【課題】本発明は、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査する受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法に関し、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査する受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】多数の粉体２５を混入した液体２３を受光素子１の受光面２上方に滴下し、受光面２上方を乾燥して受光面２上方に粉体２５を残留させ、受光面２上方の粉体２５の残留量に基づいて受光素子１の対塵性能を検査する。 （もっと読む）

【課題】高感度かつ低雑音の温度センサおよびそれを用いた赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】温度センサ１０３は、半導体層１０と、半導体層１０に形成された互いに接するｐ型不純物領域１２およびｎ型不純物領域１１をそれぞれが有する複数のダイオード１０５とを備える。ｐ型不純物領域１２とｎ型不純物領域１１との接合部であるｐｎ接合は、ｐ型不純物領域１２がｎ型不純物領域１１側へ突き出した部分の先端部のｐｎ接合部分と、ｎ型不純物領域１１がｐ型不純物領域１２側へ突き出した部分の先端部のｐｎ接合部分とを有している。 （もっと読む）

【課題】 気体中から入射する光の検出を前提とする光量検出器を用いて、液体中から入射する光を検出する光量検出器を較正できる露光装置の提供。
【解決手段】 照明光学系の光路上における、光源からの光量を検出する第１検出器と、基板ステージに配置され照明光学系および投影光学系を介して光源からの光量を検出する第２検出器と、複数の露光条件の各々に関して、投影光学系と第２検出器との間隙に気体を満たした第１状態で第２検出器により検出された第１光量と、上記第１光量の検出と同期して第１検出器により検出された第２光量と、上記間隙に液体を満たした第２状態で第２検出器により検出された第３光量と、上記第３光量の検出と同期して第１検出器により検出された第４光量とに基づいて、第１状態で第２検出器により検出される光量と第２状態で第２検出器により検出される光量との間の変換係数を求める演算器と、を有する露光装置とする。 （もっと読む）

【課題】高強度の紫外線を長時間にわたって正確にモニタリングすることが可能な紫外線モニタリングシステム及び紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】この紫外線モニタリングシステム４は、電力を供給する電源装置１１と、電源装置１１から電力を得ることにより紫外線を照射する紫外線源１２と、受光した紫外線の強度に応じた量の電荷を生成する検知部としてのダイヤモンド層２２を有し、そのダイヤモンド層２２で生成された電荷から上記紫外線の強度に応じた電気信号を出力する紫外線センサ１３と、その電気信号に基づいて電源装置１１の電力供給を制御することにより、紫外線源１２の紫外線の出力を制御する制御部１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成からなり、重量の小さな作業性の良い光センサの検査冶具を提供する。
【解決手段】高所に設置された光センサが作動するかどうかを検査するための光センサ検査冶具１０は、長尺棒１２と、長尺棒１２の一端に接続された収容部１１とを備え、収容部１１は、光センサを出入りさせるための入口部１４と、入口部１４を開閉させる一対の板材１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】赤外線を透過するゲルマニウム窓の必要を排した赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線検出器１０は、シリコン基板１の一方の面に赤外線検出素子を備え、赤外線検出素子は、シリコン基板１の他方の面から入射し且つシリコン基板１を透過した赤外線７を検出する。 （もっと読む）

【課題】不純物ガスを吸着するゲッタを備えるために機能性素子が形成されている空間を大きくする必要のない半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線センサ１Ａは素子基板２と蓋基板３Ａとを備える。素子基板の表面には赤外線検出素子４が形成され、素子基板２と蓋基板３Ａとを接合すると、赤外線検出素子４と蓋基板３Ａとの間に空間５が形成される。蓋基板３Ａには、赤外線検出素子４からの信号を外部に取り出す管状の管状電極７が設けられる。管状電極７の開放端は、内面凹部にゲッタ１０Ａを設けた封止部材９Ａによって塞がれる。空間５と管状電極７の管内とは連通しており、空間５内の不純物ガスは、管状電極７を通過してゲッタ１０Ａにおいて吸着される。 （もっと読む）

【課題】レンズ部以外の部位であるベース部を通して赤外線検出素子の受光面へ赤外線が入射するのを防止することが可能な半導体レンズおよびそれを用いた赤外線検出装置、半導体レンズの製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線検出装置は、赤外線検出素子１と、当該赤外線検出素子１を収納するパッケージ２とを備えている。半導体レンズ３は、パッケージ２において赤外線検出素子１の受光面の前方に形成された矩形状の透光窓２３を覆うようにパッケージ２の内側から配設される。半導体レンズ３は、赤外線検出素子１の受光面へ赤外線を集光するレンズ部３ａ以外の部位であるベース部３ｂの外周形状が矩形状に形成されている。また、半導体レンズ３は、透光窓２３の内側に位置するベース部３ｂを通して赤外線検出素子１の受光面へ入射しようとする赤外線を阻止する赤外線阻止部３ｃが設けられている。 （もっと読む）

【課題】光量をほとんど低下させずに、光センサが精度良く検出できる光量を確保する。
【解決手段】可視光を放射する光源１０１と、光源１０１の光を光均一化部１０３に集光する集光部１０２と、光を均一化する光均一化部１０３と、光均一化部１０３内を全反射する光の一部を取り出す光取得部１０４と、光取得部１０４が取り出した光を受光する光センサ１０５と、光センサ１０５の出力に応じて光源１０１の光量を調節する光源光量コントローラ１０６を備える光源装置。 （もっと読む）

【課題】 赤外領域を含む、広い周波数領域一般で受光感度が高い検出素子が求められていた。
【解決手段】 そこで、本発明では、負誘電率媒体における表面プラズモン共鳴によって電界強度が増強されることを利用して、電界強度が大きな位置に電磁波検出部を配する検出素子を提供する。 （もっと読む）

【課題】短波長紫外線検出器の斜入射特性を改善させた、短波長紫外線検出器を提供する。
【解決手段】短波長紫外線の照射によって電気抵抗が変化するようなダイヤモンド薄膜光導電型の紫外線受光素子４を内部に有する短波長紫外線検出器７において、当該紫外線受光素子４は、紫外線透過窓板１を受光部として有する気密容器９に、当該紫外線透過窓板１と対向するように封入されており、当該紫外線透過窓板１の表面又は内部にバイナリーレンズが形成された紫外線透過窓板１を有していることを特徴とする短波長紫外線検出器７である。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能で且つ生産性を向上させた赤外線検出器を提供することにある。
【解決手段】赤外線検出器Ａは、焦電素子Ｘと、ＩＣ素子１６、チップ状電子部品１７からなる電子回路素子と実装するとともにチップ状電子部品１７を内蔵した基板部３をステム１及びキャップ２からなる容器内部に収容して構成される。そして、ステム１は基板部３に向かって端子ピン１２を突出させ、基板部３は端子ピン１２を下面から上面へ貫挿させる貫通孔１８を設けるとともに端子ピン１２を基板部３に接着固定し且つ電気接続するための接続部１９を貫通孔１８の上側開口端周辺に設けおり、この接続部１９に導電性接着剤を充填する保持させる。 （もっと読む）

【課題】バイポーラトランジスタを利用するセンサ画素の断熱特性を向上させて、高感度な熱型赤外線センサを実現する。
【解決手段】センサ画素（１０２ａ，１０２ｂ）内に、バイポーラトランジスタ（４０２）と、温度依存性を有する定電流源（４０１）とを配置する。定電流源は、バイポーラトランジスタのコレクタ−ベース間に配置される。バイポーラトランジスタ４０２のコレクタおよび定電流源４０１の一方電極が共通の支持脚により、その配線部が保持され、また、バイポーラトランジスタのエミッタ配線が別の支持脚により保持される。したがって、画素部の支持脚を２本に低減することができ、断熱特性が向上する。 （もっと読む）

【課題】小型で多機能を有し、低消費電力であって、低コストで製造ができ、かつディスプレイを認識するときの操作が簡単である折りたたみみ式情報通信機器を提供する。
【解決手段】ヒンジ部によって開閉可能に連結された第１の筐体と第２の筐体とを有し、第１の筐体には、第１の表示部と第２の表示部とが異なる面に設けられ、第２の筐体には、操作部が設けられ、第１の表示部と操作部が互いに向き合うように折りたたみ可能であり、第１の筐体及び第２の筐体が開いた状態において、第１の表示部側の照度を検出する第１の手段と、第１の手段の検出結果によって第１の表示部の輝度を制御して表示する第２の手段と、第１の筐体及び第２の筐体が折りたたまれた状態において、第２の表示部側の照度を検出する第３の手段と、第３の手段の検出結果によって第２表示部の輝度を調節して表示する第４の手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】赤外線検知器に関し、量子ドット埋め込み層の成長温度を量子ドットの成長温度に適した温度にしたままで、暗電流となる電子に対する障壁を高くして暗電流を低減する。
【解決手段】量子ドット層２を複数積層した赤外線検知部１の積層方向の端部に、量子井戸構造を有する暗電流低減層４を少なくとも一層以上設ける。 （もっと読む）

【課題】応力がかかっても検出セルの断熱性が損なわれないようにする。
【解決手段】赤外線検出素子は、半導体基板１上に形成された凹部２と、凹部２の周囲の半導体基板１上に形成された配線部３と、凹部２内または凹部２上に形成された支持部４と、支持部４により支持される検出セル５とを備えている。支持部４は、２本の支持脚１１と、支持脚１１同士を連結する複数の連結部１２とを有する。各支持脚１１は、配線部３と検出セル５とを電気的に接続する支持配線部１３と、支持配線部１３の周囲を覆う支持絶縁部１４とを有する。支持部４を、２本の支持脚１１と、これら支持脚１１に等間隔で接続される複数の連結部１２とで構成するため、支持脚１１の基板面方向における歪みを抑制でき、支持脚１１が基板に接触しなくなり、熱コンダクタンスが低下するおそれもなくなる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも簡素な構造においても安定して熱型赤外線検出素子およびアレイ素子を作製可能とする製造方法を提供する。
【解決手段】エッチングガスにより基板７に凹部８を形成する場合、等方的にシリコンのエッチングが行なわれるため、エッチングストッパを基板７内に形成する必要がある。一方、本発明では、湿式の結晶異方性加工が行なわれるためエッチングストッパが不要になる。また加工に先だって赤外吸収体２を支持する固定部材を付加しておくことで、湿式処理後の乾燥時に起こり得るスティッキングを防止できる。付加された固定部材は最終的に乾式加工により除去される。これにより熱型赤外線検出素子１を安定して作製できる。 （もっと読む）

【課題】従来の光伝導型センサー素子は、極微弱光に対する光誘起電流量の変化は極めて
小さいものであった。
【解決手段】受光部材料の光誘起電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する
光伝導型センサー素子であって、主たるキャリアが正孔である表面伝導層を持つ高温高圧
合成法によって作製された実質的に窒素原子を含むダイヤモンド単結晶を受光部に持つダ
イヤモンド紫外線センサー。本発明の紫外線センサーは、ダイヤモンド半導体の水素化表
面の特殊性と表面近傍のダイヤモンド内にある窒素、ボロン、又はボロン−窒素複合体の
不純物準位を介した光励起生成キャリアの電気伝導に基づくセンシング機構を持っている
。 （もっと読む）

【課題】断熱不良欠陥の発生を防ぐ真空マイクロパッケージおよび該真空マイクロパッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】素子側基板１と、窓側基板３と、接合部材であるはんだ２とを備えている。素子側基板１は、検出部２０を搭載し、導電層が形成されている。窓側基板３は、検出部２０を配置する空間を真空として検出部２０を覆うように素子側基板１と対向して配置され、検出部２０の周囲を囲むように位置するはんだ２により素子側基板１と接続される。導電性膜（反射防止膜９ａ）は、窓側基板３において素子側基板１と対向する表面３ａ上に配置される。素子側基板１の導電層（配線１０）と窓側基板３において素子側基板１と対向する表面３ａ上に配置される導電性膜（反射防止膜９ａ）とを電気的に接続することにより、素子側基板１の基板電位と窓側基板３の基板電位とを同電位としている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、長期間屋外等にて設置しても観測誤差が生じにくい、かつ、メンテナンス回数を減らした日射計を提供することである。
【解決手段】上記課題を解決するため、本発明は、基板と、前記基板上に配設したセンサーと、前記センサー上に配設した拡散板と、前記拡散板の上に位置し、前記基板、前記センサーおよび前記拡散板を覆うガラスドームと、を備える日射計であって、前記ガラスドームの表面に、光励起に応じて親水化する光触媒層を設けることを特徴とする日射計を提供する。 （もっと読む）