【課題】装置構成が簡易であり、容易に良否検査が可能なビーム走査検査装置およびビーム走査検査方法を提供する。
【解決手段】主走査方向においてスポット径よりも幅の狭い領域で受光し、主走査方向における複数の像高位置で走査光学系から射出されたビームのピーク光量をビーム走査している状態で算出し、主走査方向における各像高位置に対するピーク光量を基に良否を検査する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、初期捕捉および高精度捕捉を行い、受信部で受光する光ビームの損失を最小限に低減し、受光量が微量な場合でも捕捉追尾を行う。
【解決手段】光ビームを偏向する第１の光路偏向手段１と、光ビームを集光する集光手段３と、光ビームを偏向する第２の光路偏向手段５と、第２の光路偏向手段５に設け、光ビームが基準光軸３０と一致する際の集光スポット近傍かつ集光スポットサイズ以上のピンホール４と、第２の光路偏向手段５を通過した光ビームを受信する受信部１０と、第２の光路偏向手段５により偏向された光ビームに基づき光ビームと基準光軸との角度ズレを検出する第１の光検出手段６と、光ビームを分岐する光分岐手段２と、分岐された光ビームに基づき光ビームと基準光軸３０との角度ズレを高精度に検出する第２の光検出手段７と、角度ズレに基づき、第１の光偏向手段１の偏向方向を補正する偏向方向補正手段８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールを測定するソーラシミュレータの被照射面内の照度分布を、高速かつ実際の照射状態に則して測定することのできる照度分布測定装置及び照度分布測定方法を提供する。
【解決手段】疑似太陽光を出射するソーラシミュレータ１と、ソーラシミュレータ１の下位に配置された、下記センサのフルスケールに合わせて調整された透過率を有し、かつ面方向の拡散が少ない遮光機能を有する透過型造影板３と、透過型造影板３の下面に位置し照度分布測定対象となる被照射面２と、透過型造影板３を透過した透過光像を被照射面２において照度分布として測定する１次元イメージセンサ４または２次元イメージセンサからなるセンサとを備えたことを特徴とする照度分布測定装置である。 （もっと読む）

【課題】高強度の高エネルギー放射光の束の断面におけるパラメータの空間分解測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高エネルギー、高強度放射光のビーム束の断面全体にわたって測定データを空間的に取得する方法および装置に関する。高強度のビーム束の断面内で、検出器の飽和または劣化による測定精度の低下を発生させることなく、高空間分解測定データを取得する放射光測定の新しい可能性を見出すという目的は、本発明によれば、ビーム束（２）の全断面（２１）が遮蔽要素（３）上に結像され、断面（２１）が、少なくとも１つの開口部（３１）の移動を通じて、断面積が小さく、強度が弱い部分ビーム束（２２）へと連続的に分離され、開口部（３１）を通過する部分ビーム束（２２）の測定値が、時間的および空間的に開口部（３１）の位置に関連付けられるように取得され、記憶されることにより達成される。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の波長を有した露光光を容易に評価する露光量評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、フォトマスクが、露光光のうちＥＵＶ光よりも長い波長を有した長波長光を反射し且つ前記ＥＵＶ光を吸収する長波長光反射膜を有している。また、フォトマスクは、前記長波長光反射膜の上層側に配置されるとともに前記ＥＵＶ光および前記長波長光を吸収する吸収膜を用いて形成されたマスクパターンを有している。そして、フォトマスクと、レジストが塗布された露光対象の基板と、をＥＵＶ露光装置内にセットする。前記フォトマスクに対し前記マスクパターン側から前記露光光を照射するとともに、前記フォトマスクで反射された露光光を前記基板に照射する。そして、前記基板に照射された露光光の露光量に基づいて、前記基板に照射された長波長光の光量分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】極紫外線（ＥＵＶ）光源のための測定機器を提供する。
【解決手段】「ＥＵＶ光源」測定のためのシステム及び方法。第１の態様では、ＥＵＶ光源電力出力を測定するためのシステムは、ＥＵＶ光経路に沿って配置された光電子原料物質を含み、この物質を露出させてある一定量の光電子を発生させることができる。システムは、更に、光電子を検出してＥＵＶ電力を示す出力を生成するための検出器を含むことができる。別の態様では、ＥＵＶ光強度を測定するためのシステムは、ＥＵＶ光経路に沿って配置可能な多層ミラー、例えばＭｏ／Ｓｉを含み、このミラーを露出させてミラーに光電流を発生させることができる。電流モニタをミラーに接続し、光電流を測定してＥＵＶ電力を示す出力を生成することができる。更に別の態様では、オフラインＥＵＶ測定システムは、光特性を測定するための計器、及びＭｏＳｉ₂／Ｓｉ多層ミラーを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】散乱体が一定の波長分布の電磁波を受けた際の立体的な散乱分布から、その散乱体の物性を測定する散乱体物性測定装置を提供する。
【解決手段】試料載置台に測定すべき散乱体を置き、該電磁波を前記焦点を中心とする仮想球面の、一以上の任意の方向、及び、一以上の連続する方向の、少なくともいずれかの方向から前記散乱体に照射し、その際に該散乱体で散乱されて前記放物面鏡または放物面スクリーンに反射または投影された散乱波を 平面的な撮像データとして前記撮像手段で撮像し、こうして得られた撮像データから、該散乱体から発生する散乱波の立体的な分布を得て、その結果から該散乱体の物性を測定する場合に、前記散乱波を前記散乱体を中心とする仮想球面の中心軸を含む断面上の円弧の３π/4ラジアンより小さい範囲内に渡って撮像する。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造でき、複数の波長領域の光強度を個別に検出し、その検出結果に基づいて制御対象空間の環境情報を取得する環境情報取得装置を提供する。
【解決手段】波長選択フィルタ１１２には、複数の波長領域にそれぞれ対応する複数のフィルタ部が設けられている。光検出部１１１は、波長選択フィルタ１１２のフィルタ部を透過した光を検出し、光強度検出部１２２は、光検出部１１１が検出した光の強度を検出する。波長選択フィルタ同期制御部１２１は、波長選択フィルタ１１２を駆動させると共に、光検出部１１１が何れかのフィルタ部を透過した光を検出しているか否かを判定し、検出していると判定した場合には、その旨を示す同期信号を出力する。環境情報生成部１２３は、波長選択フィルタ同期制御部１２１により同期信号が出力されると、光強度検出部１２２が検出した光の強度に基づいて、所定のエリアの環境に関する環境情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に画像に重畳するフリッカーを測定できるフリッカー測定方法を提供する。
【解決手段】表示装置１０で表示される画像のフリッカーを測定するフリッカー測定方法であって、測定対象のフリッカーの周期より所定の追加時間分（露光時間）長い時間間隔で、撮像部１００にて画像を撮像させて撮像信号を取得する画像撮像制御工程と、取得した撮像信号における光の強さを、追加時間（露光時間）毎のデータとしてフリッカーの波形を演算するフリッカー波形演算工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】レーザビームによる処置を高い精度で処理するために、検査位置と加工位置とを往復搬送可能な処理システム。
【解決手段】共通ベース５３、検査または処理のための対象物を保持するように構成された対象物台１０１、対象物台に設けられ、少なくとも一つの開口を有する少なくとも一つの開口板、共通ベースに設けられ走査領域１３上をレーザビーム１７で走査するように構成されたレーザ機１５、共通ベースに対して対象物台を第１の位置から第２の位置に移動させ対象物台が第１の位置にあるときに対象物台と少なくとも一つの開口をレーザ機の走査領域内に配置させる変位器１０３、対象物台に設けられ少なくとも一つの開口によって与えられる受入口と取出口とを有する少なくとも一つのライトガイド、および共通ベースに対して帝位位置に設けられライドガイドの取出口から出射する光を検出するように構成された少なくとも一つの光検出器を備える。 （もっと読む）

【課題】開口数の大きな被検光学系の光学特性計測に用いることが可能な光検出装置、同装置を用いた光学特性計測装置、光学特性測定方法、露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板の一表面上に配置された開口パターンと、前記基板の前記一表面に対向する表面上に形成された蛍光膜とを有する蛍光ユニットと、複数の光ファイバーを束ねて構成された導光部材と、前記導光部材の一表面に接して配置された撮像素子とを有する撮像ユニットを備えた光検出装置とし、前記蛍光ユニットの前記蛍光膜側の表面を、前記撮像ユニットの前記導光部材側の表面に対面して配置する。 （もっと読む）

【課題】一度に処理する処理量を少なくし、安価な部品構成のものを選択でき、処理時間も短縮できるセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ本体12のセンサ素子18が配列された全領域を複数の分割領域Ｓに分割する。１つの分割領域Ｓ毎にその分割領域Ｓに含まれるセンサ素子18からセンサ信号を出力させるように、全領域のセンサ素子18を分割領域Ｓ毎に順に駆動する。分割領域Ｓ毎にセンサ信号の記憶およびセンサ信号に基づく人体の判定が可能となり、全体を一度に処理した場合に比べて一度に処理する処理量が減少する。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモンを利用した半導体装置において、より高感度化、薄膜化を可能にした半導体装置を提供する。
【解決手段】光電変換層２と、光電変換層２内に埋め込まれた連続あるいは不連続の筒状の金属微細構造体３と、金属微細構造体３の内側面及び外側面を被覆する誘電体膜４とを有する。 （もっと読む）

【課題】発光素子の不良の有無を検査し、検査後に不良の発光素子を廃棄することのできる発光素子検査装置及びこれを用いた検査方法を提供する。従って、発光素子の不良検査及び不良廃棄を自動化するとともに一連の過程で迅速に処理することにより、生産性の向上を図ることができる。
【解決手段】本発明の一実施形態による発光素子検査装置は、発光素子のビジョン検査により不良の有無を検査する検査部と、前記検査部から供給された前記発光素子のうち、前記検査部の検査結果に基づいて不良と判定された発光素子を廃棄する不良リジェクト部とを含む。 （もっと読む）

【課題】各検査に必要な記憶容量を低減し、多くの検査結果を記憶部に記憶させる。
【解決手段】発光機器の検査装置１は、検査対象物Ａの発光特性を検査する。撮像部２は、検査対象物Ａの発光面を撮像する。処理装置５の第１の画像処理部５２ａは、撮像画像を圧縮処理して、表示画像としての圧縮画像を作成する。撮像画像は、各画素ごとに濃淡値を画素の位置座標を対応付けた画像である。第２の画像処理部５２ｂは、撮像画像から、各画素の濃淡値を順に並べ上記濃淡値の順序により各画素の位置座標を表わす濃淡値数値化データを作成する。第１〜３の判定部５４，５５，５７は、発光領域を各判定基準に照合して検査対象物Ａが良品であるか否かを判定する。表示装置６は、第１〜３の判定部５４，５５，５７の判定結果および表示画像を表示する。記憶部５３は、判定結果とともに表示画像および濃淡値数値化データを記憶する。 （もっと読む）

本発明は、光学的センサ、特に工業自動化システム用の光学的センサのための光発信器および光受信器に関し、光発信器の場合には、光を発生するために半導体系の光源（ＬＤ）を有し、半導体系の光源（ＬＤ）が多層プリント基板（ＬＰ）の両外側層（ＯＬ，ＵＬ）間の構造空間内に配置され、半導体系の光源（ＬＤ）の光出射方向がプリント基板（ＬＰ）の層（ＬＡＹ）にほぼ平行に向けられ、半導体系の光源（ＬＤ）から放射される光をプリント基板（ＬＰ）の層（ＬＡＹ）に対してほぼ垂直な方向に転向させるための転向ユニット（ＵＥ）が設けられている。光受信器の場合には光源の代わりに光センサが設けられている。このような光学センサは格別に平らで組立しやすい構成にすることができる。 （もっと読む）

【課題】液体レンズに変化が生じたことを判定できる撮像装置を提供する。
【解決手段】判定手段としてのＣＰＵ１２３が、所定のタイミング（工場出荷時及び実際の撮像時）で、同じ露出条件下で同じ被写体としてＬＥＤを発光させてパターンＰＴを撮像し、得られた画像信号又は液体レンズの電圧値と、記憶された画像信号又は液体レンズの電圧値とを比較して、液体レンズ１１１，１１２の経時変化の度合いを判定するので、例えば液体レンズの経時変化の度合いが閾値を越えていた場合、アラームを発することで、ユーザーに補正等の有無を選択させることができる。 （もっと読む）

【課題】増倍型アレイ検出器内の光電陰極の量子効率を増大させるシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】装置であって、アレイ検出器と、該アレイ検出器が使用される場合に、該アレイ検出器上に入射する光線の経路内にあるように配置される量子効率（ＱＥ）向上デバイスとを備えている、装置。量子効率向上デバイスは、ＩＣＣＤの前に配置され、光電陰極上に入射する入射光線の入射角の増大を可能にするかまたは容易にするように構成されている。ＩＣＣＤ自体は、増大された入射角を達成するために傾けられ得、そのような傾きは好ましくは、ＩＣＣＤのピクセルの列が延びる方向だけにあり、それによって、ＩＣＣＤへの入射光の入射面が波長分散の方向と直角をなす。量子効率向上デバイスは、再結像光学素子と、光学傾き補償器と、光カプラとを含み得る。 （もっと読む）

【課題】心理的な明るさ感を客観的に測定する技術を提供する。
【解決手段】照度計１０は、受光量に応じた信号が出力される受光部１２と、受光部１２での波長毎の感度特性が、標準比視感度およびＳ錐体感度に応じた感度曲線となるように、入射光を受光部へ選択的に透過させる感度補正部と、受光部１２の出力に応じて照度または輝度を算出する演算部３６と、を備える。照度計１０によれば、Ｓ錐体の感度領域である波長成分の光が含まれる照明光源について、従来の照度や輝度の測定と同様の手法で、明るさ感を客観的に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 光子計数装置及び方法を提供する。
【解決手段】 本発明の一態様によって、光子は、多数の計数器を通じて計数される。それぞれの計数器は、自分の可用状態を表わすフラグ信号を生成する。該生成されたフラグ信号は、スイッチ制御器に入力される。スイッチ制御器は、受信されたフラグ信号に基づいてデッドタイムがない計数器に信号を入力させることが可能である。 （もっと読む）