本発明は、半導体素子上に太陽光を集光させる反射性および／または屈折性を有する二次レンズ系に係り、本発明の二次レンズ系は、二次レンズ系を形成する本体の回りに配置された投射系により特徴付けられる。さらに本発明は、本発明の二次レンズ系を含む半導体アセンブリに係り、さらには本半導体アセンブリの製造方法に係る。特に、本半導体アセンブリは、集光式の太陽電池モジュールである。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、受光面に当る反射光の分布を均一にした太陽光集光装置に関する。
【解決手段】 断面が略放物線形状となる反射板と、該反射板の略焦点位置に受光器を備える太陽光集光装置において、反射板が平面からなる単位板を多数隙間無く組み合わせた多面体で構成されており、該単位板の断面となる線分の長さが前記受光器の受光面の幅と略等しい長さに設定されており、前記連続する単位板の断面となる線分の両端の点を結ぶ自由曲線が放物線を形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転駆動力の伝達部における強度を向上させた太陽追尾集光装置を提供する。
【解決手段】ベース部の円柱部に形成した軸部を中心に、ミラー構成体を載せたフレーム体を回転自在に支持し、円柱部の側面に掛け回したチェーンに、フレーム体に形成した回転ブロックを係合させたため、回転ブロックを回転させることにより、フレーム体がチェーンに沿った状態で方位方向に回転する。回転ブロックからの回転駆動力はチェーンに対して引っ張り方向へ作用するため、強度が強く、大きな回転駆動力を加えても、無理なくフレーム体を回転させることができる。フレーム体のキャスター部がベース部の上面に対して３点支持のため、キャスター部の全てが上面に接することとなり、フレーム体が方位方向へ回転する際にガタつきが生じない。 （もっと読む）

【課題】１つのレーザ光を複数に分光し、被加工物上に同時に照射して加工を行うレーザ加工装置において、分光された各レーザ光の被加工物上での照射領域の大きさを等しくすることができるレーザ加工装置を得ること。
【解決手段】分光された複数のレーザ光のうちのレーザ光Ｌαの光路上に配置され、レーザ光Ｌαの被加工物１２上でのビーム径を変化させる焦点差補正鏡２５ａと、焦点差補正鏡２５ａのメリジオナル方向の結像位置とサジタル方向の結像位置を変化させないように、焦点差補正鏡２５ａの反射面のメリジオナル方向とサジタル方向の曲率を変化させる焦点差補正鏡制御機能５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来のレーザ光用光学ミラーにおいては、Ａｕ膜もしくはＡｇ膜あるいはＡｕ膜もしくはＡｇ膜の上にさらに増反射膜もしくは表面保護膜が形成されていたが、Ａｕ膜もしくはＡｇ膜はレーザ光用光学ミラーを凹面形状に変形させるため好ましくなく、また、増反射膜にて凸面形状に変形させた構成ではレーザ耐力を低下させるという問題があった。
【解決手段】基材層と、基材層の上に形成され基材層を凸面形状に変形させる応力調整膜と、この応力調整膜基材の上に形成された反射膜を有するミラー基板を用い、レーザ耐力を低下させることなく、基材層の変形を抑制したレーザ光用光学ミラーを実現する。 （もっと読む）

本発明は、基板（２ａ，２ｂ）と、基板（２ａ，２ｂ）上に重ね合わされたアルミニウムからなる紫外線に対して不透過性の反射性アルミニウム層（３ａ，３ｂ）とを備え、２５０ｎｍ未満、好ましくは１９３ｎｍの作動波長で紫外線を反射するための光学素子（１ａ，１ｂ）に関する。反射性アルミニウム層（３ａ，３ｂ）は（１１１）平面配向であり、反射性光学素子（１ａ，１ｂ）は、作動波長で少なくとも１０°、好ましくは１５°の入射角範囲で８５％を超える、好ましくは８８％を超える、より好ましくは９２％を超える反射率を有する。本発明は、アルミニウムよりも高い融点を有する材料からなる反射層を有する光学素子、このような光学素子を作製する方法およびこのような光学素子を備える光学装置に関する。
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【課題】ヘリオスタット３に取付けられる反射鏡（ファセット３１）を擬似的に回転円錐曲線面に合わせる作業を、効率的且つ簡易な取付調整を行うようにする。
【解決手段】太陽光集光用のヘリオスタット３を構成している反射鏡（ファセット３１）の取付姿勢測定装置であって、ファセット３１に入射する前記レーザ光が、太陽光の入射角度と同じ角度で入射する位置に設置されたレーザ光送信部１と、前記ファセット３１の形成する擬似的な曲面の焦点に据付けたレーザ受光板２１から構成した。 （もっと読む）

【課題】ポリフェニレンサルファイド系樹脂またはポリアミド系樹脂の高耐熱特性を生かした放熱部材、優れた放熱特性を有する反射部材および照明ユニットを提供する。
【解決手段】放熱部材または反射部材１０は、ポリフェニレンサルファイド系樹脂またはポリアミド系樹脂からなる基材１１と、基材１１の表面に形成されたニッケル含有膜１２と、ニッケル含有膜１２の上に形成された銅含有膜１３と、を有する。また、照明ユニット１は、この反射部材１０と、反射部材１０の基材１１に取り付けられる発光素子２２と、基材１１に取り付けられたレンズ部材２３と、を有し、基材１１の表面の金属膜１２、１３が、発光素子２２の取り付け部位からレンズ部材２３まで連続して形成されている。 （もっと読む）

結像光学系、結像光学系を含む投影露光装置、投影露光装置を用いた微細構造構成要素の生成の方法、及び本方法によって生成される微細構造構成要素を提供する。結像光学系（７）は、複数のミラー（Ｍ１からＭ６）を有する。これらのミラーは、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する。結像光学系（７）では、ミラー（Ｍ１からＭ６）の反射面上の結像光（１５）の最大入射角と結像光学系（７）の像側開口数との比率は、３３．８°よりも小さい。これは、ミラーの反射コーティングに対して良好な条件を提供し、それによって特に１０ｎｍよりも短いＥＵＶ範囲の波長の結像光に対してさえも結像光学系を通過する際の低い反射損失を達成することができる結像光学系をもたらす。 （もっと読む）

【課題】大きな負群速度分散を生じさせることができ、かつ固体レーザ装置の出力ミラーとして利用可能な負分散ミラーを実現する。
【解決手段】基板６上に誘電体多層膜構造７を有するミラーとして、所定の波長の光Lに対して、分散量を−100fsec²〜−1000fsec²とし、かつ、反射率が97％〜99.5％とし、多層膜構造７が、相対的に高い屈折率を有する層および相対的に低い屈折率を有する層が交互に積層されてなり、所定の波長の中心波長をλとしたとき、各層の光学膜厚がλ／８〜λ／２の範囲でランダムに変化しているものとする。 （もっと読む）

【課題】レンズの表面に成膜する際に、曲率半径の小さい小径レンズに対しても均一な膜厚の膜を形成する。
【解決手段】レンズＬを回転自在に支持する１個以上のレンズ支持部材３０が真空槽２内に設けられている。各レンズ支持部材３０は、レンズＬの中心軸の角度が個別に設定可能となっている。これにより、レンズ支持部材３０ごとに回転軸の角度を設定できることから、曲率半径の小さい小径レンズＬに対しても、均一な膜厚の膜を形成することができる。 （もっと読む）

この装置は、真空雰囲気に設けられた光学素子の温度を制御するための役割を果たす。装置は、光学素子から離間して配置されており、放射熱伝達によって光学素子を冷却するための冷却器を備える。制御器は放射冷却部の温度を制御するための役割を果たす。さらに装置は光学素子を加熱するための加熱部を備える。加熱部は、加熱部の温度を制御するために制御器に接続されている。得られる温度制御装置は、特にＥＵＶマイクロリソグラフィ装置の光学素子に用いることができ、光学系の安定した性能をもたらす。
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【課題】従来の乗用車用、又は乗用車に類似の自動車のドアミラーには、運転手が自動車の後輪のタイヤ、又は真横を見ることが出来ない死角がある。
【解決手段】従来の極く僅かに凸レンズ形状、又は凹レンズ形状を形成しているドアミラーの表面上に魚眼レンズ、複眼レンズ、及びフレネルレンズの原理であるプリズムを、従来のドアミラーの１枚の内部に、ドアミラーの上下の部分、又はドアミラーの左右の両端の部分、又はドアミラーの中心部分に形成をして、運転手が１枚のドラミラーの内部から見線を移動させることなく、１枚のドアミラーを見ることにより、自動車の進行方向に向かって上下、又は左右１８０度の上下、真横、及び後方の視界を見ることが出来ることにより、死角が一切発生をしないことを特徴としたドアミラー、及びその製造方法。 （もっと読む）

フォトリソグラフィ機器において短波長放射線を用いる用途のための反射コーティングを備えたミラー要素を有する光学系を提供する。光学系は、物体面内の物体視野から像面内の像視野へと波長λの放射線を結像させるように配列された複数の要素を含む。要素は、放射線の経路に位置決めされた反射コーティングによって形成された反射面を有するミラー要素を含む。ミラー要素のうちの少なくとも１つは、１つ又はそれよりも多くの位置において最良適合回転対称反射面から約λ又はそれよりも多く偏位する回転非対称反射面を有する。要素は、補正要素を持たない光学系に対して光学系の出射瞳内の空間強度分布を補正するのに有効であるアポディゼーション補正要素を含む。好ましくは、アポディゼーション補正要素は、アポディゼーション補正要素を持たない光学系に対して出射瞳内の空間強度分布の対称性を高めるのに有効である。 （もっと読む）

【課題】 低コストで必要な面精度が確保された光学面を持つ光学素子の提供。
【解決手段】 光学面上に存在する凹凸の周期の逆数を空間周波数とし、光学面上に存在する凹凸を２つ以上の空間周波数成分に分解してそれぞれの空間周波数成分の振幅を面精度としたときに、任意の異なる空間周波数成分の空間周波数ｆ１とｆ２がｆ１＞ｆ２であるとき、空間周波数ｆ１である空間周波数成分の面精度σ１と空間周波数ｆ２である空間周波数成分の面精度σ２がσ１＜σ２である光学面を有することを特徴とする光学素子。 （もっと読む）

反射照明システム及び反射照明システムを用いるツールを提供する。一般的に、一態様では、本発明は、マイクロリソグラフィツールの照明システムを含むシステムを特徴とし、照明システムは、複数の要素（４０１）を有する第１の構成要素（４００）を含む。システムの作動中に、これらの要素は、光源からの放射線を光路に沿って投影対物器械の対物面での円弧形状物体視野へと誘導し、要素（４１０）の少なくとも１つは、物体視野の円弧形状とは異なる湾曲形状を有する。 （もっと読む）

平面画像を非平面画像に変換する表示装置（１）などに用いる光学システムが提供される。光学システムは、間隔を空けて配置された第一反射板（３）および第二反射板（５）を備えており、当該反射板のうちの少なくとも１つが非平面である。反射板（３、５）および偏光光学素子（２、４）は、ディスプレイ（１）からの光が、第一反射板（３）によって少なくとも部分的に透過され、第二反射板（５）によって少なくとも部分的に反射され、第一反射板（３）によって部分的に反射され、第二反射板（５）によって部分的に伝送される。そして、視聴者（８）が、曲面形状などの非平面画像を見る。光経路（６）を辿らない光は、光学システムから出射しないように構成されている。
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【課題】極端紫外領域の光の減衰を抑制しつつ、望ましくない所定波長の光を良好に減少、あるいは除去できる多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】多層膜反射鏡は、基材と、基材上に交互に積層された第１層及び第２層を含み、極端紫外光を反射可能な多層膜と、多層膜に対して入射する所定波長の光を散乱する散乱面を有する散乱層とを備えている。 （もっと読む）

【課題】反射率が高く、湿度や熱によるAgの凝集が発生し難いリフレクター用Ag合金反射膜およびリフレクター並びにリフレクター用Ag合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】(1) Mn、Ｗから選ばれる１種以上を合計で３原子％超７原子％以下含有すると共にAu、Pt、Pd、Cuから選ばれる１種以上を合計で0.3 〜２原子％含有し、残部がAgおよび不可避的不純物よりなるリフレクター用Ag合金反射膜、(2) このAg合金反射膜において波長が650nm の光によって測定される反射率が85％以上であるもの、(3) このAg合金反射膜においてスパッタリング法により形成されているもの、(4) このAg合金反射膜を備えていることを特徴とするリフレクター、(5) このAg合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲット等。 （もっと読む）

【課題】
耐熱性・加工精度が極めて高く、しかも緻密で透光性の高い石英ガラス成形品を製造できるようにすることを技術的課題としている。
【解決手段】
シリカ顆粒（１）を成形用金型に充填して乾式プレス成形することにより得られた焼結用成形体を加熱焼結する石英ガラス製品の製造方法であって、体積平均粒径０.１〜２.０μｍのシリカマイクロビーズ（２Ｍ）に対し、これを加圧充填したときにその隙間に入る粒径及び量に選定された比表面積（ＢＥＴ値）３０〜５００ｍ^２／ｇのシリカナノビーズ（２Ｎ）を混合したものを有機系バインダ（３）の水溶液に均一分散させて混合スラリとし、該混合スラリを噴霧乾燥することにより前記有機系バインダ（３）を介してシリカマイクロビーズ（２Ｍ）及びシリカナノビーズ（２Ｎ）を凝集させてなる顆粒を前記シリカ顆粒（１）として用いた。 （もっと読む）