【課題】幅広い波長領域において高い透明性と不感性とが得られ、ＰＥＤ効果抑制に優れ、高い撥水性を有し、かつアルカリ現像液に可溶なレジスト保護膜の提供。
【解決手段】橋頭原子に水酸基が結合した含フッ素脂肪族環を有するモノマー単位を有する含フッ素重合体（Ａ）を含むレジスト保護膜。特に、前記水酸基が結合した炭素原子（α）に隣接した炭素原子（β）に、フッ素原子が結合していることが好ましく、前記含フッ素脂肪族環が含フッ素アダマンタン環であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト組成物及び前記フォトレジスト組成物を用いる薄膜トランジスタ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】フォトレジスト組成物はフェノール系重合体を含むバインダ樹脂１０〜７０重量％、光酸発生剤０．５〜１０重量％、架橋結合剤１〜２０重量％、染料０．１〜５重量％及び溶媒１０〜８０重量％を含む。前記フォトレジスト組成物は４枚マスクを用いた薄膜トランジスタ基板の製造工程に適用される。前記フォトレジスト組成物は薄膜トランジスタ基板の製造工程の際フォトレジスト層を形成し前記フォトレジスト層はスリット露光によって安定的にハーフトーンを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、記録層に屈折率の異なる材料を用い、高感度を維持しつつ、記録媒体の生保存性、解像度、回折効率等に優れた光記録媒体、光記録方法及び光記録再生方法を提供すること。
【解決手段】 支持体上に、少なくともホログラフィを利用して情報を記録する記録層を有し、前記記録層の記録材料が光照射により屈折率が変化する屈折率変化材料であり、該屈折率変化材料が、微小容器に含まれていることを特徴とする光記録媒体である。 （もっと読む）

【課題】カルボン酸を含有させることにより、感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、テント膜強度が強く、高精細で高アスペクト比のパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに、該パターン形成材料を用いたパターン形成装置及びパターン形成方法の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び分子量が１８０〜２，０００のモノカルボン酸化合物を含む感光性組成物を用いて得られた感光層を有し、該感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、０．１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２であることを特徴とするパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いるパターン形成装置及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】波長が３００ｎｍ帯以下の露光光に対する透過性に優れると共に、基板密着性及び現像溶解性に優れるレジスト材料を提供する。
【解決手段】レジスト材料のベース樹脂は、同種又は異種の水素原子、炭素数１以上で２０以下の直鎖状、分岐状著しくは環状のアルキル基、フルオロアルキル基又は酸により脱離する保護基を有するスルホンアミド基含有の第１ユニット及びベンゼン環上にフッ素原子又は炭素数が１以上２０以下の直鎖状、分岐状若しくは環状のフッ素化されたアルキル基又は特定の置換基を有するアルコキシ基を有するスチレン誘導体からなる第２ユニットから構成される繰り返し単位を含む高分子化合物よりなり、微細加工技術に適したレジスト材料となる。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜成分の液浸液である純水への溶出量が抑制され、且つ現像欠陥発生数が低減された液浸露光に好適なポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する液浸露光用ポジ型レジスト組成物であって、（Ｂ）成分の化合物が、活性光線又は放射線の照射によって発生する酸のファンデルワールス体積をＶ (ų)、ファンデルワールス表面積をＳ (Ų)とした場合に、活性光線又は放射線の照射によって、Ｖ≧２３０で且つＶ／Ｓ≦０．９３の条件を満たす酸を発生する化合物である液浸露光用ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いることなく、レーザー露光時の問題点であるレーザー露光波長のふれに対して分光感度の変化が極めて少なく、記録ムラがなく、線幅ばらつきが小さく、高精細に形成可能な感光性組成物、並びにカラーフィルタ及び該カラーフィルタの製造方法の提供。
【解決手段】 光重合開始剤と、エチレン性反応性基を有する光重合性化合物と、光照射による硬化反応に寄与しない非光硬化性成分と、を含有する感光性組成物であって、前記感光性組成物からなる感光層は、レーザー露光波長が中心値から±１０ｎｍ変化したときの分光感度の変化率が−８％〜＋８％の範囲であり、前記感光性組成物からなる感光層に対し、画像データに基づいて、２つ以上のレーザーヘッドを有する露光装置により光を変調しながら相対走査する露光に用いられる感光性組成物、及び該感光性組成物を用いたカラーフィルタの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 優れた保存安定性と高感度とを両立し、前記感光層上に結像させる像の歪みを抑制することにより、保護膜、絶縁膜などの永久パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成材料並びにパターン形成方法及びパターンの提供。
【解決手段】 バインダーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、潜在性触媒と、を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有し、該感光層に対し、露光し現像する場合に、前記露光に用いる光の最小エネルギーが、０．１〜８０ｍＪ／ｃｍ^２であり、かつ、感光層を作製直後の時点における現像時間をＴ１（秒）とし、２５℃にて４５日間保存後の現像時間をＴ２（秒）とすると、Ｔ１が５〜１２０、Ｔ２が２４０未満であり、次式、Ｔ２／Ｔ１≦４．０を満たすパターン形成材料である （もっと読む）

【課題】 デジタル露光のような高照度条件下でも、光硬化した膜の強度が低下することなく、微細パターンの安定製造が可能なカラーフィルタ作成用の光硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 （ａ）光重合開始剤と、（ｂ）エチレン性反応性基を少なくとも１つ以上有する光重合性化合物と、（ｃ）着色剤を少なくとも含有し、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査露光するカラーフィルタ画像の形成に用いる光硬化性樹脂着色組成物であって、前記光重合開始剤が３級アミン構造を有する光重合開始剤であり、露光波長における光学濃度が１．３以上３．０以下であることを特徴とするカラーフィルタ作成用の光硬化性樹脂着色組成物。 （もっと読む）

【課題】半透過型カラーフィルタの着色画素層の形成において、フォトマスクを用いず、また、工程を簡略化し、廉価なカラーフィルタの製造に適した感光性着色樹脂組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを提供すること。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤、および（Ｄ）着色剤からなる感光性着色樹脂組成物であって、これを用いて形成した着色樹脂層への露光量に高低差を設けることにより、現像後の低露光量部の膜厚（ｔ２）と、高露光量部の膜厚（ｔ１）との比の値〔ｔ２／ｔ１〕が、０．０５以上０．７以下の範囲となること。フォトブリーチングする光重合開始剤とフォトブリーチングしない光重合開始剤が〔１：１０〕〜〔２：１〕重量比で含有する。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いることなく、線幅ばらつきを極めて少なく、高精細に形成可能であり、白抜け（光漏れ）を低減でき、低コスト、かつ表示特性に優れた黒色画像の製造方法、及び黒色画像等の提供。
【解決手段】 黒色感光層に黒色画像を形成する黒色画像の製造方法であって、
光照射手段及び光変調手段を少なくとも備えた露光ヘッドと、前記黒色感光層の少なくともいずれかを移動させつつ、前記黒色感光層に対して、前記光照射手段から出射された光を前記光変調手段によりパターン情報に応じて変調しながら前記露光ヘッドから照射する露光パワーを検知し、補正をかけながら前記黒色感光層を露光する露光工程を少なくとも含む黒色画像の製造方法、及び該製造方法により製造された黒色画像である。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いず、好適な感光性組成物を用い、ブラック画像の線幅ばらつきを極めて少なく、高精細に形成でき、低コスト、かつ表示特性に優れたカラーフィルタの製造方法、及び該製造方法により製造される表示特性に優れたカラーフィルタ、並びに該カラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】 感光性組成物からなり、基材の表面に位置する感光層に対し、前記感光層を露光する露光工程を含み、前記感光性組成物が、バインダー、重合性化合物、着色剤、及び光重合開始剤を含んでなり、前記着色剤に含まれる顔料の平均粒径が、大きくとも１００ｎｍであり、かつ該顔料の前記感光性組成物の固形分中の含有量が、少なくとも３０質量％であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 光変調手段を傾斜させて描画を行う露光を行うカラーフィルタの製造方法において、露光速度を低下させることなく、感光層の被露光面上にジャギーの発生が抑制された所望の描画パターンを形成することにより、パターンを高精細に、特にブラック画像の線幅ばらつきを極めて少なく、かつ効率よく形成可能なカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】 前記描素部により形成された描画画素で再現されることにより生じるジャギーのジャギーピッチ及びジャギー振幅の少なくともいずれかが所定値以下となるよう、描画画素の配列ピッチ（ａ）、傾斜角度（ｂ）、描画ピッチ（ｃ）、及び位相差（ｄ）の少なくともいずれかを設定し、前記パターン情報に基づいて前記描素部を所定のタイミングで変調制御して行われることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】液浸露光中のレジスト膜の変質および使用液浸露光用液体の変質を同時に防止し、かつ処理工程数の増加なしに、形状良好なレジストパターンを形成可能な保護膜形成用材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される構成単位を有するアルカリ可溶性ポリマーと、アルコール系溶剤とを含有して保護膜形成用材料を構成する。
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【課題】感光層と支持体又は保護フィルムとの剥離力が適正化され、表面のタック性が小さく、ラミネート性及び取扱い性が良好で、ＬＤＩに好適に使用可能である感光性フィルム、及び該感光性フィルムを用いた高精細な永久パターンの形成方法の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に、バインダー、熱架橋剤、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層と、該感光層上に保護フィルムとを有する感光性フィルムであって、前記感光性フィルムから幅４．５ｃｍ×長さ８ｃｍに切り出したサンプルを、前記保護フィルムが表面側となるように台座上に固定し、該サンプルから保護フィルムを引っ張り速度１６０ｃｍ／ｍｉｎで引き剥がした際における前記感光層と前記保護フィルムとの剥離力が１００ｇ／４．５ｃｍ以下である感光性フィルムである。 （もっと読む）

【課題】 描画単位が２次元的に分布した露光ヘッドを備えるデジタル露光装置を用いた露光において、コストを抑えつつ、各描画単位の光量を均一化することにより、微細なパターンを高精度に形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 感光層に対し、光照射手段から出射した光ビームを、光分布補正手段を有する集光光学系を介して照射し、前記光変調手段により変調された光ビームを照射して露光を行うことを少なくとも含み、該露光が、前記光照射手段から前記光変調手段に照射される光ビームの照射領域内での光量に分布を持たせ、前記光変調手段により変調された光ビームの光量分布が、前記感光層の被露光面上において均一となるように補正されて行われることを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】オーバーコートされたフォトレジスト組成物と共に用いるための下地コーティング組成物を提供すること。
【解決手段】一態様において、このコーティング組成物は架橋可能であり、並びに架橋の後に反応性である１以上の酸不安定性基および／または１以上の塩基反応性基を含む１以上の成分を含有する。別の態様において、処理されて調製された水接触角を提供することができる下地コーティング組成物が提供される。好ましいコーティング組成物は関連づけられたフォトレジスト組成物のリソグラフィー性能を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】装置のコストアップや、露光速度の低下を招くことなく、露光性能を向上させることにより、配線パターン等の永久パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】露光が、結像手段の中央部を含む略矩形状の領域のみにおいて、光変調手段により変調された光が結像され、感光層の被露光面上に結像される略矩形状の露光領域が、その短辺方向と前記感光層のうねり方向とがなす角が、その長辺方向と前記感光層のうねり方向とがなす角よりも小さくなるように向けられて行われるため、光学性能の良い領域に選択的に照射された光が結像され、焦点位置が適切な位置に調整される。この結果、前記感光層への露光が高精細に行われ、その後、前記感光層を現像することにより、高精細なパターンが形成される。結像手段が、周辺領域に歪みを持たせ、中央部を含む領域の歪みを少なくして製造された投影レンズから構成される。 （もっと読む）

【課題】 高いエッチング耐性、高い溶剤溶解性、基板への高い密着性を併せ持ったポリマー主鎖に脂肪族環状構造を有する新規なポリエステル化合物、それを用いたレジスト材料、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 ジオール化合物とビシクロ［２．２．２］オクタン−２，３：５，６−テトラカルボン酸無水物の重縮合反応から誘導される新規な主鎖環状型ポリエステル化合物、および、この主鎖環状型ポリエステル化合物を用いることによるレジスト材料及びそれを用いた微細パターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】工程がシンプルで、再生光を再現性良く取り出すことができ、角度選択性が幅広く、かつ回折効率が高いホログラム記録用感放射線性組成物を提供すること、および、上記優れた特性を併せ有するホログラム記録用感放射線性樹脂組成物から作製した記録媒体を提供すること。
【解決手段】〔Ａ〕液晶分子、〔Ｂ〕エチレン性不飽和結合を２個以上有する重合性化合物、〔Ｃ〕光重合開始剤、および〔Ｄ〕反応性希釈剤を含有するホログラム用感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）