極端紫外線（ＥＵＶ）顕微鏡はサンプル（５）を分析するように構成される。この顕微鏡は、約２〜６ｎｍの範囲内の波長を有するＥＵＶ放射を発生させるように構成されたＥＵＶ放射源（２）と、ＥＵＶ放射でサンプルを照明し、サンプルから放出される放射（６）を集めるように構成された光学システム（３）とを含む。光学システムは、約２〜６ｎｍの範囲内の放射の少なくとも一部の同相反射のための多層構造を含む少なくとも１つのミラーを備える。 （もっと読む）

【課題】すべての像方向に沿ったゆがみ誤差をほぼ補正することができる大開口数で作動可能なＥＵＶ投影レンズを提供する。
【解決手段】極紫外線（ＥＵＶ）スペクトル領域からの電磁放射を用いて物体平面上に配置されたパターンを像平面上に結像する投影レンズであって、反射コーティングを有して投影レンズの光軸を定める幾つかの結像鏡が、物体平面および像平面間に配置されており、各々の鏡がその鏡に特徴的な入射角範囲にわたって照射されるように、複数の鏡が相互に構成および配置されており、少なくとも最大入射角範囲を有する鏡が、コーティング軸に関して回転対称であるフィルム厚さ勾配を有する非中心性漸変反射コーティングを有しており、コーティング軸が投影レンズの光軸とほぼ一致している投影レンズ。 （もっと読む）

【課題】明るく均一で、その終わりが明確な境界を有するような配光分布を形成できる反射鏡を提供すること。
【解決手段】軸方向の少なくとも一端側が開口部を形成する回転対称形を有し、その内部が形成する反射面８により光源からの光を反射して前記開口部より外部へ放射する反射鏡７において、反射面８を、軸回りの方向に一定の角度αで分割され、軸方向に沿って異なる長さで分割され、かつ軸方向に対する傾斜角度が異なる如く配置されてなる複数のセグメント９で構成し、さらに個々のセグメント９を軸方向に沿った断面が直線の球状台形に形成することで、軸回りの方向に連続する各セグメント列により形成された完全な円状配光分布の積み重ねに基づく明るく均一で、その終わりが明確な境界を有する配光分布を実現する。 （もっと読む）

【課題】コリメートミラーの矩形の一辺の大きさが数千ｍｍになっても、厚みをより薄くして軽量化を図るとともに、コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを十分に撓ませ、歪曲収差の少ない高精度の露光が可能な露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法及びその方法による露光装置の照明光学系を提供する。
【解決手段】露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する。前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを機械的に撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正する。例えば、前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状（高次形状）への変形を可能にする可変形状ミラー装置の提供。
【解決手段】基板２と、この基板上に設けられた複数の電極４_１〜４_ｎと、基板上に固定され、基板に対向する側の面から基板と反対側の面に貫通しかつ複数の電極を取り囲むように設けられた第１開口を有し、基板と反対側の面に段差が設けられたスペーサ部８と、このスペーサ部の段差を覆いかつ複数の電極に対向するように配置されたメンブレン部１２および底面にメンブレン部が露出した開口が設けられメンブレン部を支持する筐体部１４ならびにメンブレン部に設けられた反射膜１６を有する駆動部１０と、複数の電極にそれぞれ所定の電圧パターンを発生する電圧発生部２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ポリエステルフィルムと金属板を接着剤で貼り合わせた積層体において、折り曲げ加工を施す際、および高温条件下にて取り扱う際、フィルムの皺や浮き、ずれの発生を防止する。
【解決手段】 ポリエステルフィルム（Ａ）と金属板（Ｂ）とを接着剤層（Ｃ）を介して貼り合わせる際、接着剤層（Ｂ）の表面の窒素原子量が２．０ａｔｏｍ％以上、４．０ａｔｏｍ％以下の接着剤を用いる。表面の窒素原子量は、接着剤層（Ｃ）中の硬化剤のイソシアネート基量（ｍｏｌ）と主剤の水酸基量（ｍｏｌ）の割合で制御する。 （もっと読む）

【課題】反射式望遠鏡に適用する、又は点光源放射の光を並行光に変換するための凹面鏡を、大口径かつ低廉価格で供給すること。
【解決手段】 植物繊維をナノメートルのレベルまで微細に解繊したミクロフィブリル化セルロースに合成樹脂を含浸させた素材であるナノコンポジットをもって、円形を放射状に分割した扇形の凹面反射鏡を作り、それらを集合する方法により大口径凹面反射鏡を構成する。 （もっと読む）

【課題】 正確な曲率可変制御が期待できる可変曲率ミラーデバイス及びその製造方法を提供することを課題とし、特にマイクロマシン技術またはこれに準じた微細加工技術によって得られる小形かつ正確な可変曲率ミラーデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材薄板（１）と、該基材薄板とは異なる熱膨張係数を有する素材を前記基材薄板表面に被着せしめたミラー金属薄膜（３）と、前記基材薄板の内部または表面に形成された加熱素子（４）と、から構成される可変曲率ミラーデバイスである。この可変曲率ミラーデバイスの製造に当たっては、基材薄板（１）の出発原料として単結晶シリコンウェハ、ＳＯＩウェハが使用可能であり、半導体加工技術、ＭＥＭＳなどの技術を個々にまたは組み合わせた製造プロセスからなる可変曲率ミラーデバイスの製造方法が適用可能である。 （もっと読む）

【課題】コアとバックプレートとの接合部の接合強度を高めることなく、全体の強度および剛性の低下を抑制するとともに、軽量化が可能な軽量化ミラーを得る。
【解決手段】この発明に係る軽量化ミラー１は、一方の表面に鏡面２ａを有し、他方の表面に複数の穴部２ｂが形成された円盤形状のコア２と、このコア２の反鏡面２ａ側に接合された円盤形状のバックプレート３とを備え、バックプレート３の内部には、面に沿って、互いに直交する２方向に延びた、複数の円筒形状の長穴３ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】幅員の狭い道路に電柱のような路上障害物に装着することで、車両が行き違いするときに、昼間であっても眩しくなることがなく、自車とその路上障害物との距離感を把握することができ、安全に行き違いする。
【解決手段】道路Ｒに設置されている電柱等の路上障害物Ｐと、運転中の車両との距離を確認する車両離合支援ミラー１であり、可撓性を有する鏡面シート２と、鏡面シート２の表面に貼りあわせた偏光シート３とから成り、路上障害物Ｐに巻き付けるようにその両端縁を締め付け固定するように構成した。 （もっと読む）

鏡の形をとる光学素子（２）と、光学素子（２）を変形するアクチュエータ（３、１０３）とを備える、入射光を誘導する結像装置（１、１００）が開示される。光学素子（２）は、入射光に面する表面を有する。アクチュエータ（３、１０３）は、光学素子（２）を変形するために、光学素子（２）の光学表面を側方にグリップする。
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【課題】 保護膜を設ける場合において、反射率を高く維持でき（反射率の低下を有効に防止でき）、また、耐熱性が高い反射膜およびそれを用いた照明装置を提供する。
【解決手段】 本発明の反射膜は、所定の基板２１上に、銀膜または銀合金膜２３が形成され、銀膜または銀合金膜２３上に保護膜としてチタン膜またはチタン合金膜２４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】反射鏡の集点に向かう太陽光を夫々の反射鏡内の集熱管の個数を変化させて、集熱管を徐々に加熱して高い熱効率を維持しながら熱媒体の温度を高温に保つことを目的とする。
【解決手段】集熱器１６は、太陽光を集光する複数個の反射鏡１と、その焦点２または焦点２の周囲に設けられた複数個の集熱管５と、前記複数個の反射鏡１に設けた夫々の集熱管５の個数を変化させて設ける集熱部４と、これらの反射鏡１と集熱部４を収納する外装とで構成したものである。集熱管５には反射鏡１の焦点２に向かう太陽光が集光するので、集熱部４を流通する熱媒体６の温度が高温に加熱されるようになる。また、集熱器１６入口側の熱媒体６の温度が低い時は、集熱管５の受光面積が大きくなり多量の熱を収集して出口側の熱媒体６の温度が上昇した時は、集熱管５の受光面積を小さくして集光し集熱管５の温度を高温化して熱媒体の温度を高温にするものである。 （もっと読む）

【課題】照明器具用反射鏡において、反射鏡により反射された光を、赤色の物体をより鮮やかな赤色に見せ、かつ光源色と同等の色とする。
【解決手段】照明器具用反射鏡は、波長略５８０〜５９０ｎｍの光反射率が波長略６００〜７００ｎｍの平均光反射率の略５０％以下となるように、波長略４００〜５００ｎｍの光反射率が波長略６００〜７００ｎｍの平均光反射率の略６０〜８０％となるよう形成されている。そのため、照明器具用反射鏡により反射された光は、赤色の物体をより鮮やかな赤色に見せ、かつ光源色と同等の色とすることができる。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、次式で記述されるベクトル場に実質的に垂直な反射面に関する。また、本発明は、前記反射面を形成するコンピュータプログラムに関する。前記反射面は、実質的にゆがみのない広角視野を提供することができる。前記反射面は、特に、拡大された実質的にゆがみのない視野を提供する車両の運転席側ドアミラーとして有用であり、当該運転席側ドアミラーは、死角を低減または排除するよう使用できる。
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【課題】光学特性の温度変化が小さく、軽量で量産性に優れたことを特徴とする、反射面を備えた光学部品を提供する。
【解決手段】植物繊維をナノメートルのレベルまで微細に解繊したミクロフィブリル化セルロースに合成樹脂を含浸させて作るナノコンポジット素材にて基体を作製し、その基体に形成した平滑面に金属薄膜などをもって反射膜を形成し、反射機能の付帯機能部として、ナノコンポジット製の取り付け機能部や調節機能部を一体的に作ったことを特徴とする、反射面を有する光学部品。 （もっと読む）

【課題】輝度むらを低減することのできる照明装置を提供する。
【解決手段】放電ランプ１の後方に配設されて放電ランプ１が放射する光を前方へ反射する反射板２は、長手方向が放電ランプ１の軸方向と略一致する放物柱面状であって放電ランプ１の軸方向に沿って樋状に形成されるとともに各々１本の放電ランプ１を内側に納める複数の反射面２１を有し、これら複数の反射面２１同士が、隣り合う２本の放電ランプ１，１の間において放電ランプ１よりも拡散板３側で結合されて成り、放電ランプ１と対向する反射面２１の最奥部には、放電ランプ１の放射光を最奥部より外側の反射面２１にむけて反射する傾斜面２４ａを有した突条２４が設けられ、突条２４の頂部と放電ランプ１の後面との間の距離ｇを０．５ｍｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】複数配置される表示手段あるいは撮像手段の配置位置の自由度を向上させることが可能なヘッドアップディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】複数の表示手段２〜４から発せられる可視光（表示光）Ｌ１〜Ｌ３をコンバイナ部材（ウインドシールド）Ｗ１にて利用者（運転者）Ｄ１に向けて反射して表示像（虚像）Ｖ１〜Ｖ３を結像してなるヘッドアップディスプレイ装置である。複数配列され各々が可動する微小な平面鏡を備え、前記平面鏡の角度を所定時間毎あるいは個別に調整して各表示手段２〜４から発せられる各可視光Ｌ１〜Ｌ３を表示像Ｖ１〜Ｖ３が結像可能な方向に制御して反射するマイクロミラーデバイス５を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】光学系装置用成形体の製造原料である成形時の流動性に優れた樹脂組成物、光学系用途において、線膨張係数が充分低く、表面平滑性、耐熱性等に優れ、可視光領域全体にわたっての高い反射率、高い結像精度を示すことができる光学反射鏡、該光学反射鏡を搭載してなる電子機器等に好適に用いることができる光学系装置用成形体、その製造方法及び用途を提供する。
【解決手段】無機成分と有機樹脂とを含有する樹脂組成物であって、上記無機成分は、アスペクト比が異なる２種以上の繊維状無機成分である樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 冷却風路が形成された光照射器を具え、被処理対象物に対する光照射量を大きくして処理効率の向上を図ることができ、しかも、冷却風の風量を大幅に増加させることなしに十分な冷却機能を得ることのできる光照射装置およびこの光照射装置において好適に用いられる光源ランプを提供すること。
【解決手段】 断面が円形状の棒状の光源ランプがその管軸が反射面を有する樋状の反射ミラーの第１焦点の位置と一致する状態で配設されてなる光照射器を具えてなり、光源ランプの点灯時において、光源ランプおよび反射ミラーが冷却風により冷却される光照射装置であって、光照射方向に対して光源ランプの後方側に、反射ミラーによって囲まれた空間と連通する、冷却風を流通させるための冷却風路が形成されており、光源ランプにおける冷却風路の開口と対向する外表面領域には、当該光源ランプから放射される光を反射する、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）よりなる紫外線散乱反射膜が形成されている。 （もっと読む）