【課題】分散光および集中光の両方の光を同時に出力でき、また照明器具のコンパクト化を図り、さらに照明器具のコストを抑えることができる照明器具を提供する。
【解決手段】 照明器具１０は、基板１１に発光素子１２が実装され、発光素子から出射した光を反射板１５で反射させ、反射させた反射光をレンズ１８を経て出力するものである。この照明器具は、レンズに反射光を集光させて集中光として出力する集光レンズ部２３を備え、基板に複数の透過穴２１が開口され、透過穴の形状、配置を選択することにより、透過穴で反射光の透過量を調整するとともに、透過穴を経て空気を対流させて発光素子の放熱をおこなうものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光軸（５）との関係で正確な位置に配置された複数のミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）を備えた、短波長、特に波長λ＜１５７ｎｍのための投影レンズ（１）に関する。
【解決手段】ミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）は、多層膜を備えている。熱膨張係数のゼロ転移温度周辺の温度に応じて、熱膨張係数の傾き、具体的にはその値の符号が異なる少なくとも２つの異なるミラー材料が用いられる。 （もっと読む）

【課題】コントラストの高い画像を映し出す反射スクリーンを得る。
【解決手段】スクリーン基板１０の観察面１００ａの法線に対して垂直方向にずれた方向から観察面１００ａに向けて斜めに投射された投影光を観察側に反射する反射スクリーンであって、スクリーン基板１０の観察面１００ａに形成された複数の凹部１１と、凹部１１の内壁面の中央部からずれて凸状の曲面を有して形成され、観察面１００ａの法線に対して垂直方向にずれた方向から投射された投影光を観察面１００ａの法線方向に反射する反射部１３と、凹部１１の内壁面における反射部１３の非形成領域に形成され、入射した光を吸収する光吸収面１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】銀皮膜の光反射性、及びその耐熱性を向上させる最表面を有する光反射材、および該光反射材を反射部に具備する発光ダイオードデバイスを提供する。
【解決手段】光反射材は銀と白金族金属との合金皮膜を最表面に有する。発光ダイオードデバイスは、少なくとも発光ダイオード素子を載置する台座を有し、この台座は前記発光ダイオード素子を囲む光反射部を具備する。この光反射部は前記光反射材を前記台座の表面に形成してなる。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板に対して効果的にアシスト成膜を行うことができる薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】クラスターイオンアシスト蒸着によって、クラスターイオンビームＬのビームスポットよりも大きいサイズの基板７に薄膜を形成する際に、基板７を回転させながら基板７の表面７Ａに膜材料を蒸着して薄膜を形成する。そして、基板７の回転中心Ｒと周端の一点７ａとを含む領域にビームスポットを形成し、基板７の回転により薄膜全体にクラスターイオンを照射する。 （もっと読む）

【課題】ミラー構成体のミラー支持治具の取り付けやすい構造を確立することによって、支持治具を取り付ける位置を原因とする鏡面歪を無くし安定して光学系を組み立てることが可能なミラー構成体の構造をつくる。
【解決手段】この発明のミラー構成体は、鏡面とは反対側の面から鏡面に向けてくぼんだ複数の凹穴６を有し、複数の凹穴６のうち少なくとも１つの凹穴６２は、隣接する凹穴６５と所定の間隔以上の間隔を有して配置され、凹穴６２と凹穴６５との間に平面６４を形成して、平面６４に支持治具を取り付ける。さらに、凹穴６２の穴側面６Ｐから隣接した凹穴６５の穴側面６Ｒに向けてくり抜かれたくり抜き穴１３ｂを有して、リブ構造体３を軽量化する。鏡面から一番遠い部分に支持治具を取り付ける平面を形成することにより、支持治具の取り付けにより鏡面歪が生じにくい構造のミラー構成体を形成できる。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

本発明は、基板上に塗布した階層構造を有し、階層構造が複数個のサブ層系（Ｐ’’，Ｐ’’’）を含み、各サブ層系は、一連の個別層よりなる少なくとも１個の周期（Ｐ_２，Ｐ_３）の周期的配列で構成し、周期（Ｐ_２，Ｐ_３）は、高屈折率層（Ｈ’’，Ｈ’’’）および低屈折率層（Ｌ’’，Ｌ’’’）としての異なる材料からなる２個の個別層を含み、かつ各サブ層系（Ｐ’’，Ｐ’’’）に関しては、隣接するサブ層系の周期厚と相違する一定の厚さ（ｄ_２，ｄ_３）を有する、ＥＵＶ波長域用のミラーに関する。当該ミラーは、基板から最も遠く離れたサブ層系（Ｐ’’’）が、基板から２番目に遠く離れたサブ層系（Ｐ’’）の周期膜（Ｐ_２）の個数（Ｎ_２）より多い周期（Ｐ_３）の個数（Ｎ_３）を有する、及び／又は基板から最も遠く離れたサブ層系（Ｐ’’’）の高屈折率層（Ｈ’’’）の厚さが、基板から２番目に遠く離れたサブ層系の高屈折率層（Ｈ’’）の厚さと０．１ｎｍ超相違することを特徴とする。本発明はさらにそのようなミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物鏡およびそのような投影対物鏡を含む投影露光装置に関する。
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【課題】光ヘッド装置を十分に小型化することができ、且つ光利用効率を十分に向上することができるとともに、球面収差をより高精度で補正する収差補正ユニット、光ヘッド装置及び収差補正方法を提供する。
【解決手段】 球面収差のうち第１の収差補正範囲の収差を低減する可変ミラー１００と、球面収差のうち第２の収差補正範囲の収差を低減する液晶光学素子５００と、可変ミラー１００によるレーザ光の位相分布形状の変化量及び液晶光学素子５００によるレーザ光の位相分布形状の変化量を、可変ミラー１００及び液晶光学素子５００に電圧を印加することにより制御する駆動回路４１１と、を備え、第１の収差補正範囲は、第２の収差補正範囲よりも大きくなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系は、放射線源から物体視野に照明光ビームを誘導するのに使用される。少なくとも１つのＥＵＶミラー（１３）は、照明光ビームを形成するための非平面ミラートポグラフィを有する反射面（２９）を有する。ＥＵＶミラー（１３）は、その前に配置された少なくとも１つのＥＵＶ減衰器を有する。ＥＵＶミラー（１３）の反射面（２９）に対面する減衰器面は、ミラートポグラフィを補完するように設計された減衰器トポグラフィを有し、それによって減衰器面のうちの少なくともある一定の区画は、反射面（２９）から一定の間隔の位置に配置される。その結果は、可能な限り少ない望ましくない放射線損失しか伴わずに物体視野にわたる照明パラメータ、例えば、照明強度分布又は照明角度分布の望ましくない変化を補正することができる照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】発光素子間の距離を変更することなく、出射光の縦横の照射サイズを任意に変更することができる光源装置を提供する。
【解決手段】光出射体１からの出射光は、光反射面３Ａ１、３Ａ２、３Ａ３で反射される。光反射面３Ａ１〜３Ａ３は平面状の複数の光反射面並べたものであり、反射した光の行方向（光出射体１のＸ方向）の中心光線間の相互の距離が入射する前より小さくあるいは大きくなるように構成され、光出射体１からの出射光の行方向のサイズが変更される。この反射光は、光反射面４Ｂ１、４Ｂ２、４Ｂ３で反射される。光反射面４Ｂ１〜４Ｂ３も、光反射面３Ａ１〜３Ａ３と同様な構成であり、反射した光の列方向（光出射体１のＹ方向）の中心光線間の相互の距離が入射する前より小さくあるいは大きくなるように構成され、列方向のサイズが変更される。なお、上記反射面が歪曲面（凹面）であってもよい。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で低コスト、スクリーンの大型化も容易であって、明るく高いコントラストの画像を得るためのスクリーンを提供すること。
【解決手段】入射した光を通過させる光通過部である複数の開口部１４と、光通過部の周囲に形成され、入射した光を吸収する光吸収部１５と、を備える第１の板状部材１１と、入射した光を反射させる複数の反射部１６を備える第２の板状部材１２と、を有し、反射部１６は、光通過部に対応する位置に設けられ、第１の板状部材１１と第２の板状部材１２とは、間隔を設けて配置される。 （もっと読む）

【課題】好適な撮影を実現し得る光学装置および光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光が通過可能な光通過領域の外側に備えられ、Ｌａｂ表色系における明度Ｌが４０未満であって、波長９００ｎｍ以上１７００ｎｍ未満の光の反射率が３０％以上となる第１反射層と、前記光通過領域の外側であって前記第１反射層の内側に備えられ、Ｌａｂ表色系における明度Ｌが７０以上であって、波長９００ｎｍ以上１７００ｎｍ未満の光の反射率が７０％以上となる第２反射層とを含むことを特徴とする光学装置。 （もっと読む）

【課題】基板の重量、特にミラー支持体の重量を低減し、且つ／又は剛性を高めたミラー支持体の基板を提供する。
【解決手段】ミラー支持体として設計されているガラス又はガラスセラミック製の基板１であって、片側に凹部４及び凹部として構成される少なくとも１つの支持点５を備え、前記凹部４は、前記支持点５の周りにのみガラス又はガラスセラミックから構成されており、接着により取り付けられているカバー９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】平坦でないワーク被成膜面であっても膜厚分布のばらつきを抑えることができるプラズマ成膜装置及びプラズマ成膜方法を提供する。
【解決手段】処理室１０内に生起されたプラズマ中で、凹凸を有するワーク３０に成膜を行うプラズマ成膜装置であって、処理室１０内に設けられ、ワーク３０を保持可能なワーク保持部１２と、処理室１０内でワーク保持部１２に対向して設けられ、ワーク３０の凹部３２の内側に位置させることが可能な凸部２３を有する電極２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 太陽の方位や高度に関係なく太陽光線を集光する方法として逆台形の太陽レンズを透明材料で形成し、入射光線を全反射で出光面に集光する方法の太陽レンズが提案されているが、基本形状が厚いために大型の太陽レンズでは構成素材の必要量がかさんでコスト高になることや、重量を支えるために支柱などの構造物に工夫をする必要があり、広大な面積で集光する装置に応用することが難しい欠点があった。大型化に適した構成とコスト低減、軽量化が課題である。
【解決手段】 ガラスや合成樹脂などの透明材料で形成される太陽レンズに対して、透明材料を使わずに中空体で太陽レンズを形成すると共に、前後斜面を鏡面反射板で形成し斜面での鏡面反射だけで集光することにより、コストの低減と軽量化をはかり前記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐擦傷性の高い反射鏡と該反射鏡の製造方法を提供する。
【解決手段】基材１１と、基材１１上に形成された第１の銀膜１３と、第１の銀膜１３上に形成された、金属酸化物からなる中間膜１４と、中間膜１４上に形成された第２の銀膜１５と、第２の銀膜１５上に形成された、金属酸化物からなる保護膜１６とを有する反射鏡１０。 （もっと読む）

二酸化炭素（ＣＯ_２）スラブレーザー共振器用のミラーアセンブリであって、断面形状が矩形のセンター部材と、一対の熱平衡化サイドバーを備える。センター部材の前縁部に凹面反射面が形成される。サイドバーはセンター部材のいずれかの面に取り付けられて、反射面よりも前方へ延び出す。センター部材及びサイドバーの寸法を、ミラーアセンブリの熱中立平面が反射面に近接した位置になるように設定する。これにより、共振器内でレーザー光が往復したとき生じる加熱による反射面の曲率半径の変化を最小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】反射鏡システムに任意の温度変化や温度分布が生じても、主鏡と副鏡との幾何学的位置関係を一定に保つと共に、部材の接続部での応力の変化を最小に押さえ、光軸のずれや信頼性の低下を抑制することができる。
【解決手段】主鏡１およびこの主鏡が固定された主鏡支持部２と、副鏡３およびこの副鏡が固定された副鏡支持部４と、この副鏡支持部と主鏡支持部とを連結する連結フレーム５とを備えた反射鏡システムであって、主鏡、副鏡、主鏡支持部、副鏡支持部および連結フレームの構成部材を同一の線熱膨張係数をもつ材料で構成し、主鏡の反射面と副鏡の反射面とは共通の光軸で対向して配置し、主鏡支持部に連結フレームが接続された主鏡接続位置６と、副鏡支持部に連結フレームが接続された副鏡接続位置７とを光軸に対して点対称の位置としたものである。 （もっと読む）