【課題】デジタル信号に基づいた走査露光による直接製版が可能であり、耐薬品性、耐アルカリ現像液性に優れ、且つ、露光により速やかに耐アルカリ現像液性が解除される現像ラチチュードが良好な赤外線レーザ用ポジ型平版印刷版用原版を提供する。
【解決手段】Ｓｉ原子付着量が０．５〜８ｍｇ／ｍ^２である陽極酸化されたアルミニウム支持体上に、側鎖にスルホンアミド基を有する構造単位から選択される１種以上を有するアルカリ可溶性樹脂を含有する層と、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂及び赤外線吸収剤を含有し、露光によりアルカリ性水溶液に対する溶解性が増大する層と、をこの順に設けてなる平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】高い感放射線感度と優れた現像マージンを有しそして下地との密着性にも優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる、層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成に好適な、感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種と、オキシラニル基含有不飽和化合物およびオキセタニル基含有不飽和化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有してなる不飽和混合物の共重合体、１，２−キノンジアジド化合物、ならびに炭素数６〜１５のアリール基を有するシルセスキオキサンを含有する感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】活性エネルギー線の照射により反応し、高い耐熱性を示す硬化物を形成する新規な感光性高分子化合物を提供し、該高分子化合物を含み、活性エネルギー線を照射した際に高い反応効率を示す感光性樹脂組成物、該組成物を含む液体、および該液体を用いたゲル形成方法を提供する。
【解決手段】主鎖に沿って複数の１，２−または１，３−ジオール基を有しており、マレイミド基を含む側鎖を複数有することを特徴とする高分子化合物、感光性樹脂組成物、液体及びゲル形成方法。 （もっと読む）

【課題】高い感放射線感度を有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、［Ａ］（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種と、（ａ２）オキシラニル基を有する不飽和化合物およびオキセタニル基を有する不飽和化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有してなる不飽和化合物の共重合体、並びに［Ｂ］特定の構造を有する１，２−キノンジアジド化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、［Ａ］（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種と、（ａ２）オキシラニル基を有する不飽和化合物およびオキセタニル基を有する不飽和化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有してなる不飽和化合物の共重合体、［Ｂ］１，２−キノンジアジド化合物、並びに［Ｃ］特定の構造を有するカリックスアレーン系化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー露光により効率よく画像を形成することができ、耐刷性と、着肉性および機上現像性に優れる平版印刷版原版、並びにそれを用いた印刷方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に画像記録層および保護層をこの順に有する平版印刷版原版であって、層状化合物を保護層に含有し、かつ、ホスホニウム構造を側鎖に有する高分子化合物を画像記録層に含有することを特徴とする平版印刷版原版であり、該平版印刷版原版を、画像様に露光する工程と、露光後の平版印刷版原版になんらの現像処理を施すことなく、油性インキと湿し水とを供給して、印刷する印刷工程とを有し、該印刷工程の途上において画像記録層の未露光部分が除去されることにより印刷物を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ形成されるシリカ系被膜がクラック耐性、耐熱性及び解像性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 （ａ）成分：下記一般式（１）で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、（ｂ）成分：上記（ａ）成分が溶解する溶媒と、（ｃ）成分：ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと、（ｄ）成分：微粒子と、を含有し、上記（ａ）成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として５〜８０質量％であり、上記（ｄ）成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として５〜５０質量％である、感光性樹脂組成物。



［式（１）中、Ｒ^１は有機基を示し、Ａは２価の有機基を示し、Ｘは加水分解性基を示し、同一分子内の複数のＸは同一でも異なっていてもよい。］ （もっと読む）

【課題】液浸露光用レジスト組成物、レジストパターン形成方法、含フッ素共重合体を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分（Ａ）と露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と側鎖に置換基を有してよいベンゼン環を有する構成単位（ｃ１）及び側鎖に置換基を有してよいナフタレン環を有する構成単位（ｃ２）を有する含フッ素共重合体（Ｃ）とを含有する液浸露光用レジスト組成物 （もっと読む）

【課題】撥インク性がより向上した着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光重合性化合物（Ａ）と、撥インク性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、着色剤（Ｄ）と、を含有する着色感光性樹脂組成物において、撥インク性化合物（Ｂ）として、エチレン性不飽和基及びケイ素原子に結合した少なくとも１つのアルコキシ基を有するケイ素含有モノマー（Ｂ１）と、該ケイ素含有モノマー（Ｂ１）と共重合可能なフッ素系モノマー（Ｂ２）とを少なくとも共重合させた共重合体を用いる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造等における微細パターンを形成するためのレジスト積層体のレジスト層や保護層などに好適で、さらには水を液状媒体に用いる液浸リソグラフィーにおいて特に有用な重合性含フッ素単量体および含フッ素重合体ならびにレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】式（１）：


（式中、Ｒ¹は水素原子または酸素原子、窒素原子、硫黄原子もしくはハロゲン原子を含んでいてもよい鎖状もしくは環状の飽和もしくは不飽和の１価の炭素数１〜１５の炭化水素基）で示される重合性含フッ素単量体、その単独または共重合体、これらを用いた液浸リソグラフィー法によるレジストパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】高い感放射線感度を有し、高透明性、低誘電率性、高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた重合体膜の形成に有用なポジ型感光性重合体組成物を提供する。
【解決手段】（メタ）アクリロイル基と末端がアルコキシであるポリアルキレングリコール基とを有するラジカル重合性モノマー（ａ１）を含むモノマーのラジカル重合による共重合体と１，２−キノンジアジド化合物とを含有し、モノマー（ａ１）を含まないモノマーのラジカル重合による共重合体をさらに含有してもよいポジ型感光性重合体組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】高い撥インク性を有し、現像性も良好な着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光重合性化合物（Ａ）と、撥インク性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、着色剤（Ｄ）と、を含有する着色感光性樹脂組成物において、撥インク性化合物（Ｂ）として、エチレン性不飽和基及び下記式（ｂ１）で表される構造を有するモノマー（Ｂ１）と、該モノマー（Ｂ１）と共重合可能なフッ素系モノマー（Ｂ２）とを少なくとも共重合させた共重合体を用いる。


（式（ｂ１）中、Ｒ^１ｂは炭素数１〜５のアルキレン基を示し、ｎは１以上の整数を示す。） （もっと読む）

【課題】高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた有機膜の形成に有用な共重合体及びそれを含有するポジ型感光性組成物とそれからなる有機膜を提供する。
【解決手段】ラジカル重合性を有する特定のビニルケトンフェノールと他のラジカル重合性モノマーとの共重合体と、カルボン酸又はカルボン酸無水物を含有するラジカル重合性モノマーと他のラジカル重合性モノマーとの共重合体と、キノンジアジド化合物とを含有するポジ型感光性組成物とそれからなる有機膜を提供する。 （もっと読む）

【課題】非露光部の溶解速度が小さいポジ型感光性ポリイミドを完成させることによって、本来ポリイミド樹脂が有する耐熱性、電気特性、機械的特性及び不燃性等の特性を有し、かつ屈曲性が高い感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。また、その感光性ポリイミド前駆体組成物を用いた電子部品を提供する。
【解決手段】感光性ポリイミド前駆体組成物は、少なくとも１種のポリイミド前駆体（つまり、ポリイミド前駆体は、ブレンド物であってもかまわない）、感光剤及び極性有機溶媒を含有するものであって、感光性ポリイミド前駆体組成物を構成する１種の芳香族テトラカルボン酸二無水物を含み、かつ感光性ポリイミド前駆体組成物を構成する芳香族ジアミンを含むポリイミド前駆体で構成されている。 （もっと読む）

【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えても良好なパターン形状を形成できる現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、しかも高耐熱性、高耐溶剤性、高透過率、低誘電率、耐ドライエッチング性の層間絶縁膜の形成に好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種、およびこの少なくとも１種の成分と異なる他の不飽和化合物の共重合体、１，２−キノンジアジド化合物、ならびにスチレン系の繰り返し単位を７０重量％以上含有してなる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】密着性、感度、および表面平滑性を向上させ、超ＬＳＩなどの半導体装置製造用の微細パターンを形成すること。
【解決手段】ハイパーブランチポリオールから誘導される構造を有するコア部の末端に、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する部位を有するシェル部を設け、コアシェル型ハイパーブランチポリマーとした。ハイパーブランチポリオールは、分岐ポリエーテルポリオール、分岐ポリエステルポリオール、分岐ポリアミドポリエステルポリオールからなる。 （もっと読む）

【課題】高感度でしかも傷耐性にも優れたポジ型の平版印刷版材料の提供。
【解決手段】（Ａ）フェノール性水酸基を有する樹脂、（Ｂ）アルカリ可溶性アクリル樹脂、（Ｃ）７５０から１１００ｎｍの近赤外線を吸収して熱に変換する機能を有する色素、（Ｄ）Ｒ_３−Ｏ−（Ｒ_１）Ｃ（Ｒ_２）−Ｏ−Ｒ_４で表される酸分解性化合物及び一般式（ＡＤＣ−２）で表される酸分解性化合物から選ばれる少なくとも１種、（Ｅ）該（Ｂ）の溶解度が２５℃で３０（ｇ／溶剤１００ｇ）以上である溶剤、及び（Ｆ）該（Ｂ）の溶解度が２５℃で２０（ｇ／溶剤１００ｇ）以下であって沸点（Ｔ２）が（Ｅ）の沸点（Ｔ１）よりも２０℃以上高い溶剤、を含有し、かつ（Ｅ）の含有量が全溶剤量の５〜４０質量％である感光層塗布液を、親水性支持体上に塗布乾燥して形成した平版印刷版材料。
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【課題】本発明は、アルカリ可溶性バインダー樹脂およびその製造方法、ならびに液晶表示素子用カラーフィルタの製造に使用される透明感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明のアルカリ可溶性バインダー樹脂は、エポキシ基を含むもののカルボン酸を含まないものであって、これを含む感光性樹脂組成物は保管安定性に優れ、現像工程中の小さいパターンの流失を防ぎ、パターン形成時にアンダーカットを減少させる効果がある。 （もっと読む）

【課題】本発明は、化学増幅型ネガティブフォトレジストとポジティブフォトレジストとの組み合せによる露光及び現像によりパターンピッチが露光装備の解像度の1/2倍であるマスクパターンを形成するマスクパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るマスクパターン形成方法の代表的な構成は、基板の上部にネガティブフォトレジスト(Negative Photo Resist)膜を形成する。ネガティブフォトレジスト膜の一部領域を露光する。ネガティブフォトレジスト膜を現像する。ネガティブトーンワーキングフォトレジスト(negative tone working photo resist)膜を含む基板の上部にポジティブフォトレジスト(Positive Photo Resist)膜を形成する。ネガティブトーンワーキングフォトレジスト膜の境界部のポジティブフォトレジスト膜に水素気体が拡散するように基板をベーキング(Baking)する。ポジティブフォトレジスト膜を現像する。 （もっと読む）

【課題】より高い絶縁性を有する層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）及び感光剤（Ｂ）を含む層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）が酸性基含有構成単位（ａ１）、架橋性基含有構成単位（ａ２）及びアルコキシシリル基含有構成単位（ａ３）を含む共重合体（Ａ１）を含む。 （もっと読む）