基づくパルス圧縮を行う第１のパルス圧縮部３と、第１のパルス圧縮部３でパルス圧縮がなされた光パルスに対し、群速度分散補償に基づくパルス圧縮を行う第２のパルス圧縮部５と、第１のパルス圧縮部３の前段、または第１のパルス圧縮部３と第２のパルス圧縮部５との間に設けられ、光パルスを増幅する増幅部４と、を有し、光パルス発生部２がスーパールミネッセントダイオードである。 （もっと読む）

【課題】実測温度の検出精度を高め、排ガス中の成分濃度の測定精度を向上させた排ガス分析装置および排ガス分析方法を提供する。
【解決手段】排気経路３中の排ガスにレーザ光を照射し、排ガスを透過したレーザ光を受光する測定部５と、測定部５の上流側の排気経路３中に配設され、排気経路３中の排ガスの実測温度Ｔ１を検出する温度センサ５５と、測定部５にて受光されたレーザ光より排ガス中に吸収されたレーザ光の吸収スペクトルを検出する差分型光検出器６４と、差分型光検出器６４により検出された吸収スペクトルから排ガスの理論温度Ｔ２を算出する温度算出部７０と、排ガス中の所定成分の濃度が低い場合には温度センサ５５により検出された実測温度Ｔ１を用いて、又は排ガス中の所定成分の濃度が高い場合には温度算出部７０により算出された理論温度Ｔ２を用いて、排ガスの成分濃度Ｃを算出する成分濃度算出部７３とを有する排ガス分析装置。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥（気泡）検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第１レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構７と、第２レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、測定対象物１００の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構７で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部５４を備える。 （もっと読む）

【課題】測定精度の低下をなく短時間で測定可能なテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ビームスプリッター２と、第１レーザ光よりテラヘルツ波を発するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構１１、第２レーザ光に基づく検出タイミングでテラヘルツ波発振アンテナ５によりテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、テラヘルツ波路中に測定対象物１００を設置し、時間遅延機構１１によりの時間遅延を変化させた時のテラヘルツ波受信アンテナ８での検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、予測した位置に基づき時間遅延機構１１が与える時間遅延の範囲を所定の範囲に制御する制御部５７と、信号強度データのピーク値に基づき測定対象物１００の特徴を検査する検査部（データ処理部５６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】容易にテラヘルツ波の出射方向を変更することができるテラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置および計測装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波発生装置１は、パルス光を発生する複数の光源３と、前記複数の光源３で発生したパルス光が照射されることによりテラヘルツ波を発生するアンテナ２とを備え、前記アンテナ２は、ギャップ２３を介して対向配置された１対の電極２２を複数有しており、前記複数の光源３の各々は、前記複数の１対の電極２２のうちそれぞれ異なる前記１対の電極２２間に前記パルス光を照射し、前記複数の１対の電極２２のうち少なくとも２つの前記１対の電極２２間に、互いにタイミングをずらしてパルス光を照射するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】生体物質を分析する分析チップが不均一な場合や、生体物質を含む検体試料の分析チップ中の展開が不均一の場合であっても、安価な近赤外光の検出器を使用して、生体物質を含む検体試料の分析を行うことができるようにする。
【解決手段】生体物質を含む検体試料を分析する分析チップ１０の複数領域に、光源５１から、近赤外域成分を含む光からなる複数のビーム５５を照射して、複数領域からそれぞれ射出される出力光を、近赤外域の光を検出する第１の検出器６２に入射させて検出させ、その結果から分析チップ１０の正常領域を特定し、分析チップ１０の正常領域の複数領域に、光源４１から、生体物質との反応によって分析チップに生成される検出物質を検出する検出光からなる複数のビーム４５をそれぞれ照射し、複数領域からそれぞれ射出される出力光を、検出光を検出する第２の検出器に入射させて検出させる。 （もっと読む）

【課題】機体ごとの器差の解消を図った分光光学計及びその校正方法を提供する。
【解決手段】サンプルガスに光を射出する光源２と、前記サンプルガスを透過した光を検出する光検出器５１、５２と、前記光源と前記光検出器との間に配置された光学フィルタ４と、前記光検出器５１、５２により得られた検出信号値に基づいて前記サンプルガス中の測定対象とする実ガスの濃度を算出する演算装置６と、を備えた分光光学計１であって、基準となる一の機体である基準機において得られた、代替ガス濃度と実ガス濃度とを関係付ける関数αと、前記基準機における前記実ガスと前記代替ガスとの光吸収率の関係と、校正対象となる一の機体である校正機における前記実ガスと前記代替ガスとの光吸収率の関係とを関係付ける関数βと、前記校正機における前記代替ガスの濃度と前記検出信号値との関係をあらわす関数と、に基づいて前記実ガスの濃度を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型化が可能なテラヘルツ波検出装置、テラヘルツ波長フィルター、イメージング装置および計測装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波検出装置１は、所定の波長のテラヘルツ波を通過させる波長フィルター２と、前記波長フィルター２を通過した前記所定の波長のテラヘルツ波を熱に変換して検出する検出部３と、を備え、前記波長フィルター２は、テラヘルツ波が入射する入射面と前記所定の波長のテラヘルツ波が出射する出射面とを連通する複数の孔部５１を有する金属膜５と、前記複数の孔部５１に充填され、かつ誘電体で構成された誘電体部６とを備え、前記複数の孔部５１は、前記入射面５２の法線に垂直な方向に沿って所定のピッチで設けられている。 （もっと読む）

【課題】光源装置を小さくすることができ、装置全体の小型化を図ることができるテラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置および計測装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波発生装置１は、光パルスを発生する光源装置３と、前記光源装置３で発生した光パルスが照射されることによりテラヘルツ波を発生するアンテナとを備え、前記光源装置３は、光パルスを発生する光パルス発生部４と、前記光パルス発生部４で発生した光パルスに対し、可飽和吸収に基づくパルス圧縮を行う第１のパルス圧縮部５と、前記第１のパルス圧縮部５でパルス圧縮がなされた光パルスに対し、群速度分散補償に基づくパルス圧縮を行う第２のパルス圧縮部７と、前記第１のパルス圧縮部５の前段、または前記第１のパルス圧縮部５と前記第２のパルス圧縮部７との間に設けられ、光パルスを増幅する増幅部６とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、急加熱が可能であるとともにヒータの耐食性に優れた赤外線ガスセンサを提供する。
【解決手段】赤外線ガスセンサ１は、赤外線光源部１１、ガス流通部１３、及び赤外線受光部１５を備え、赤外線光源部１１から放射された赤外線のうち、ガス流通部１３内の被測定ガスによって吸収された赤外線量を、赤外線受光部１５で検出して、被測定ガスに含まれた成分ガスの濃度を測定する赤外線ガスセンサであって、ガス流通部１３の内部空隙Ｘを構成するとともに、内部空隙Ｘと外部雰囲気Ｙの間で被測定ガスを流通できる通気部１３３を有したセラミック製の構造体１３１を備え、構造体１３１は、構造体１３１を構成する壁１３２内に埋設されたヒータパターン１４１を備える。 （もっと読む）

【課題】濃度測定センサの近傍を試料ガスの雰囲気で満たすことにより、測定環境雰囲気の変動によらずに試料ガス中の測定対象物の濃度を安定かつ正確に測定する。
【解決手段】試料ガス中の測定対象物の濃度を測定するガス濃度測定装置であって、光源が配置された光源ユニットと、前記光源の光路上に配置され、試料セルユニットと、前記光源の光路上に配置され、前記試料セルユニットを透過した前記光源の光を受光して前記測定対象物の濃度を測定する濃度測定センサが配置されたセンサユニットと、前記濃度測定センサ近傍に前記試料ガスを導入する導入手段とを備えたガス濃度測定装置。 （もっと読む）

【課題】材料が多量に余っているにも関わらず早い時点でバルブが全開になる等して制御不能となるのを防ぐことができる材料ガス制御装置を提供する。
【解決手段】前記導出管Ｌ２に設けられた第１バルブ１と、前記混合ガスにおける材料ガスの濃度を測定する濃度測定機構ＣＳと、前記濃度測定機構ＣＳにより測定される材料ガスの測定濃度が、予め設定された設定濃度となるように前記第1バルブ１の開度を制御する第１バルブ制御部２４と、前記導入管Ｌ１に設けられた第２バルブ３２と、前記第１バルブ１の開度が全開の開度から第１所定値だけ小さい開度である閾値開度になった場合において、所定時間内に前記第２バルブ３２の開度を、前記第１バルブ１の開度が閾値開度になった時点での変更前開度から第２所定値だけ大きい変更後開度となるように制御する第２バルブ制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によっても分光測定の精度を向上できる光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】入射光から特定の波長の光を透過させるエタロンと、入射光の入射方向におけるエタロンの前段側に配設される光学チョッパー６と、エタロンを透過した光の光量の変化量を検出する焦電センサーとを備える。光学チョッパー６は、入射光の入射方向に対して直交する直交平面内で回転軸６１を中心に回転可能な複数の遮光板６２を等間隔に備える。そして、複数の遮光板６２は、エタロンに対向する面が直交平面に対して傾斜する傾斜部６２２１を有し、傾斜部６２２１は、遮光板６２が回転する回転方向とは反対方向に向かうにしたがって、エタロンに近づくように傾斜している。 （もっと読む）

【課題】温度補正の演算負荷が少なく誤差の小さい温度補正ができるガス濃度センサを提供する。
【解決手段】ガス濃度を測定する検出部１０１、実温度を測定する温度計１６、基準ガス濃度校正曲線を使ってガス濃度を算出する信号処理部１０２によってガス濃度センサを構成する。信号処理部１０２は、実温度における検出部１０１の出力信号からオフセット値を差し引いて第１補正出力値を得る第１補正部１１１、第１補正出力値と基準ガス濃度校正曲線上の参照出力値とを比較する比較部１１２、第１補正出力値が参照出力値より小さいと第１補正出力値を第２補正出力値とする第２補正部１１３ａ、第１補正出力値が参照出力値以上であればスパン値を算出するスパン値算出部１１４、第１補正出力値にスパン値を乗算する第２補正部１１３ｂを有し、基準ガス濃度校正曲線上の第２補正出力値に対応するガス濃度を実ガス濃度とする。 （もっと読む）

【課題】生体の安静状態や活動状態等を正確に把握し、生体中のグルコース濃度を定量する精度を確保しつつ、装置の小型化、測定時間の大幅短縮が可能な濃度定量装置とプローブ及び濃度定量方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の濃度定量装置は、生体の脈圧を検出する脈波センサ２４と、脈波センサ２４近傍に設けられて温度を測定する温度センサ２５と、最大の脈圧が検出された部位の温度を体温として特定する体温特定部と、照射部と、複数種の後方散乱光から真皮層より放射される後方散乱光を選択する光散乱媒質層選択部と、この後方散乱光を受光する受光部と、この後方散乱光の強度を取得する光強度取得部と、真皮層の光吸収係数を算出する光吸収係数算出部と、光吸収係数に基づいてグルコース濃度を算出する濃度算出部と、グルコース濃度を特定された体温にて補正する濃度補正部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】応答性の高い赤外線吸収式ＣＯ_２センサを提供すること。
【解決手段】赤外線吸収式ＣＯ_２センサは、変調周波数ｆｍで強度変調された赤外線光を対象ガスに照射する光源および光源駆動装置と、対象ガスを透過した赤外線光をボロメータで受光するとともにこれらボロメータの抵抗値の変化を検出する検出装置と、検出信号を増幅する差動増幅器と、増幅信号を同期検波する同期検波装置６０と、を備える。同期検波装置６０は、増幅信号に変調周波数ｆｍと等しい周波数の参照信号を乗算し検波信号を出力する乗算器６２Ｃ，６２Ｓと、検波信号から高周波数成分を減衰させるＬＰＦ６４Ｃ，６４Ｓと、サンプリング周波数ｆｓの下でサンプリングされた信号を処理する次数ｎの同期ＦＩＲフィルタ６７と、を備える。ＬＰＦ６４Ｃ，６４Ｓには、ベッセルフィルタを用い、同期ＦＩＲフィルタの次数ｎと、変調周波数ｆｍと、サンプリング周波数ｆｓとの間には、次式、ｎ／ｆｓ＝１／ｆｍ、が成立する。 （もっと読む）

【課題】煤による汚れ、および光源や光検出素子の温度依存性の影響を受けることなく、ＤＰＦの正常稼動を確実に検出することができるＤＰＦ不具合検出方法を提供する。
【解決手段】内燃機関から排出された排出ガス中の煤等の微粒子を除去するＤＰＦの不具合を検出するＤＰＦ不具合検出方法において、ＤＰＦを通過したＤＰＦ下流配管領域の排出ガスに光を照射し、その光の受光強度を検出するステップと、内燃機関から排出されＤＰＦ上流配管領域の排出ガスに含まれる微粒子量を推定するステップと、推定時における受光強度を複数取得し、推定微粒子量と受光強度の関係からＤＰＦの不具合の検出を行うステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、発光部および受光部の異常・正常を確実に判定できるようにしたレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】発光部から照射されるレーザ光の発光光量に対する受光部での受光光量を表す検量線を生成し、この検量線の傾きの標準値からの変動率が所定範囲内であって、かつ検量線の最大値が所定の閾値を上回る場合に光源部および受光部が正常であると判断し、他の場合を異常であると判断するレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）