【課題】被覆の施された配管であっても、手間と時間がかからずに配管の減肉の有無を判定することができる装置を提供する。
【解決手段】減肉検知装置１は、配管１０の内面より所定深さの位置に埋め込まれ、配管１０を流れる流体と接触したことを検知する圧力センサ１１と、圧力センサ１１による検知結果に基づき減肉の有無を判定する減肉判定部２０と、を備える。 （もっと読む）

例示的な一実施形態は、半導体の製造中に、半導体ウェハ（１０２）またはリソグラフィマスク（２０２）などの平坦リソグラフィ物体と、チャック（１０４）との間の不要パーティクル（１２２）の存在を検出するための方法（５００）である。例示的な方法は、この実施形態においては、前記半導体ウェハ（１０２）などの前記平坦リソグラフィ物体を前記チャックの上に配置するステップ（５０４）を含む。前記方法は、前記チャック（１０４）と半導体ウェハ（１０２）間のキャパシタンスの、前記不要パーティクルにより引き起こされる変化を測定する（５０６）など、前記チャックと前記平坦リソグラフィ物体により、両者の間に形成される少なくとも１つの電気的特性の変化を測定するステップを含む。
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【課題】故障位置の特定のみならず、故障状態をも特定することができる半導体デバイスの欠陥評価方法及び欠陥評価装置を提供する。
【解決手段】半導体デバイスの欠陥評価方法は、評価対象の半導体デバイスにプローブ光を照射して半導体デバイスに発生させた電流を検出する第１電流検出ステップと、発生させた電流から半導体デバイスの欠陥位置を検出する欠陥位置検出ステップと、検出した半導体デバイスの欠陥位置にプローブ光を所定範囲で波長を変化させて照射することにより、欠陥位置における電流を検出する第２電流検出ステップと、検出した欠陥位置における電流から欠陥位置の光励起準位を検出する光励起準位検出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】多層型パワーモジュールの放熱性能検査を、簡単かつ正確に行う。
【解決手段】過渡熱抵抗測定器２６によって、検査対象の多層型パワーモジュール２０に通電し、通電前後で変化する素子１０のしきい値電圧（Ｖｔｈ）を通電時間（Ｔ）に関連付けて測定し、通電時間毎に通電前後の前記しきい値電圧の変化量（ΔＶｔｈ）を求める。そして、判定手段２８では、特定の二つの通電時間（Ｔ_n、Ｔ_n+1）において生じたしきい値電圧の変化量の差（ΔＶｔｈ_n+1−ΔＶｔｈ_n）を、当該特定の二つの通電時間の差（Ｔ_n+1 −Ｔ_n）で除した算出値を、検査対象の多層型パワーモジュール２０を構成する複数の部材のうち、特定の部材の、放熱性欠陥の有無を把握するための判断資料として用いる。 （もっと読む）

【課題】導電性の試験体に形成されたき裂の形状を精度良く同定できるようにする。
【解決手段】互いに形状が異なるき裂を設定し（工程Ｓ１）、それらのき裂が形成された複数の予備試験体のき裂を挟んだ電圧印加位置に電圧を印加して電流を流したときの、き裂を挟んで格子状に配列された複数の電位差測定位置の複数の組み合わせについての電位の差を評価し（工程Ｓ２）、電位差基準データを求める（工程Ｓ３）。その後、工程Ｓ２と同一に配置された電圧印加位置に電圧を印加して試験体に電流を流し、工程Ｓ２と同一に配置された電位差測定位置に対して、その電位差測定位置のき裂を挟んだ複数の組み合わせについての電位の差を測定して電位差実測データを求める（工程Ｓ４）。き裂形状の変化に関する、電位差実測データと電位差基準データとの、差の二乗およびそれらの総和の応答が、いずれも最小になるようにき裂形状を同定する。 （もっと読む）

【課題】最内層が破損したかどうかを容易に判断することができ、包装容器のコストを低くすることができるようにする。
【解決手段】最外層４５、紙基材４６、導電性を有するバリヤ層４８及び最内層４９を備えた包材４１から成り、流動性食品を収容した包装容器の、流動性食品と電気的に接続された第１の導通部に当接させられる第１の電極と、包装容器の、バリヤ層４８の所定の部分から成る第２の導通部に当接させられる第２の電極と、第１、第２の電極間に電圧を印加したときの、電気変量に基づいて最内層４９が破損したかどうかを判断する破損判定処理手段とを有する。第１、第２の電極間に電圧を印加したときの、電気変量に基づいて最内層４９が破損したかどうかを判断するようになっているので、オペレータの主観に基づいて最内層４９が破損したかどうかを判断する必要がない。 （もっと読む）

エンドレス・ベルト及び関連するベルト駆動システムの磨耗もしくは変則的動作を、非接触センサーによって監視することができ、ベルト駆動システムの状態を判断し、ベルト及びシステムの不具合の初期段階を検知する装置及び方法。１もしくは複数の独立した検出部を特徴とするセンサーユニットが、ベルトに隣接、もしくは近接して設置されており、それによって、ベルト稼動の同時に起こる複数の正常モードを監視する。本センサーは、収集した信号を処理し、構造的な損傷を検知することで、タイミング駆動装置全体における正常性を連続的に判断できる。収集されたデータは、センサーに統合されたマイクロコントローラによって処理される。エンドレスベルトの磨耗もしくは変則的動作を監視する本装置及び本方法は、非接触コンデンサ配列を使用している。その非接触コンデンサ配列は、一つもしくは複数の検出部から構成されており、検出部は、ベルトに隣接もしくは近接して設置され、ベルトが呈する静電容量効果及び圧電効果に連動した動的な電気容量変化を特に感知するように構成された電子回路に接続している。また、本装置は、ベルトが関連部品の変則的動作によって影響を受けているかどうかを検知することで、ベルトの関連駆動部品の監視も可能である。本センサーは、ベルト駆動装置の通常稼動中に、ベルトを連続的に監視する。本センサーは、工場用、工業用及び自動車用用途で現在使用されている、繊維コード耐荷重性コアを有するポリマーマトリクスを特徴とするベルトの検知に特に適合する。

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【課題】 導電性コーティング皮膜の欠陥および経年変化により生ずる剥離、クラック、気孔、酸化物、腐食生成物などの欠陥を精度良く、現場で簡便に計測できる方法と装置を提供する。
【解決手段】 溶射、めっき、拡散浸透処理などの表面処理方法によって形成される導電性コーティング皮膜中に発生する気孔、クラック、介在物などの欠陥検出方法であって、被検査皮膜表面（３）上の２地点（Ａ−Ｄ）間に所定の微小電流を流した状態で、前記２地点の内側に位置した別の２地点（Ｂ−Ｃ）間の電気抵抗を測定し、予め同条件で測定した正常皮膜の電気抵抗値と比較する。プローブ（１１）は、各触針（Ａ〜Ｄ）を所定の距離間隔に支持する支持構造と、各触針（Ａ〜Ｄ）を被検査皮膜表面（３）に所定の接圧にて接触させる接圧調節手段（１５，１６）を備える。 （もっと読む）

【課題】
電位差法を用いて欠陥の進展，発生をモニタリングする小型の装置を提供する。
従来技術では、電位差を測定するための端子や電流を供給する端子を被測定物へ接続する手段が複雑かつ大型であるため、被測定物が狭隘部または被覆材で覆われている場合には適用が困難であった。
【解決手段】
電位測定用の端子，電流供給用の端子をフィルム状の基盤にプリントすることにより、被測定物が狭隘部や被覆材に覆われている場合にも本技術の適用が可能になる。また、そのフィルムを可塑性の耐熱性高分子材料を用いることにより、被測定物が高温に曝される場合も本技術の適用が可能である。
【効果】
進展，発生，電位測定用の端子，電流供給用の端子をフィルム状の基盤にプリントすることにより、装置の構造を大幅に小型化し、適用対象部が拡大される。 （もっと読む）

【課題】処理される水が通水される通水管内に対向配置された一対の水処理用電極に電圧を印加することによって、通水管内の水を活性化させてスケールの析出を抑制しつつ、通水される水中のスケール濃度を判断するために、通水管内に配置される一対のアノードおよびカソードを有する導電率センサを用いてその通水管内の導電率を逐次測定するスケール析出抑制方法において、導電率センサのカソードにスケールが付着することを抑制する。
【解決手段】 水処理用電極１４に電圧が印加されているときは、導電率センサのカソード２６とグランドとの間に設けられた第１リレー３０、および、その導電率センサのアノード２４と電源５０との間に設けられた第２リレー３２をオフにする。 （もっと読む）

【課題】 遮水層の漏水位置を正確に検知することができる漏水検知方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 内部土壌４（内部構造物）と外部土壌２（外部構造物）とを区分する遮水シート３（遮水層）の漏水位置を検知する漏水検知方法であって、内部土壌４には、複数の電位測定電極１０および内部電極１３が設けられ、外部土壌２には、外部電極１４が設けられており、一の電位測定電極１０ａと外部電極１４との間に通電した際に、他の電位測定電極１０ｂに生じる電位差から、一の電位測定電極１０ａと内部電極１３との間に通電した際に、他の電位測定電極１０ｂに生じる電位差を差し引くことにより、他の電位測定電極１０ｂの測定電位を求め、各電位測定電極１０において測定電位の算出を繰り返し、各電位測定電極１０における測定電位に基づいて求めた電位分布から、遮水シート３の漏水位置を検知することを特徴としている。 （もっと読む）

半導体ウエハ中の欠陥および／又は不純物の密度を測定するために、半導体材料の基材を有するこの半導体ウエハに第１の値の電流を流す。半導体ウエハに対して光パルスを照射すると、この光パルスに応答して半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流が第２の値へと増大する。光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第２の値から前記第１の値へ向かう変化速度を測定する。この変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および／又は不純物の密度が測定される。
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コーティング材料の導電率を求める非接触型プローブ（１００）を開示する。プローブ（１００）は、選択された発振周波数で動作する自励発振器（４０）と、ＩＣ回路から形成されるセンサと、センサコイル（４４）の磁気誘導の変化に応答するＬＣ回路の変化を検出する検出器と、信号の検出変化を表面導電率データに変換するマイクロプロセッサと、を備える。検出器は周波数検出器とすることができ、この周波数検出器はＬＣ回路の共振周波数の変化を検出する、または検出器は振幅検出器とすることができ、この振幅検出器はＬＣ発振器（４０）の信号振幅の変化を検出する。センサはＬＣ回路のコイルインダクタ（４４）である。センサコイルのインダクタンスがセンサコイルの近傍の材料の導電率によって変化する。
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コンドームテスト装置であって、コンドーム（５０）を装填した複数の電導性マンドレル（４０）と、第１組のコンドーム接触電極（１０）と、第２組のコンドーム接触電極（２０）と、テストの間各マンドレル（４０）と第１組のコンドーム接触電極（１０）間および各マンドレル（４０）と第２組のコンドーム接触電極（２０）間にあるギャップ電気回路とを有しており、テストされたコンドーム（５０）中の欠陥がマンドレル（４０）と第１組および第２組のコンドーム接触電極（１０、２０）間を通る電流により検知され、第１組のコンドーム接触電極（１０）が各コンドーム（５０）の円周の１００％未満に接触し、第２組のコンドーム接触電極（２０）が各コンドーム（５０）の円周の１００％未満に接触し、２個のコンドーム（５０）がいっぺんにテストされる。
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【課題】 樹脂などの部材の内部における物質の層内移動による絶縁破壊の防止あるいは最適な帯電防止剤の分布の把握などの課題に対して、そのメカニズムを解析し、簡便かつ高精度の測定を可能とする荷電性成分の層内移動観測方法および観測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 荷電性成分を含有する部材を少なくとも１つ含む複数の部材が、所定の接触面積を介して貼り合された被観測体３について、１つ以上の部材に対し所定の電圧を印加し、前記部材内部および各部材間における電位の分布の変化を経時的に測定することを特徴とする。前記所定の電圧の印加を、間欠的に行うことを特徴とする。含有する荷電性成分濃度を異にする部材が貼り合された被観測体３を観測することを特徴とする。 （もっと読む）

構造モニタリングセンサ（１）は、相互接続された電気経路ネットワークを含み、経路の電気特性（好ましくは、インピーダンス、容量、インダクタンスおよび抵抗のうちの少なくとも一つ）は、使用時にその構造の所定の物理特性の変化に応答するようにされている。センサネットワークは、経路の第１のサブネットワーク（３）および経路の第２のサブネットワーク（５）を含んでよく、第１および第２のサブネットワークは重ね合わされる。上記のセンサを有する構造の構造ヘルスをモニタリングする方法は、センサ（１）の電気特性をモニタリングするステップと、センサ（１）の中の構造的事象を特定し位置特定するためにモニタリングされる電気特性の変化を測定するステップと、測定された電気特性の変化を既知の変形事象に対する電気特性の変化と比較することにより、損傷のレベルを評価するステップと、損傷が重大であると評価された場合に警報を送信するステップと、を含む。
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