【課題】改善された放射検出器を提供する。
【解決手段】放射検出器は放射を検出する。放射検出器は複数のファラデーカップを含む。各ファラデーカップにはカバーが設けられている。各カバーは、放射がファラデーカップへと通り抜けることができる窓構成を含む。各カバーの窓構成は各ファラデーカップに対して異なる。各ファラデーカップは、放射がターゲットに入射した場合に光電子を放出するように構成されたターゲットを収容する。 （もっと読む）

【課題】ファラデーカップと二次電子増倍管を備えるイオン検出器において、小型化・低価格化を可能とする。
【解決手段】イオンビームが通過する開口部１２を有する筐体１１と、開口部１２を通るイオンビームの飛行方向延長線上に位置するファラデーカップ２０と、飛行方向延長線からそれた方向にイオンビームの入射部３２を有する二次電子増倍管３０とを備えるイオン検出器１０であって、ファラデーカップ２０は、飛行方向延長線上に位置する底板部２１と、底板部２１の周囲に設けられた側板部２２ａ，２２ｂと、側板部２２ａ，２２ｂに囲まれた内部を複数の空間に区画する仕切り板部２３とを有し、側板部２２ａ，２２ｂは、入射部３２に近い側から遠い側に向かって高さが連続的または段階的に増大し、仕切り板部２３は、入射部３２から遠い側板部２２ｂの高さよりも低く、かつ入射部３２に近い側板部２２ａの高さよりも高く形成されている。 （もっと読む）

【課題】 リボン状のイオンビームのＸ方向およびＹ方向における発散角を簡単な方法で測定する測定方法を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム測定方法は、イオンビーム２の一部を通過させる小孔６２を有するマスク板６０と、その下流側に設けられていて、前記小孔を通過したイオンビームを受けてそのビーム電流をそれぞれ検出する複数のビーム検出器１２をＸ方向に有していて、Ｙ方向に可動のビームモニタ１０とを用いる。そして当該ビームモニタ１０をＹ方向に移動させることによって、小孔６２を通過したイオンビームのＸ方向およびＹ方向における中心位置ｘ₃ 、ｙ₃ をそれぞれ測定し、その中心位置ｘ₃ 、ｙ₃ とそれに対応する小孔６２間のＸ方向およびＹ方向における距離Ｌ₄ 、Ｌ₅ ならびにマスク板６０とビームモニタ１０間のＺ方向における距離Ｌ₃ に基づいて、小孔６２を通過したイオンビームのＸ方向およびＹ方向における発散角α_X 、α_Y をそれぞれ測定する。 （もっと読む）

【課題】エミッタンス測定およびリボンビームの強度分布均一化を簡易な手段で実施できるようにする。
【解決手段】イオンビームＩＢの軌道上に設けられて、そのビーム強度分布を測定するビームプロファイルモニタと、イオンビームＩＢを挟んでｘ方向に対向配置され、互いの間でイオンビームＩＢを通過させる開口を形成する一対のビーム遮蔽部材６とを利用する。そして、ビーム遮蔽部材６の少なくとも一方を、ｙ方向には隙間なく、かつ、ｘ方向には独立して進退可能に設けられた複数の可動遮蔽板６１からなるものとしたうえで、可動遮蔽板６１の位置を調整して、対向するビーム遮蔽部材６との間に微小開口Ｐを形成し、微小開口Ｐを通過したイオンビームＩＢについての強度分布測定結果から、イオンビームＩＢのエミッタンスを算出するように構成した。 （もっと読む）

少なくとも即発ガンマ線および中性子を発生させる入射ハドロンビーム（１０）による上記標的（２０）の衝突における、上記標的（２０）の領域（２５）が受ける局所線量をリアルタイム測定する方法であって、上記標的（２０）から放出される粒子は、上記標的（２０）の上記領域（２５）をコリメートすることによって、かつ上記標的（２０）における測定される上記領域（２５）から距離Ｌの位置に検出器（４５）を配置することによって、測定される方法。上記検出器（４５）は、粒子エネルギーおよび粒子飛行時間を測定する上記手段を有しており、上記検出器（４５）が受けた即発ガンマ線の数は、記録された事象を選択することにより決定され、即発ガンマ線についての空間情報を提供するために、上記標的（２０）よりも前の入射ハドロンビーム（１０）中に配置されている、二方向性荷電粒子検出システムが、入射ハドロン（１０）の横断位置を取得するように用いられる。
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【課題】 イオン源から引き出されたイオンビームの実際の進行方向を基板表面に投影した方向と実質的に等しい方向を、複雑な算出工程を用いずに測定する。
【解決手段】 上孔３３を有する上板３２および下孔３５を有する下板３４を備えていて少なくとも下孔３５がスリット状をしている治具３０と、治具３０の上孔および下孔の両方を通過したイオンビーム１２を受けてそのビーム電流を測定するビーム電流測定器６０とを用いて、治具３０およびビーム電流測定器６０を、上孔３３にイオン源１０から引き出されたイオンビーム１２が入射する場所に位置させた状態で、少なくとも下板３４を軸３８を中心に回転させて、イオン源１０から引き出されたイオンビーム１２を上孔３３および下孔３５の両方を通過させて、ビーム電流測定器６０で測定するビーム電流が最大となるときの下孔の長さ方向５１を測定する。 （もっと読む）

実施形態に係る¹⁸⁶Ｒｅの単離方法では、¹⁸⁵Ｒｅと¹⁸⁶Ｒｅを含む源化合物を気化する。気化した源化合物をイオン化して、¹⁸⁵Ｒｅと¹⁸⁶Ｒｅを含む負の電荷を帯びた分子にする。負の電荷を帯びた分子を分離して、¹⁸⁶Ｒｅを含む負の電荷を帯びた分子を単離する。単離された¹⁸⁶Ｒｅを含む負の電荷を帯びた分子を、正の電荷を帯びた収集器で収集する。その結果、単離された¹⁸⁶Ｒｅを用いて、高い比放射能を持つ治療用及び／あるいは診断用の放射性医薬品を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】 イオンビーム電流の計測誤差を小さくして計測精度を高めることができるイオンビーム計測装置を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム計測装置２０は、イオンビーム２を受け入れる入口２４を有するファラデーカップ２２と、ファラデーカップ２２の入口２４の上流側近傍に設けられていて接地電位を基準にして正のバイアス電圧が印加される抑制電極２６と、ファラデーカップ２２の外側に設けられていてファラデーカップ２２内にイオンビーム２の入射方向と交差する方向の磁界Ｂを作る磁石３０とを備えている。 （もっと読む）

ビーム密度測定システムは、シールドと、ビームセンサと、アクチュエータとを備える。ビームセンサは、シールドのビーム進行方向の下流に配置される。ビームセンサは、ビーム強度を感知し、長い方の寸法と短い方の寸法とを有する。アクチュエータは、ビームセンサに対してシールドを並進させる。シールドは、ビームセンサに対して並進されるに伴い、ビームセンサからのビームの少なくとも一部分を遮断する。ビームセンサに対するシールドの位置の変化に関連する強度の測定値は、ビームセンサの長い方の寸法により定められた第１の方向におけるビームのビーム密度分布を表す。 （もっと読む）

イオンビーム電流の均一性を監視するモニタ、イオン注入装置及び関連の方法を開示する。一実施形態では、イオンビーム電流均一性モニタ（１５）は、複数のロケーションにおけるイオンビーム（１２）の電流を測定する複数の測定デバイス（１７）を有するイオンビーム電流測定器と、イオンビーム電流測定器によるイオンビームの電流の測定値に基づいてイオンビーム電流の均一性を維持する制御器（１８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複雑な演算処理を要することなく、多孔電極を有するイオン源のイオン引出し孔から出射される際のイオンビームが持つ特性を測定することができる装置および方法を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム測定装置４０ａは、イオン源２の多孔電極６から引き出されたイオンビーム１０の一部を通過させる開口１４を有する遮蔽板１２と、開口１４を通過したイオンビーム１０のビーム電流を検出する検出器１８と、それをｘ方向に移動させる検出器駆動装置２４とを備えている。かつ、多孔電極６と検出器１８間の距離をＬ、遮蔽板１２と検出器１８間の距離をｄ、ｘ方向に関して、多孔電極６の各イオン引出し孔８の寸法をａ、その間隔をｐ、開口１４の寸法をｂ、検出器１８の寸法をｗとすると、次式の関係を満たしている。
｛ｗ（Ｌ−ｄ）＋ｂＬ｝／ｄ＜（ｐ−ａ） （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させることができる軌道位置ずれ検出装置，組成分析装置及び荷電粒子ビームの軌道調整方法を提供すること。また，エネルギー分解能や散乱粒子の取得効率を容易に変更することができる組成分析装置を提供すること。
【解決手段】絞り部３１と超音波モータ３２と駆動軸３３とを備えて構成された開口状態変更装置３０により，基準ビーム軸上の所定の位置に配置され荷電粒子ビームを通過させる開口部３１ａの開口径（開口状態）を変更可能とする。
また，上記開口部３１ａを通過した或いは該開口部３１ａから外れた上記荷電粒子ビームの強度を測定し，該荷電粒子ビームの強度に基づいて上記荷電粒子ビームの軌道と上記基準ビーム軸との位置ずれの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】 特に重合、架橋、グラフト、殺菌、滅菌、印刷インキ定着等に利用される３００ｋｅＶ程度以下の低エネルギー電子線等の荷電ビームの照射量を、発熱を防止しつつ、また高コスト化することなく、正確にかつ高速で測定することができる照射量モニタ及び照射量測定方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板２上に、高抵抗ダイヤモンド層１が形成されており、その電子線照射領域は基板２が除去されて、ダイヤモンド層１のみが単独で存在する。この電子線照射領域におけるダイヤモンド層１の表裏両面に電極３及び４が形成されている。各電極３，４には、夫々導線５、６が接続されており、導線５，６を介して電極３，４にバイアス電圧を印加するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームのｙ方向の角度偏差、発散角及びビーム寸法の内の少なくとも一つを簡単な構成によって計測する。
【解決手段】 前段シャッター駆動装置３６によって前段ビーム制限シャッター３２をｙ方向に駆動しつつ、シャッター３２の一辺３４の外側を通過して前段多点ファラデー２４に入射するイオンビーム４のビーム電流の変化を計測して、シャッター３２の位置でのイオンビーム４のｙ方向のビーム電流密度分布を計測する。後段シャッター駆動装置４６によって後段ビーム制限シャッター４２をｙ方向に駆動しつつ、シャッター４２の一辺４４の外側を通過して後段多点ファラデー２８に入射するイオンビーム４のビーム電流の変化を計測して、シャッター４２の位置でのイオンビーム４のｙ方向のビーム電流密度分布を計測する。これらの計測結果を用いて、イオンビーム４のｙ方向の角度偏差、発散角及びビーム寸法の内の少なくとも一つを計測する。 （もっと読む）

加工物の表面に対するイオンビーム(110)の２つの入射角度を特定するためのシステム、装置、及び方法が提供される。第１センサ(202)及び第２センサ(204)を有する測定装置(104)は、移動機構(140)に結合されており、第１センサは移動方向に直交する第１方向に延在し、第２センサは第１センサに対して傾斜角を有して延在する。第１及び第２センサは、それぞれ対応する第１時刻及び第２時刻においてイオンビームを通過するときに、イオンビームの１つ又は複数の特性を検知する。コントローラ(106)は、第１時刻及び第２時刻に第１センサ及び第２センサにより検知されたイオンビームの１つ又は複数の特性に少なくとも部分的に基いて、イオンビームの入射に関する第１ビーム角度及び第２ビーム角度を特定するように動作可能である。
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【課題】 Ｘ線検出素子を大気に晒すことなく冷凍機を交換することができるエネルギー分散型Ｘ線検出器を提供する。
【解決手段】 冷凍機３１を交換するとき、作業者はボルト２８を外して、開閉蓋２６を真空容器７から取り外す。次に作業者は、低温端３５を低温端固定部１７ａに固定しているボルト３６を外す。そして作業者は、ボルト３４を外して、冷凍機３１をフランジ１３から取り外す。このとき、真空室４２は真空ベローズ（１６，１８）により冷凍機室（１９，２０）から真空的に分離されているため、Ｘ線検出素子４０のまわりの雰囲気は大気に開放されることなく高真空に維持される。次に作業者は、新しい冷凍機をフランジ１３に固定する。そして作業者は、その新しい冷凍機の低温端を低温端固定部１７ａにボルト３６で固定してから、開閉蓋２６を真空容器７にボルト２８で固定する。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させると共に，装置の稼動中における電子ビームのずれを容易に検出すること。
【解決手段】 加速器Ｙ１から出射されたイオンビームＬのビーム電流を測定する分割電極１０或いはファラデーカップ２０等のビーム電流測定手段を試料分析装置の測定室７３ａに設け，このビーム電流測定手段によるビーム電流の測定値に基づいてイオンビームＬの軌道位置を検出する。これにより，測定されたビーム電流を電流計測器等でモニタリングしながらイオンビームＬの軌道調整を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ナイフエッジ部材のエッジ部に理想応答からのずれが生じている場合においても、荷電粒子ビームの正確な評価を行う。
【解決手段】 荷電粒子ビーム１を、ナイフエッジ部材４のエッジ部４ｂを横切るように走査し、この走査に伴って検出された荷電粒子ビーム１の信号波形と、エッジ応答関数に基づいてモデル化された評価関数とのカーブフィッティングを行い、この結果に基づいて荷電粒子ビーム１の特徴量を測定する際に、当該評価関数は、エッジ位置の異なる２つのエッジ応答の和からなるエッジ応答関数に基づいてモデル化されている。よって、ナイフエッジ部材４のエッジ部４ｂに理想応答からのずれが生じている場合においても、荷電粒子ビーム１の正確な評価を行うことができる。 （もっと読む）

ガスクラスタイオンビーム処理のためのシステム（３５０）と方法は改良ビームと対象物中和機器（１２２）を利用することで達成される。大きなＧＣＩＢ電流運搬はＧＣＩＢの空間荷電の低エネルギー電子中和によって提供される。電流が大きくなるほどＧＣＩＢのガス量は増大する。高ガス運搬量にも拘わらず通気型ファラデーカップビーム測定システム（３０２）はビーム量測定精度を維持する。
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