【課題】大型基板に対応した集成ミラーを備えることにより、スループットを向上させることのできる露光装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光源からの光を利用して、マスクのパターンをマスクのパターンを均一なプロキシミティギャップを有する投影光学系を介して被露光基板に照射する露光装置において、複数のミラー群で一つの反射面を構成する集成ミラーを前記投影光学系に用いたことを特徴とする露光装置。 （もっと読む）

少なくとも１つの第１の開口を有する第１の面、少なくとも１つの第２の開口を有する第２の面、第１および第２の面の間にあって第１の開口へ接続された少なくとも１つの第１の空間、第１および第２の面の間にあって第２の開口へ接続された少なくとも１つの第２の空間、第１の面と第２の面との間にあって空間を少なくとも部分的に画定する少なくとも１つの接続を含む構造要素。第１の面、第２の面、および接続は、１つの一体的全体を形成する。
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【課題】 光学系の照度ムラの補正に好ましく使用される反射素子を提供する。
【解決手段】 反射素子１０は、複数の単位反射体１１の集合体からなり、複数の単位反射体１１の各反射面から構成される反射面１０ａを有する。また、複数の単位反射体１１の各反射率が個別に調整されている。 （もっと読む）

【構成】 光ピックアップ１０では、ミラー２０の第１基板２４の厚みを一体型レーザ光源１２の光源間隔を補正する厚みに設計する。そして、一体型レーザ光源１２の光源間隔により、光軸からずれて射出されるレーザ光４４をこの第１基板２４を透過させることにより、レーザ光４４の光軸ずれを補正する。補正した後、レーザ光４４をミラー２０の反射膜３０で反射させて、コリメータレンズ３４に通し、対物レンズ３６により光ディスクに集光させる。
【効果】 コリメータレンズ３４を透過する前にレーザ光４４の光軸のずれを補正することにより、レーザ光４４は光軸に対する傾きがなく、対物レンズ３６で集光されるため、集光されたレーザ光４４のコマ収差は低く抑えられる。また、第１基板２４の厚みは薄いため、レーザ光４４は第１基板２４を透過してもその非点収差は小さくなる。 （もっと読む）

【課題】 反射光が明暗の模様としてスクリーンに投影される現象（魔鏡現象）と、回折効果による分光現象が組み合わされて発現し、模様や文字等が虹色のように多色に分光してスクリーンに投影されるパターン反射投影物品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 パターン反射投影物品１は、背面側に厚肉のパターン２ａ，２ｂが形成されていると共に、表面側の上記パターンに対応する部分に凹状の歪パターン４ａ，４ｂが形成されており、かつ、少なくとも上記歪パターンの表面が回折現象を呈する微細な凹凸状に形成されている。背面側に厚肉のパターンを有する物品を金型内で熱成形し、冷却することにより、厚肉部と薄肉部の凝固収縮率の差により、厚肉のパターンに対応する部分の表面に、上記凹状の歪パターンが形成される。上記回折現象を呈する微細な凹凸状表面は、金型内面の微細な凹凸状表面の転写により形成される。 （もっと読む）

【課題】 光学系内でコントラスト比に影響する偏光状態が損なわれることがない微小光学素子を提供する。
【解決手段】 曲面形状により入射光に対して集光機能を有する複数の微小な光学素子３を周期的に配列してなり、前記各光学素子３の曲面形状３ｂの一部に前記入射光に対して実質的な平坦部３ａを有する微小光学素子３であることを特徴と特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反射した光に対して透過性の基板と、基板の裏側に設けられた銀層とを有する裏面鏡に関する。
【解決手段】第一中間層が基板と銀層との間の基層として少なくとも部分的に導入され、基層は高温融解酸化物から成るかまたは高温融解酸化物を含み且つ銀より高融点を有し、さらに被覆層が基板から離れて配置された銀層の側に少なくとも部分的に設けられ、被覆層は高温融解金属、ルテニウム、イリジウム、オスミウム、パラジウム、白金、レニウム、及び／またはロジウムから成るかまたはこれらを含む。 （もっと読む）

【課題】 放射光の斑が極力低減できる光学部品を提供すること。
【解決手段】 透光性部材からなる中実柱状体の一端側に、頂部を中実柱状体の中心線に一致させて錐状凹部を形成し、一方、前記中実柱状体の他端側に、頂部を前記中実柱状体の中心線に一致させて透光性部材からなる錘状凸部を形成すると共に、前記錘状凸部の頂部に光源収容穴を形成し、前記光源収容穴に設置した光源からの光を前記錘状凸部の周面と前記錘状凹部の周面で反射して、前記中実柱状体の中心線と直交する全方位へ反射するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【構成】 光ピックアップ２８では、ホログラムユニット３０から射出したＳ偏光のＤＶＤ用レーザ光３２はミラー１０の平らな光入射面上に形成した偏波選択膜１６で反射し、対物レンズ３８により信号記録面４２上に集光する。一方、Ｐ偏光のＣＤ用レーザ光３４はホログラムユニット３０から射出し、ミラー１０の偏波選択膜１６および基板１２を透過し曲面の反射膜２０で反射して、対物レンズ３８により信号記録面４４上に集光する。
【効果】 ミラー１０の光入射面１４に形成した偏波選択膜１６により異なる偏光のレーザ光を分離し、ＤＶＤ用レーザ光３２を平行光として反射し、ＣＤ用レーザ光３４を発散光として反射することにより、焦点深度が異なる光ディスク４０の再生・記録を行うことができる。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投射露光システムの投射レンズは、複数の光学要素（１５、１６、１８、２０、Ｌ１〜Ｌ４）を備える。選択された光学要素（２０）、たとえば、ミラーは、アクチュエータ（３０、１３０、３３０、４３０、５３０）によって生成される機械的力を加えることによって変形する。マニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、１２６ａ、１２６ｂ、２２６ａ、２２６ｂ、３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ、４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ、５２６ｂ）を使用して、光学要素、特に、変形された光学要素（２０）の１つの空間位置が、アクチュエータ（３０；１３０、３３０、４３０、５３０）によって加えられる力に応じて変えられる。これによって、取り付けユニット（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、１２２ａ、１２２ｂ、２２２ａ、２２２ｂ）の相互作用とアクチュエータ（３０、１３０、３３０、４３０、５３０）によって生成される力によって起こる、傾斜動きまたは位置の他の変化が、少なくとも部分的に相殺される。
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例えば自動車用ヘッドライトに有用な反射性物品は、耐熱性の熱可塑性基材と反射金属層との間にヘイズ防止層を含んでいる。このヘイズ防止層は、１００ＧＰａ（１５×１０^６ｐｓｉ）以上の引張弾性率を有する金属を含んでいる。この物品は高温で反射層のヘイズ発生に対して耐性である。 （もっと読む）

調節可能なミラーは、光軸を横断して広がるメニスカスにわたって接触して第一の流体及び第二の流体を含む。それら流体は、不混和性のものであり、且つ、異なる屈折率を有する。反射面は、光軸を横断して広がる。メニスカス調節器は、メニスカスの形状及び位置の少なくとも一つを制御可能に変えるために、配置される。

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