【課題】高い撥水性及び撥インク性が得られる高分子化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される高分子化合物〔Ｒ^１：（ｍ＋ｎ）価の有機連結基；Ｒ^２：単結合あるいは２価の有機連結基；Ａ^１：フッ素原子を３つ以上有する部位を含む１価の有機基（ｎ個のＡ^１、Ｒ^２は、それぞれ独立に、同一であっても、異なっていてもよい）；ｍ：１〜８；ｎ：２〜９；ｍ＋ｎ：３〜１０；Ｐ^１：高分子骨格（ｍ個のＰ^１は、同一であっても、異なっていてもよい）〕。


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【課題】より高い絶縁性を有する層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）及び感光剤（Ｂ）を含む層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）が酸性基含有構成単位（ａ１）、架橋性基含有構成単位（ａ２）及びアルコキシシリル基含有構成単位（ａ３）を含む共重合体（Ａ１）を含む。 （もっと読む）

【課題】例えばＫｒＦ、ＡｒＦ等のエキシマレーザーなどの短波長の露光光の反射率が低く、酸素プラズマ等のリアクティブイオンによるエッチングに対するエッチング耐性にも優れる下層膜を形成するための下地材、及び該下地材を用いた多層レジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】第１の発明は、基板とホトレジスト層との間に下層膜を形成するための下地材であって、オキソシクロアルキル基を２つ以上有する化合物（ａ）と、フェノール類（ｆ）との重縮合反応によって得られる樹脂（Ａ１）を含有することを特徴とする下地材。 （もっと読む）

【課題】水によって現像が可能であり、耐水性、耐溶剤性、保存安定性及び解像性に優れるスクリーン印刷に好適なスクリーン印刷用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ポリビニルアルコールにビニルピロリドンがグラフト重合した重合体を含有してなるスクリーン印刷用感光性樹脂組成物である。前記樹脂組成物は重合度が１００〜４０００、けん化度が７０〜１００ｍｏｌ％であるポリビニルアルコールにビニルピロリドンがグラフト重合した、Ｋ値が１２〜１５０である重合体を含有することが好ましく、前記重合体は、ポリビニルアルコール溶液にビニルピロリドンを配合し、開始剤として過酸化水素、有機過酸化物又はアゾ化合物を用いて重合して得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高感度、高解像度、高透明性の特性を有し、かつ有機アミンを含有するポジレジスト剥離液への耐性が良好な硬化膜を得ることができるポジ型感光性組成物を提供することである。
【解決手段】（ａ）ポリシロキサン、（ｂ）（メタ）アクリルポリマー、（ｃ）重量平均分子量（Ｍｗ）が３００以上のヒンダードフェノール系酸化防止剤、（ｄ）キノンジアジド化合物ならびに（ｅ）溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。 （もっと読む）

【課題】良好な形状のレジストパターンを形成できるレジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と、一般式（ｄ１）で表され、かつ、分子量が２００以上である含窒素有機化合物（Ｄ１）とを含有することを特徴とするレジスト組成物。
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【課題】光リソグラフィを中心としたナノファブリケーションのための高分子素材として好適なレジスト化合物、レジスト組成物を得ること。
【解決手段】所定の範囲内に分子量分画されたフミン質または当該フミン質の誘導体に、酸分解性基を導入する。酸分解性基の導入は、たとえば、フミン質または当該フミン質の誘導体が有する官能基のうち、−ＣＯＯＨまたは−ＯＨ部の少なくとも一方に酸分解性基を結合させることによっておこなう。酸分解性基は、たとえば、フミン質または当該フミン質の誘導体をコア部に対するシェル部として、リビングラジカル重合あるいはラジカル重合によって導入する。 （もっと読む）

【課題】露光及び現像により、高精細で、且つ、矩形又は順テーパーの断面形状を有し、更に、固体表面に対する密着性に優れた着色パターンを形成し得る着色硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】（ａ）着色剤、（ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）重合禁止部位と表面配向部位とが連結してなる化合物、及び（ｅ）溶剤を含有することを特徴とする着色硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン系難燃剤を用いずに十分な難燃性を確保することができ、アルカリ現像液で十分な解像性が得られ、ＰＣＴ試験での表面の変色及び配線板上の銅と樹脂との界面でのふくれがなく、且つ、ブリードアウトの問題が十分に低減されたリン含有化合物、このリン含有化合物を含有してなる樹脂組成物及び樹脂組成物を用いた感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板を提供する。
【解決手段】特定の化学式で表わされる繰り返し単位を有する樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、並びに（Ｃ）重合開始剤を含有する樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 レジスト用樹脂等に応用した場合に有機溶媒への溶解性が良好で、基板への密着性が良く、更に高い耐エッチング性を発揮できる樹脂、及びレジスト組成物、ならびに半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】 下記式（１）


で表されるモノマー単位を有するフォトレジスト用高分子化合物。 更に、前記高分子化合物が、重合温度に制御された溶媒中へモノマー溶液及び重合開始剤溶液を添加しながら重合することを特徴とする前記記載のフォトレジスト用高分子化合物。 （もっと読む）

【課題】紫外光、可視光及びあるいは赤外光を放射する固体レーザー及び又は半導体レーザー光を用いて記録することによりコンピューター等のデジタルデータから直接製版可能な平板版印刷版原版、特に、ｐＨ１０以下の水溶液や印刷機上において現像可能な高耐刷かつ耐汚れ性良好な簡易処理型平版印刷版の製版方法を提供する。
【解決手段】アルカリ金属シリケート処理されたアルミニウム支持体上に感光層を有する平版印刷版原版を、以下の一般式（１）または（２）で表される官能基の何れかを有する化合物を含有するｐＨ１０以下の現像液で現像するか、ｐＨ１０以下の現像液により現像した後、以下の一般式（１）または（２）で表される官能基の何れかを有する化合物を含有するｐＨ１０以下の水溶液で非画像部のアルミニウム支持体表面を処理することを特徴とする平版印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】ｐＨ２．０〜７．０の水性現像液に対する現像性を有し、汚れ性と耐刷性とを両立した平版印刷版原版の提供。
【解決手段】 支持体上に少なくとも感光層を有する平版印刷版原版に、露光処理を行った後、擦り部材を備えた自動処理機により、ｐＨが２〜７の現像液の存在下、擦り部材で版面を擦ることにより、非露光部の感光層を除去する方式の平版印刷版原版において、前記平版印刷版原版が、下記（Ａ）〜（Ｄ）成分を含有することを特徴とする平版印刷版原版。（Ａ）側鎖にハロゲン原子を少なくとも１つ以上有するバインダーポリマー、（Ｂ）増感色素、（Ｃ）重合開始剤、（Ｄ）エチレン性不飽和結合を有する化合物。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性及び耐傷性の両方に優れた赤外線レーザ用感光性平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上に、一般式（Ｉ）で示される基を側鎖に有する高分子化合物、及び赤外線吸収剤を含有する下層と、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂を含有する上層と、をこの順に有することを特徴とする赤外線レーザ用感光性平版印刷版原版。


Ｙは、酸素原子 または −ＮＨ− を表し、Ｘは、酸素原子 または 硫黄原子 を表し、Ｒは、Ｈ または炭素数１〜３のアルキル基を表す。 （もっと読む）

【課題】着色や膜強度の経時変化が少ない膜物性に優れる組成物、及び、良好な形状と特性のパターンを有する信頼性の高い電子デバイスを提供する。
【解決手段】（ａ）特定の繰り返し単位を含むポリイミド樹脂、（ｂ）光照射によりスルホン酸を発生する化合物、及び（ｃ）アルコキシメチル基又はアシルオキシメチル基を窒素原子上に有する架橋剤を含有する感光性樹脂組成物、該組成物を用いたパターンの製造法、および該パターンを有する電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】紫外光、可視光及びあるいは赤外光を放射する固体レーザー及び又は半導体レーザー光を用いて記録することによりコンピューター等のデジタルデータから直接製版可能な平板版印刷版原版、特に、ｐＨ１０以下の水溶液や印刷機上において現像可能な高耐刷かつ耐汚れ性良好な簡易処理型平版印刷版の製版方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム支持体上に感光層を有する平版印刷版原版を、特定の官能基を有する化合物を含有するｐＨ１０以下の現像液で現像するか、ｐＨ１０以下の現像液により現像した後、該官能基の何れかを有する化合物を含有するｐＨ１０以下の水溶液で非画像部のアルミニウム支持体表面を処理することを特徴とする平版印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】耐久性及び耐熱性に優れる硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物、低温で硬化しても耐久性及び耐熱性に優れる硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物より形成された良好な形状と特性のパターンを有する、信頼性の高い電子デバイスを提供する。
【解決手段】酸解離性基を有するポリイミド樹脂、光照射によりスルホン酸を発生する化合物、および架橋剤を含有する感光性樹脂組成物、該組成物を用いたパターンの製造法、および該パターンを有する電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】感度に優れ、パターンプロファイルが良好で、現像欠陥が少ない、感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物を提供する。また、液浸露光においても上記性能が良好である、液浸露光に好適な感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂及び（Ａ’）特定の一般式で表されるトリフェニルスルホニウム構造を有する繰り返し単位(a0)を有する樹脂を含有し、且つ、樹脂（Ａ）及び／又は樹脂（Ａ’）が、ラクトン構造及びシアノ基を有する繰り返し単位(a1)を有する樹脂である感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物。 （もっと読む）

【課題】耐刷性、耐薬品性に優れ、露光におけるアブレーションの発生が抑制される平版印刷版用原版の提供。
【解決手段】支持体上に、下記（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）の各成分を含有し、露光又は加熱によりアルカリ現像液に対する溶解性が向上するポジ型記録層を有する平版印刷版原版。（Ａ）：ビニルカプロラクタムに由来する構造単位を含むポリマー（Ｂ）：下記（ａ）及び（ｂ）からなる群より選択される少なくとも１種のモノマーを重合してなるポリマー（ａ）１分子中に、窒素原子上に少なくとも一つの水素原子が結合したスルホンアミド基を有するモノマー（ｂ）１分子中に、〔−Ｃ（＝Ｏ）−ＮＨ−ＳＯ_２−〕で表される活性イミノ基を有するモノマー（Ｃ）：光を吸収して熱を発生する化合物 （もっと読む）

【課題】感度に優れ、パターンプロファイルが良好で、現像欠陥が少ない、感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物を提供する。また、液浸露光においても上記性能が良好である、液浸露光に好適な感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物を提供する。
【解決手段】（Ａ）特定のトリフェニルスルホニウム構造を有する繰り返し単位(a0)と、ラクトン構造及びシアノ基を有する繰り返し単位(a1)とを有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂を含有する感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物。 （もっと読む）

【課題】通常露光、液浸露光、二重露光において、感度、パターン形状が良好である、ポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｂ）特定構造の非酸脱離性炭化水素基を有する繰り返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び（Ｃ）酸の作用により分解し、酸を発生する化合物
を含有するポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法。 （もっと読む）